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1、 中緯積體電路(寧波)新建工程氣體管線二次配工程規範CONTENTSPAGES1.目的32.範圍33.文件送審44.施工說明55.其他說明136.驗收標準147.保固期限161. 目的為使設備機台按照計劃順利裝機、運轉，且亦能維護Hook Up二次配管施工之品質及作業安全。本規範如有任何疑慮依業主及總顧問公司解釋為準。2. 範圍2.1. 製程設備氣體管線Hook-up工程材料採購及管路安裝；Hook-up範圍，GN2、PN2、PO2、CDA自主管預留閥至機台內部接點(含支管)，PH2、SiH4、SiH4/N2由氣體站氫氣純化器出口及SiH4、SiH4/N2氣瓶櫃出口接至機台(含VMB)，其他特
2、殊氣體自位於氣體房或Subfab之氣瓶櫃/架至機台內部接點(含VMB/VMP)，其中必要的管線、管件及焊接所需氣體，均由承包商負責提供。GN2、PN2、PO2各支管位置及預留take-off閥尺寸及數量，請參照”FAB棟一層大宗氣體二次配平面圖”(圖號SP-211)；各VMB/VMP位置，請參照”FAB棟一層特殊氣體二次配平面圖”(圖號SP-212)；氣體站至FAB間氣體管線，請參照”氣體站至FAB棟氣體二次配管線平面圖”(圖號SP-234)；GN2、PN2、PO2、CDA自take-off閥至機台間所需裝設之閥件，請參照”SP-2二次配管詳圖”(圖號SP-231)；而take-off閥及VM
3、B/VMP與機台銜接點等相關資料，請參照附件一”Bulk gas take-off list”、附件二”Specialty gas VMB/VMP list”及附件三”CDA take-off list”。承包商需根據該表資料，設計至機台管線之路徑。2.2. 前項氣體管線Hook-up工程之管路細部設計、施工圖繪製、ISO圖繪製(Auto 2000或以上版本圖檔予顧問及業主)、安裝後洩漏偵測、各項不純物量測、訊號測試、材料存放及廢料清潔等雜項工程。其中施工圖及ISO圖面，需依照機台用量流程圖(P&ID)及機台設備外觀圖繪製，並配合材料明細表供業主確認。2.3. 本項工程為連工帶料施工，並包含施
4、工中所需之施工工具、施工設備、無塵服、安全防護器具、管支撐及雜項消耗等，均由承包商負責。2.4. 配合”二次配工程說明”(規範標號NS-SP001)要求所需各項雜項費用。2.5. 所有管路標示，管路標示依照”二次配工程說明”辦理。2.6. 所有管路防震固定支撐架之安裝定位。2.7. 高架地板開孔及收邊之工程發包、請款，切割區域管理。2.8. 氣體站至FAB間管線所需管橋由業主提供，承包商需負責依業主指示規劃氣體管線路徑，並負責安裝所需管夾等固定裝置。3. 文件送審文件名稱投標階段(3份)設計階段(5份)竣工階段(5份)報價表(Quotation form)X專案組織表(Project orga
5、nization)XX專案執行時程表(Project schedule)XX工程界面清單及位置圖(List & location of tie-in point)XXX系統管儀圖(P&IDs)XXX焊接設備清單(Equipment list)XXX設備及材料型錄及資料(Vendors catalogs and information to support his quotation， including electrical system & I/C system)XXX儀表安裝詳圖(Instrument installation drawing)XX送審文件清單及時程(Transmittal
6、 list and schedule)X品質管制程序書(Quality control procedure)X工地辦公室及物料暫存區需求(Site office and warehouse requirements)X驗收及測試計劃/報告(Inspection & test plan/reports)XX製造商測試報告(Manufactures inspection & test reports/records)XX計算書(Contractors calculations)XX管線配置圖(Pipe routing plan)XXX管線支撐詳圖(Pipe support drawing)XX管材
7、規格(Piping material specification)XX管線施工程序書(Piping construction specification)XX註：1.承包商需於得標後一周內提出文件送審清單，並於施工前2周提送設計文件及相關管件及標示實體供審核；送審圖面則需在業主提出意見後3天內修改並再次送審。2.所有送審文件必須以中文或英文書寫；英文送審文件需附中文說明。3.所有竣工階段需提送之文件均需檢附電子檔4. 施工說明4.1. 一般說明4.1.1. 承包商應於施工前提送施工程序書及管路測試程序書，經審核通過後，方可據以施工。4.1.2. 承攬商需於工作場所設置工程負責人，需有相關工程經
8、歷三年以上，其工作職責為：4.1.2.1. 施工進度控制。4.1.2.2. 施工人員管理及安排。4.1.2.3. 材料數量管制。4.1.2.4. 現場會勘放樣。4.1.2.5. 參與承攬商溝通協調會議4.1.3. 承攬商需於工作場所設置品管負責人，需有相關工作經歷三年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.3.1. 施工品質控制。4.1.3.2. 施工完工品質驗收。4.1.3.3. 施工驗收報告匯總。4.1.3.4. 原料進廠自主檢查。4.1.4. 承攬商需於工作場所設置物管負責人，需有相關工作經歷一年以上，其工作職責為：4.1.4.1. 材料數量管理。4.1.4.2. 進廠料件驗
9、收。4.1.5. 承攬商需於工作場所設置工安衛負責人，需有相關工作經歷一年以上，其階層與工程負責人同等，其工作職責為：4.1.5.1. 現場安全衛生工作監督。4.1.5.2. 參與承攬商安全衛生協調會議。4.1.5.3. 承攬商施工人員安全衛生訓練。4.1.6. 施工人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留三組，每組人員最少三人，每組至少有一人有焊接執照，並由一資深組長帶領，所有進廠施工之人員必須經過認可且通過工安檢定之人員。4.1.7. 品管人員數組，依工程數量適時增加人員，但在工程期限內最低需保留一組，每組人員最少二人，由一資深組長帶領，但不可由品管負責人擔任。4.1.8
10、. 承攬商有任何人員調動需經過認可，且業主相關之人員有權提出異議要求更換，承攬商不得有異議。4.2. 材料說明4.2.1. 氣體管線之分類及其材質要求如下表規定辦理。氣體種類材質a.一般大宗氣體GN2CDACDA (for burnbox)SUS 316L BA/ 5SSUS 316L AP/ 5SSUS 304 / 5Sb.自燃性氣體SiH4, SiH4/N2, PH3/N2內管SUS 316L EP/外管SUS 304c.其他氣體PN2, PO2, SiH2Cl2, NH3, PH2, B2H6/N2, Cl2, HBr, NF3, BCl3, HF, CHF3, CF4, C2F6, S
11、F6, PAr, PHe, N2O, He/O2SS 316L EP/ 5S；另BCl3、SiH2Cl2之管線需提供加熱帶以確保供氣量。4.2.2. 各類管線、管件及儀表廠牌，請依下表規定辦理，承包商應以一次配選用廠牌為優先考量，如欲選用非下表規定之廠牌，需經過業主審核同意後使得選用。項目規格廠牌a.SUS 316L BA pipeRmax 3.0mSumikin/ Kuzeb.SUS 316L BA tubeRmax 3.0 mSumikin/ Kuzec.SUS 316L BA fitting (for pipe)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-le
12、td.SUS 316L BA fitting (for tube)Rmax 4.5 mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-lete.SUS 316L EP pipeRmax 0.7 mSumikin/ Kuzef.SUS 316L EP tube (註1)Rmax 0.7mSumikin/ Kuzeg.SUS 316L EP fitting (註1)Rmax 0.7mKitz/ Kuze/ Swagelok/ Ham-leth.SUS 316L BA valve (15A)Bellow valve, Rmax 4.5 mKitz/ Ohno/ Motoyamai.SUS 316
13、L BA valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 3.0 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamaj.SUS 316L EP valve (15A)Bellow valve, Rmax 1.0 mKitz/ Ohno/ Motoyamak.SUS 316L EP valve ( 15A)Diaphragm valve, Rmax 0.7 mKitz/ Fujikin/ Ohno/ Motoyamal.RegulatorSUS 316L EP, VCR type, Rmax 1.0 mAP-tech/ Veriflo/ Tescom/ Crownm
14、.Filter in VMB/ VMPSUS 316L EP, VCR type, pore size：0.003 mPall/ Milliporen.Gasket filterSUS 316L EP, pore size：0.01 mPall/ Millipore註：1.Cl2、NF3等氣體需選用VIM+VAR鋼材。4.2.3. VMB/VMP設備4.2.3.1. 承包商需負責設計及提供特殊氣體供應所需VMB及VMP，其安裝數量及位置請參照”附件二 Specialty Gas VMB list”及相關圖面指示辦理；經過VMB/VMP後管線則直接接至使用點。4.2.3.2. VMB及VMP所需安裝各項閥件及儀表請參照”VMB/VMP示意圖”(圖號SP-230)指示辦理。承包商於每種氣體之VMB/VMP，均需於進氣主管路預留3/8”隔膜閥(氫氣為1/2”)以供未來擴充用。4.2.3.3. VMB需具備差壓計以檢視排氣之正常與否。4.2.3.4. VMB須具備緊急關斷功能，且緊急關斷需能於現場及遠端控制。4.2.3.5. 所有儀電
