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1、离于注入机操作方法1打开真空计（先开左边开关，再打开右边开关，左边表盘为 低真空，右边表盘为高真空.可以换挡最后抽到本底真空-*10-3pa以 下，本底气压越高越好）9打开机械泵9电磁阀1（抽到2Pa以下， 需要几分钟时间）9电磁阀22在控制柜后面的所有开关都打开9分子泵电源开9关电磁 阀13合头部电源（绿为开，红为关）打开9供气小流量N2量程 010sccm （2.5sccm 起弧）/大流量 0-100sccm（He 60sccm 起弧）9 打开电弧电压（70V左右）9灯丝电源电流（10A左右）9引出电压； 引出电流（根据实验需要可任意加）9抑制电压1000V左右，抑制电流 越小越好，最好是
2、09打开加速电源（10100KV,可根据实验需要参数 设定来调节）100kV10mA为最大参数。灯丝电源和电弧电源可 以调节加速电流，加速电源控制加速电压，可以按需要进行调节到自 己想要的。4如果出故障小红灯闪按下控制柜上面的大红色按钮和上 面的黄色按钮停止工作，等一会再试试，如果还不行就全都关了，找 老师检修。5关机步骤1） 控制柜关先关抑制电源910多秒之后将引出电源（左旋降到0）关掉9电弧电源（左旋降到0）关掉9灯丝电源（最好不要超过15A）（左旋降到0） 关掉9流量（左旋降到0）关掉9合头部分电源关掉（按红色按钮）2）关掉真空计（先右下角开关，再关左下角开关）3） 关闭分子泵 红色Stop9关电磁阀29关机械泵9关总电源9 控制柜后面所有开关都关掉。
