特殊气体供应系统技术要求

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1、特殊气体供应系统技术要求工程概况：工程名称：开元设备科技有限公司特殊气体供应和气体侦测监控管理系统建设地点 开元设备科技有限公司厂址工程范围：特气供应系统及气体监控系统主要工作内容如下： 特气气柜供应系统：CH4,0.5%PH3/H2,2%TMB/H2 BSGS 供应系统：SIH4, NF3, 大宗气体分配系统：CDA , AR , 02 , N2 , H2 （管路至供气源接口） 动力系统（外围独立气体房的排风系统） UPS 电源系统 气体侦测器系统 气体监控系统 PLC 控制和网络系统 电脑图形控制系统 各个气体房和气体室的气柜排风系统和事故排风系统 废气处理装置的安装和调试，管路衔接。 其

2、他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。 注：此工程范围需包含以上但不仅限于以上内容，需投标方自行考虑所有细节。工程界面协调配合事项： 环氧： 环氧施工完成并经监理及旭双相关人员验收后，所有地面，天花墙壁作彻底 清洁后，本包可入内施工。 地面保护：气体房内地面保护在本包范围内。 电力：电力包提供电源（包括电缆，桥架及接线）到本包各电盘380V Emergency 800A+ 380V Normal 800A ）的进线端。照明由电力包统一规划提供。 接地：各气体房由电力系统提供接点。 消防：提供各气体房之喷淋系统，并预留DN50阀门、门禁系统、广播和气体报警系统联 动。 MAU :各气体房空调。 其

3、他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。第一章 特气供应系统设计要求1.1 特气供应流程图本文随同其任何有关附件均属保密，仅供开元设备新项目使用，未经开元设备科技有限公司书面同意， 1 任何方不得以任何形式泄露于第三方。1.1.1特气供气简易流程：本项目使用气柜（以下简称GC）的气体分别为0.5%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4,详情见设备清单表。Tools机台气体房气体房G/C气瓶柜VMB/VMP1.12本项目使用大宗特气系统（以下简称BSGS）供气的气体SIH4, NF3bsgb 柜VMB/VMPTools机台第二章特气设备技术要求：气瓶柜（GC） /BSGS，基本功能要求：1）所有系统

4、设计都必须遵从SEMI S2 （半导体工业的全球标准）标准。2）更换钢瓶或轻微故障时,不影响气瓶柜和气瓶架向 VMB 或机台供气。3）无论任何一边钢瓶先上线,都能够自动切换。4）更换钢瓶时气瓶柜/气瓶架全自动进行吹扫、保压测试、供应服务。5）具有紧急切断功能（EMO）和三色灯蜂鸣报警功能。6) 彩色触摸屏控制。7) 气瓶柜和气瓶架设计要方便拆卸钢瓶和固定钢瓶。8) 气瓶柜和气瓶架的控制系统都采用西门子或者欧姆龙控制系统，且具有以下扩展功能 具有以太网接口用于上位机通讯以便于实时监控气柜工作状态和实时数据。(如：各气 瓶的重量、压力、管路压力、开断状态，各自控阀的状态，和上位机的通信状态，报警

5、运行、故障等)。 远程关闭，气柜之间互相切换，用于当外部故障或气体泄漏等情况发生时，设备自动运 行。 详细具体功能必须经过甲方业主同意认可。2.1 气瓶柜：2.11 气瓶柜构造：1) 气瓶柜面板的厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非 易燃的。(颜色为白色)2) 气瓶柜全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。3) 气瓶柜的底板厚度大于等于3.4mm,必须铺有防滑垫片，且固定的钢瓶的链条必须为防腐蚀 的不锈钢链条。4) 气瓶柜的底面设计要便于放置或移走钢瓶而不必调整钢瓶高度。如钢瓶尺寸有变动，设备厂 商无条件的更改钢瓶CGA接头高度。5) 气瓶柜要可以容纳两个供气

6、钢瓶。6) 气瓶柜的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈。7) 气瓶柜进气口要安装灰尘过滤器。8) 所有气瓶柜标明其供应气体的种类及其浓度，气瓶柜内部所有的管路及阀件应该标明其作 用，例如供气，吹扫或排气。2.12 气柜门构造：1) 气柜门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 气柜门能打开90 度角以上，以方便正常操作。3) 所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。4) 气柜门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。2.13 操作窗口：1) 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5m m,并有金属丝加固的安全玻璃。3) 窗

7、口背面要安装隔离玻璃嵌板。2.14气瓶柜的排气装置：1) 气瓶柜排气管的直径必须大于等于6”SS的管路，并覆盖由FM论证的ECTFE材料。2) 排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不足时的停机或 本文随同其任何有关附件均属保密，仅供开元设备新项目使用，未经开元设备科技有限公司书面同意， 3 任何方不得以任何形式泄露于第三方。报警选项。3) 排气管上加装气体侦测器。2.15 气瓶柜系统设计1) 盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过，监控其背压来侦测排气管是否堵塞。2) 更换钢瓶时，Pigtail必须保持小流量的PN2吹出。3) 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所

8、有的阀件必须可以开关100000 次以上。(并提供 给甲方阀件的相关证明)4) 管路设计的最大承受压力3000Psi,最咼温度250C。5) 管路构造要符合 ASTM 标准。6) 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。且各种电子传感器禁止安装在调压阀下端。7) 必须使用标准结构的部件，以减少死角。且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全 部选用SUS316LEP材质。8) 气瓶柜要装有气体、温度及烟雾侦测器。9) 气瓶柜要装有作动点为68 C的喷水头，还要装有温度传感器并与盘面控制器联动。2.16气瓶柜功能要求：(包含气瓶柜(GC) /BSGS，基本功能要求) 系统报警1) 排风风压负压

9、报警功能。2) Z-purge 报警功能。3) 过流量报警联动功能。4) 气柜各种压力报警联动阀门自动开关、供气路线自动切换。5) 气瓶柜要装有气体、温度及烟雾侦测器报警功能。6) 所有安全装置及与控制器的触摸屏必须有失效互锁保护型。7) 信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。 亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。2.17 系统控制器1) 控制屏幕，必须是镶嵌在现有的面板上的、有显示特气系统的吹扫状态及P&ID、彩色的触 摸屏。2) 系统可以设定自动或手动操作模式。3) 所有的报警装置应该安装在显而易见的地方并伴有警报声，报警声经确认后静音，

10、屏幕的报 警信息要求报警完全消除后才能消除，所有的操作记录必须要保存半年以上。4) 控制器要装有一个EMO按钮用来关闭供气气动阀使系统完全停止供气。5) 控制器有密码保护并且可以在安全连锁条件下自动控制气动。6) 控制器PLC应该与GMS系统PLC直接通讯，不可以通过触摸屏的CPU和外界通讯。7) 控制器可以与GMS通讯，并且可以远程关闭。8) 设备厂商要就设备的自动操作及手动操作提供详细说明，共同讨论通过，当有不合理的操作 本文随同其任何有关附件均属保密，仅供开元设备新项目使用，未经开元设备科技有限公司书面同意， 4 任何方不得以任何形式泄露于第三方。的时候，软件能够自锁并等待确认。9) 控

11、制器必须能够检测到组件故障，并时常完成自动检查和校正。10) 控制器必须能够设定和监控选定的警报项目。11) 控制器必须有旁路或自动的互锁程序。12) 控制器必须有自动及手动操作功能。13) 控制器必须能够接受外部互锁信号。互锁类型必须要通过和甲方业主协商而且控制器必须有 4 个干接点供外部操作使用。14) 控制器程序控制器必须具有上传和下载的功能，以便对程序作故障分析和更新的动作。15) 至少要有两级密码设置，如操作界面密码和参数修改密码。注： 设备的供气盘面，和控制系统必须提交甲方业主审核通过。上述的功能必须全部满足，甲方 保留增加部分功能的权利。2.2 大宗特气供应系统(以下简称 BSG

12、S)2.21BSGS 构造：1) BSGS面板厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易 燃的。(颜色为白色)2) BSGS 全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。3) BSGS的设备厂商根据现场钢瓶实际情况无条件的更改钢瓶CGA接头高度。且RFO必须安 装在SiH4钢瓶的CGA接头上，尺寸应满应该根据实际用量来计算.4) BSGS 的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈。5) BSGS 进气口要安装灰尘过滤器。6) 所有 BSGS 标明其供应气体的种类及其浓度，气瓶柜内部所有的管路及阀件标明其作用，例 如供气，吹扫或排气。2.22BSGS 门构造：1)

13、 BSGS门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) BSGS 门能打开 90 度角以上，以方便正常操作。3) 所有的气体设备门及窗子使用同样的钥匙。4) BSGS 门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。2.23 操作窗口：1) 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5m m,并有金属丝加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。2.24 BSGS的排气装置：1) BSGS柜排气管的直径必须大于等于6”SS的管路，并覆盖由FM论证的ECTFE材料2) 排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不

14、足时的停机或 报警选项。两个钢瓶接口处的阀箱必须装有抽风系统，换气次数和风压和设备本身一样。3) 排气管上加装气体侦测器。2.25BSGS 系统设计1) 盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过，监控其背压来侦测排气管是否堵塞。2) 更换钢瓶时，Pigtail必须保持小流量的PN2吹出。3) 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000 次以上。(并提供 给甲方阀件的相关证明)4) 管路设计的最大承受压力3000Psi,最咼温度250C。5) 管路构造要符合 ASTM 标准。6) 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。且各种电子传感器禁止安装在调压阀下端。7) 必须使用

15、标准结构的部件，以减少死角。且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全 部选用SUS316LEP材质。8) BSGS 要装有气体、温度及烟雾侦测器。环境中必须加装火焰和烟雾探测器。9) BSGS要装有作动点为68 C的喷水头，还要装有温度传感器并与盘面控制器联动。10) BSGS的必须使用双调压阀(两级调压)的方式对气体进行降压，阀门的CV值由厂商按照实 际情况选定。2.26 BSGS功能要求：(包含气瓶柜(GC) /BSGS，基本功能要求)系统报警1) 排风风压负压报警功能。2) Z-purge 报警功能。3) 过流量报警联动功能。4) 气柜各种压力报警联动阀门自动开关、供气路线自动切换。5) BSGS 要装有气体、温度及烟雾侦测器报警功能。6) 所有安全装置及与控制器的触摸屏必须有失效互锁保护型。7) 信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。 亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。系统控制器8) 控制屏幕，必须是镶嵌在现有的面