无尘室送风风速也很讲究

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1、无尘室送风风速也很讲究无尘室送风风速也很讲究无尘室内的气流是左右无尘室洁净度的重要因素，一般无尘室的气流速度是选 0.250.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于 混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持无尘室洁净度、但因风速的提高， 将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风 速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到无尘室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因 素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生 涡流作用，此时要实现无尘室高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流

2、也是非常困难的，必须注重以下几点：1. 吹出面的风速不可有速度上的差异；2. 地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s， 0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般无尘 室，其风速均取在0.250.5m/s之间。影响无尘室风速的因素：影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材料、照明器 具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与无尘室 隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业 区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时 大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面， 工作台因而将受到污染，产品合格率也势必降低。无尘室内的工作桌等障碍物， 在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面 钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、无尘室设备布 局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。