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1、双氧水+硫酸体系的微蚀液失效的原因：1、 双氧水的稳定性（分解）原因：1） 温度的影响：温度升高 双氧水分解 速度加快（30度）2） 铜离子浓度的升高也使双氧水分解加快：25g/L时双氧水的分解速率加快(20g/L时开始促进双氧水分解)建议:1) 控制反应的温度; 2)反应时间长了要控制铜离子的浓度; 3)添加双氧水的稳定剂(含有极性氢原子功能团的有机化合物,如:羟基-OH、羧基-COOH、磺酸基-SO3H、胺基-NH-)2、 反应液中氯离子（Cl-）浓度的影响：反应中氯离子对微蚀速率影响很大，随着氯离子的升高，无论采用何种方式均只能维持低微蚀速率，要有效提高微蚀量只好采用微蚀作用时间来达到明
2、显效果。作用的效果为（氯离子，温度，双氧水含量）附注：氯离子在酸性强氧化环境中会生成氯气Cl2Cl2 + H2O =（可逆号） Cl- + 2H+ + ClO-当酸性过强的时候,可逆反应转向生成氯气,但所添加的量,不足以挥发出来,还是溶解在水中,但当酸性不足的时候,可逆反应转向,以维持均衡的酸性,保证氧化效果的均匀.但当氯离子过高的时候,转向生成氯气一方,因此微蚀的速度就会降下来,同时还会挥发少量氯气。H2O2 + Cl2 =O2 +2 HCl (因为氯气的氧化性强于双氧水)（所以在双氧水体系中，控制氯离子的含量是很重要的）所以氯离子偏高会使双氧水分解。异常处理： 1、板面发黑：降低硫酸浓度； 2、微蚀深度达不到：化验分析硫酸、双氧水、铜离子；是否硫酸、双氧水浓度过低或铜离子偏高；如果硫酸、双氧水浓度过低可补充硫酸、双氧水达到设定值即可；如果铜离子偏高，排去槽液三分之一补充新液即可； 3、如微蚀速率过高，检查温度是否偏高；硫酸、双氧水浓度是否偏高； 4、如微蚀速率过低，化验氯离子是否偏高，如偏高需从新更换槽液；
