硅、碳化硅、氮化镓

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1、Si:高纯的单晶硅是重要的半导体材料。单晶硅中掺入微量的第iiia族元素,形成p型硅 半导体;掺入微量的第VA族元素,形成n型半导体。p型半导体和n型半导体结合在一 起形成p-n结,广泛应用于二极管、三极管、晶闸管、场效应管和各种集成电路 熔点:1414C,电导率:硅的电导率与其温度有很大关系,随着温度升高,电导率增大,在1480C左右达 到最大,而温度超过1600 C后又随温度的升高而减小。集成电路集成度的提高,发热问题就更突出,这就要求采用导热率更高的材料,故最近正 在研究S I C等材料。SiC:化学性能稳定、热膨胀系数小、耐磨性能好,碳化硅硬度很大、导热系数高、高温时 能抗氧化。碳化硅

2、被广泛用于制造高温、高压半导体。熔点:2730 CGaN:它具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好(几乎不被任何酸 腐蚀)等性质和强的抗辐照能。GaN材料系列具有低的热产生率和高的击穿电场,是研制 高温大功率电子器件和高频微波器件的重要材料。熔点:800C优点:禁带宽度大(3.4eV),热导率高(1.3W/cm-K),贝1工作温度高,击穿电压高,抗 辐射能力强;导带底在r点,而且与导带的其他能谷之间能量差大,则不易产生谷间散射,从而能得到 很高的强场漂移速度(电子漂移速度不易饱和);GaN易与AIN、InN等构成混晶,能制成各种异质结构,已经得到了低温下迁移率达到 105cm2

3、/Vs的2-DEG (因为2-DEG面密度较高,有效地屏蔽了光学声子散射、电离杂质 散射和压电散射等因素);晶格对称性比较低(为六方纤锌矿结构或四方亚稳的闪锌矿结构),具有很强的压电性(非 中心对称所致)和铁电性(沿六方c轴自发极化)缺点:一方面,在理论上由于其能带结构的关系,其中载流子的有效质量较大,输运性质 较差,则低电场迁移率低,高频性能差。另一方面,现在用异质外延(以蓝宝石和SiC作 为衬底)技术生长出的GaN单晶,还不太令人满意。主要问题:因为GaN是宽禁带半导体,极性太大,则较难以通过高掺杂来获得较好的金属 -半导体的欧姆接触,这是GaN器件制造中的一个难题,故GaN器件性能的好坏往往与欧 姆接触的制作结果有关。

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