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1、一.目的防止静电造成元件损坏。二.适用范围凡有关静电敏感之元件自接收迄交到客户手中期间作业过程皆涵盖在内。三.定义3.1 ESD : ELECTROSTATIC DISCHARGE放电。3.2 静电的危害：就电子行业而言，静电放电能够改变半导体器件的电气性能，使之退化或者完全毁掉。静电放电还 可能干扰电子系统的正常运行，导致器件故障或瘫痪。3.3 静电的特点3.3.1 高电位：可达到数万至十万伏，操作时常达数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到）3.3.2 低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外）3.3.3 作用时间短：微妙级3.3.4 受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累
2、减少，静电电压下降，如下表：产生方式10-25% RH65-90% RH在地毯上行走35000V1500V在乙烯瓦上行走12000V250V坐在椅子上的工人6000V100 V从椅子上拿起涤纶包20000V1200V3.4 静电起点原理：造成不平衡电子分布的原因是电子受到外力而脱离轨道，这个外力包括各种能源，如动力、位能（势能）、热能、化学能等等，它使电子获得足够量而做功逃逸。3.5 静电的产生方式3.5.1 摩擦、接触（传导）、分离、感应、冲洗、辐射、压电、点解等。3.5.2 固体、液体、粉末流体都可能产生静电。3.6 人体静电3.6.1 人体是最主要的静电源之一；3.6.2 人体的活动使部
3、分机械能转换为电能；3.6.3 人体对地电阻主要由鞋、袜、地面决定；3.6.4 人体等效电容：100PF （电容有充电放电效应）；3.6.5 人体等效电阻：1KW（1.5KW0 ;3.6.6 安全静电电压：100V （国标 SJ/T10630-95 ）。四 .静电防护的基本方法4.1 ESD控制的基本原则 4.1.1 做好ESD防护设计：器件选型、合理布线、设计保护电路等；4.1.1 消除和减少静电的产生：减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料处于等电势等；4.1.2 使静电荷泻防与中和：使用静电导体、接地、电离器来泻放于中和静电；4.1.3 保护产品免遭ESD伤害：使用防静电材料包装和储运
4、。4.2 防静电区设计原则4.2.1 控制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用材料、有机玻璃、普通塑料袋。4.2.2 安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷，使用有绳防静电腕带、防静电椅、防静电周转箱。4.2.3 保证静电压小于 100V。4.3 静电系统要素4.3.1 地面：防静电地面（防静电水磨石，防静电地板）。4.3.1 工位：需架设表面静电接地。4.3.2 接地4.3.2.1 防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，低电阻小于4欧姆。防静电地线不得与电源零线相接,不得与防雷地线共用，使用三相五线制供电时，其地线可用作防静电地线。4.3.2.2 工作台面、地垫、座椅和其
5、它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线，腕带等应通过工作台面接地点与地线连接，工作台面不可相互串联接地。4.3.2.3 防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力，限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过 5mA下限彳苴取为1M欧姆。4.4 温湿度：2030摄氏度，相对应湿度 3070%4.5 增湿：增湿器使空气潮湿，防止静电荷积累，此法不适用于增湿后会产生有害影响的场地。4.6 电离器：不能有效地释放静电荷的场所，可采用电离器通过空气中的正负离子来防止和中和元器件和其他物体上电荷积累。4.7 人体：穿防静电工作服、工作鞋，戴有绳防静电手腕、手套、指套等。4
6、.8 包装：静电敏感器件必须存放在防静电容器内，并用防静电运输工具周转，凡工作中会接触“静电敏感 元件”之人员均须遵守本规定。五 .管理内容和方法5.1 静电防护措施5.1.1 每天上午9:00前由工程部人员观察静电线监测器 ，检查静电线是否良好接地，并将结果记录于静电线检测点检表。由工程专员以上干部确认。5.1.2 作业员在进入厂区前须穿戴防静电鞋.防静电环或防静电手套，防静电服间 接人员接触静电敏感器件或产品时需穿戴防静电鞋.防静电环或防静电手套。5.1.3 工作台上须披覆防静电垫。5.1.4 机台设备、焊锡炉、输送带、电烙铁等各种可能产生静电的设备、仪器都须确实接地。5.1.5 所有接地均须确实导通于大地。5.2 品质管理：5.2.1 每日员工进入工作区前须依照规定时间（早上8:00,中午12:00,下午4:00,下午6:00）自主对静电 鞋，静电环进行测试，由各部门派人确认，并将结果登记于防静电鞋/环测试记录表测试结果栏内，后 方可上线作业，若测试不合格应立即通知班（组）长并更换新品后再进行测试。防静电鞋/环测试记录表由各部门于每月第一天上班之前挂至静电测试区。5.2.2 在未作任何防静电措施时不可取静电敏感元器件。5.3 教育：工厂内所有员工均需接受静电防护之教育训练。六 .参考文件/表单6.1 防静电鞋/环测试记录6.2 静电线检测点检表
