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1、电子工程气体供应设计要求1.1 常用气体供应设施的设置，应符合下列规定：1 宜集中设置一个或多个气体供应站；2 应根据气体耗量、纯度要求和当地气体供应状况，经能量消耗和技术经济比较确定氢气、氧气、氮气等的供应方式；3 压缩空气宜由厂区内设置的空压站供给；4 氩气、氦气宜采用液态罐或气态气体钢瓶供应。1.2 在工程中设置制气装置时，应符合下列规定；1 应结合用气参数和当地具体条件，进行各类制气装置的单位产气量能耗比较，应采用单位气体能耗低的装置；2 应优化制气系统设备组合，并应合理配置气体制取、纯化、压缩和储存设备，应做到能耗低、经济性好；3 各种制气装置的单位气体能耗，不宜超过表1.2的规定。
2、表1.2 各种制气装置的单位气体能耗气体类型单位气体能耗（kWh/Nm3）低温法生产气态氧0.6生产液态氧1.2生产气态氮0.4生产液态氮1.0常温法生产氧气0.6生产氮气0.4水电解法制取氢气5.0天然气转化制取氢气1.5注：1 本表的单位气体能耗以生产普通纯度的氧气、氮气、氢气计算； 2 天然气转化制取氢气是按1Nm3天然气生产2.5Nm3氢气和耗电量经折合计算。1.3 工程采用液态气体供应时，液态气体的储存周期应根据运输距离和日用气量等因素确定，不宜超过7d用量。1.4 压缩空气干燥装置的选用，应符合下列规定：1 应根据用气量、供气压力和使用时间以及维护方便等因素确定，应选用再生能耗低的
3、干燥装置；2 单台空气压缩机排气量超过10 Nm3/min时，宜选用冷冻式干燥机或余热再生或加热再生式的干燥装置；3 单台空气压缩机排气量小于等于10 Nm3/min时，宜选用冷冻式干燥机或无热再生或微热再生式的干燥装置。1.5 无油压缩空气站的能效指标应符合下列规定：1 供气压力露点小于3C时，机组输入比功率不大于71Kw/(m3/min)。2 供气压力露点小于-20C时，机组输入比功率不大于8.05Kw/(m3/min)。3 供气压力露点小于-40C时，机组输入比功率不大于8.42kW/(m3/min)。4 供气压力露点小于-70C时，机组输入比功率不大于8.62kW/(m3/min)。1.6 气体供气站的气体出口总管和生产厂房气体进口管道，均应设置气体计量装置，并应配置使用状态参数修正附件。
