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1、高低温真空磁场探针台概述：高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸 多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。 例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域 内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台 360度转动；除此之外，该探针台和高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定 性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂， 同时配有高精度电子显微镜，
2、便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号， 用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、 铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。应用范围：磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试， 纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试， 电磁输运特性等。可选附件：0各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线0 CCD或C-MOS视频成像装置0 Chuck运动装置0电磁铁系统/超导磁铁系统0 1Mpa正压系统升级0超高温升级选件0超高真空升级选件0各类探针夹具0屏蔽箱0防振桌0转接
3、头0静音真空泵技术指标：高低温真空磁场探针台型号T8-EM4T8-EM5T8-EM7真空度真空上等高达10-8Pa腔体材质无磁不锈钢或者铝合金磁场范围2000Gs 50mm5000Gs50mm1T50mm磁场方向水平（可按用户要求设计成竖直方向的）配套电源双极性电源50A双极性电源土 70A双极性电源90A电源稳定性50ppm (可选 10ppm)制冷方式液氦/液氮制冷/闭循环制冷机温度范围5K-325K 可选 500K控温分辨率0.001K控温仪相关温度稳定性优于0.1K依赖于控温仪温度传感器硅二极管 /PT100/CernoxTM传感器数量样品台、防辐射屏、探针臂各一个样品台尺寸（max）
4、中50mm，平整度W7um样品台固定方式真空硅脂/弹簧压片样品台材质镀金无氧铜显微镜行程X、Y 平面 2*2inch，精度 1m, Z 轴行程N50.8mm放大倍数16100X/204000X真空腔观察窗尺寸1inch1.5inch2inch窗口材料熔融石英（可选K9、氟化钙等）探针臂数量2、4、6、8 可选探针臂行程(X-Y-Z)25mm-25mm- 12mm 可更换位移精度10 u m /2 u m/1 u m/0.7 u m 可选接口形式普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等探针直径0.51mm针尖直径10 u m/5 u m/1 u m 可选探针材料钨/GGB供电电压AC220V 50Hz/60HzAC380V 50Hz/60Hz
