三坐标测量仪培训手册

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1、编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第1页 共1页 三坐标讲义第一节 课 学前知识一 三坐标概况1. 三坐标组成三坐标主要由以下几部分组成：测量机主机，控制系统， 计算机（测量软件）， 测座、测头系统。2. 测量机主机 这是测量机的基本硬件，有多种结构形式：移动桥式：活动桥式测量机是使用最为广泛的一种机构形式。 特点是开敞性比较好，视野开阔，上下零件方便。运动速度快，精度比 较高。有小型、中型、大型几种形式。 固定桥式：固定桥式测量机由于桥架固定，刚性好，动台中心驱动、 中心光栅阿贝误差小，以上特点使这种结构的测量机精度 非常高，是高精度和超高精度的测量机的首选结

2、构。 高架桥式： 高架桥式测量机适合于大型和超大型测量机，适合于航空、 航天、造船行业的大型零件或大型模具的测量。一般都采用 双光栅、双驱动等技术，提高精度。 水平臂式： 水平臂式测量机开敞性好，测量范围大，可以由两台机器共同组 成双臂测量机，尤其适合汽车工业钣金件的测量。 关节臂式： 关节臂式测量机具有非常好的灵活性，适合携带到现场进行测量， 对环境条件要求比较低。 各种结构三坐标“图”以活动桥式测量机为例，介绍三坐标主要组成及功能： 工作台（一般采用花岗石），用于摆放零件支撑桥架； 工作台放置零件时，一般要根据零件的形状和检测要求，选择适合的夹具或支撑。要求零件固定 要可靠，不使零件受外力

3、变形或其位置发生变化。大零件可在工作台上垫等高块，小零件可以放 在固定在工作台上的方箱上固定后测量。 桥架，支撑 Z 滑架，形成互相垂直的三轴； 桥架是测量机的重要组成部分，由主、附腿和横梁、滑架等组成。桥架的驱动部分和光栅基本都 在主腿一侧，附腿主要起辅助支撑的作用。由于这个原因，一般桥式测量机的横梁长度不超过 2.5 米，超过这个长度就要使用双光栅等措施对附腿滞后的误差进行补偿，或采用其他机构形式。 滑架，使横梁与有平衡装置的 Z 轴连接； 滑架连接横梁和 Z 轴，其上有两轴的全部气浮块和光栅的读数头、分气座。气浮块和读数头的调 整比较复杂，直接影响测量机精度，不允许调整。 导轨，具有精度

4、要求的运动导向轨道，是基准； 导轨是气浮块运动的轨道，是测量机的基准之一。压缩空气中的油和水及空气中的灰尘会污染导轨，造成导轨道直线度误差变大，使测量机的系统误差增大，影响测量精度。要保持导轨道完好， 避免对导轨磕碰，定期清洁导轨。光栅系统（光栅、读数头、零位片），是基准； 光栅系统是测量机的测长基准。光栅是刻有细密等距离刻线的金属或玻璃，读数头使用光学的方 法读取这些刻线计算长度。为了便于计算由于温度变化造成光栅长度变化带来的误差，采用光栅 一端固定，另一端放开，使其自由伸缩。另外在光栅尺座预置有温度传感器，便于有温度补偿功 能的系统进行自动温度补偿。 零位片的作用是使测量机找到机器零点。机

5、器零点是机器坐标系的原点，是测量机误差补偿和测 量机行程终控制的基准。 驱动系统（伺服电机、传动带）； 驱动系统由直流伺服电机、减速器、传动带、带轮等组成。驱动系统的状态会影响控制系统的参 数，不能随便调整。空气轴承气路系统（过滤器、开关、传感器、气浮块、气管）； 空气轴承（又称气浮块）是测量机的重要部件，主要功能是保持测量机的各运动轴相互无摩擦， 由于气浮块的浮起高度有限而且气孔很小，要求压缩空气压力稳定且其中不能含有杂质、油，也 不能有水。过滤器系统是气路中的最后一道关卡，由于其过滤精度高，非常容易被压缩空气中的 油污染，所以一定要有前置过滤装置和管道进行前置过滤处理。气路中连接的空气开关

6、和空气传 感器都具有保护功能，不能随便调整。 支承（架）、随动带。 小型测量机采用支架支撑测量机工作台，中、大型测量机一般采用千斤顶支撑工作台。都采用三 点支撑，在一个支撑的一侧，有两个附助支撑，只起保险作用。每个支撑都有一个海绵垫，能够 吸收振幅较小的震动，如果安装测量机的附近有幅度较大的震动源，要另外采取减震措施。 三坐标内部结构示意图3.控制系统 这是测量机的控制中枢，主要功能：控制、驱动测量机的运动，三轴同步、速度、加速度控制； 操纵盒或计算机指令通过系统控制单元，按照设置好的速度、加速度，驱动三轴直流伺服电机转 动，并通过光栅和电机的反馈电路对运行速度和电机的转速进行控制，使三轴同步

7、平稳的按指定 轨迹运动。运动轨迹有飞行测量、点定位两种方式，飞行方式测量效率高，运动时停顿少。点定 位方式适合指定截面或指定位置的测量。可以通过语句进行设置。在进入计算机指令指定的触测 的探测距离时，控制单元会控制测量机由位置运动速度转换到探测速度，使测头慢速接近被测零件。 在有触发信号时采集数据，对光栅读数进行处理； 当通过操纵盒或计算机指令控制运动的测量机测头传感器与被测零件接触时，测头传感器（简称 “测头”）就会发出被触发的信号。信号传送到控制单元后，立即令测量机停止运动（测头保护功能），同时锁存此刻的三轴光栅读数。这就是测量机测量的一个点的坐标。 根据补偿文件，对测量机进行 21 项误

8、差补偿； 测量机在制造组装完成后，都要使用激光干涉仪和其它检测工具对 21 项系统误差（各轴的两个 直线度、两个角摆误差、自转误差、位置度误差，三轴之间的两个垂直度误差，共 21 项）进行 检测，生成误差补偿文件，将这些误差用软件进行补偿，以保证测量机精度符合合同的要求。测 头触发后锁存的每一个点坐标都要经过误差计算、补偿后再传送给计算机软件。采集温度数据，进行温度补偿； 有温度补偿功能的测量机，可以根据设定的方式自动采取各轴光栅和被测零件的温度，对于测量 机和零件温度由于偏离 20带来的长度误差进行补偿，以保持高精度。 对测量机工作状态进行监测（行程控制、气压、速度、读数、测头等），采取保护

9、措施； 控制系统内部设有故障诊断功能，对测量机正常工作及安全有影响的部位进行检测，当发现这些 有异常现象时，系统就会采取保护措施（停机，断驱动电源），同时发出信息通知操作人员。 对扫描测头的数据进行处理，并控制扫描: 配备有扫描功能的测量机，由于扫描测头采集的数据量非常大，必须有专用的扫描数据处 理单元进行处理，并控制测量机按照零件表面形状，保持扫描接触的方式运动。与计算机进行各种信息交流。 虽然控制系统本身就是一台计算机，但是没有与外界交互动介面，其内部的数据都要通过 与上位计算机的通讯进行输入和设置。控制信息和测点的数据都通过信息传输、交流。交流方式 主要是 RS232 接口或网卡。控制柜

10、，控制器图4. 计算机（测量软件） 计算机（又称上位机）是数据处理中心，主要功能：对控制系统进行参数设置； 上位计算机通过“超级终端”方式，与控制系统进行通讯并实现参数设置等操作。可以使 用专用软件对系统进行调试和检测。进行测头定义和测头校正，及测针半径补偿: 不同的测头配置和不同的测头角度，测量的坐标数值是不一样的。为使不同配置和不同测 头位置测量的结果都能够统一进行计算，测量软件要求进行测量前必须进行测头校正，以获得测 头配置和测头角度的相关信息。以便在测量时对每个测点进行测针半径补偿，并把不同测头角度 测点的坐标都转换到“基准”测头位置上。建立坐标系（零件找正） 为测量的需要，测量软件以

11、零件的基准建立坐标系统，称零件坐标系。零件坐标系可以根据 需要，进行平移和旋转。为方便测量，可以建立多个零件坐标系。 对测量数据进行计算和统计、处理； 测量软件可以根据需要进行各种投影、构造、拟和计算，也可以对零件图纸要求的各项形位 公差进行计算、评价，对各测量结果使用统计软件进行统计。借助各种专用测量软件可以进行齿 轮、曲线、曲面和复杂零件的扫描等测量。 编程并将运动位置和触测控制通知控制系统； 测量软件可以根据用户需要，采用记录测量过程和脱机编程等方法编程，可以对批量零件进 行自动和高精度的测量或扫描。 输出测量报告； 在测量软件中，操作员可以按照自己需要的格式设置模板，并生成检测报告输出

12、。 传输测量数据到指定网路或计算机。 通过网络连接，计算机可以进行数据、程序的输入和输出。软件界面图 5.测座、测头系统 测座、测头系统是数据采集的传感器系统，主要功能：测头传感器在探针接触被测点时发出触发信号: 测头部分是测量机的重要部件，测头根据其功能有：触发式、扫描式、非接触式（激光、光 学）等。触发式测头是使用最多的一种测头，其工作原理是一个开关式传感器。当测针与零件产 生接触而产生角度变化时，发出一个开关信号。这个信号传送到控制系统后，控制系统对此刻的 光栅计数器中的数据锁存，经处理后传送给测量软件，表示测量了一个点。 扫描式测头有两种工作模式：一种是触发式模式，一种是扫描式模式。扫

13、描测头本身具有三 个相互垂直的距离传感器，可以感觉到与零件接触的程度和矢量方向，这些数据作为测量机的控 制分量，控制测量机的运动轨迹。扫描测头在与零件表面接触、运动过程中定时发出信号，采集光栅数据，并可以根据设置的原则过滤粗大误差，称为“扫描”。扫描测头也可以触发方式工作， 这种方式是高精度的方式，与触发式测头的工作原理不同的是它采用回退触发方式。 测头控制器（PI200、PI7）控制测头工作方式转换（TP200、TP7）； TP200、TP7 测头是高精度测头，它们的特点是灵敏度高，可以接比较长的测针。但是灵敏 度高会造成测量机高速运动时出现误触发。测头控制器控制测头在测量机高速运动时处于高

14、阻 （不灵敏）状态，触发时进入灵敏状态度转换。在手动方式时一般都是以操纵盒的“速度控制键” 进行控制状态转换，即低速运动时是测头的灵敏状态。测座控制器根据命令控制测座旋转到指定角度。测座控制器可以用命令或程序控制并驱动自动测座的旋转到指定位置。手动的测座只能由人 工手动方式旋转测座。 测头（针）更换架可以在程序运行中，自动更换测头（针），避免程序中的人工干预，提高 测量效率。 各系列测头座，测头，加长杆，测针图二 三坐标原理1. 运动原理运动部件是通过气浮与花岗岩导轨之间形成一层气膜来实现运动部件悬浮，再由伺服系统驱动其运动，运动所需功率小，不用担心导轨磨损。气浮与导轨接触图2. 测量原理 一

15、把尺子，当规定了其正方向和原点，则这把尺子就相当于一个数轴；假如两把尺子相互垂直放置，规定了两把尺子的正方向，并且交点为原点，这样就形成一个平面直角坐标系；同样，三把尺子相互垂直放置，规定了三把尺子的正方向，并且规定三把尺子交点为原点，这样就形成一个空间直角坐标系。 三坐标三轴导轨上都贴有高精度光栅尺，运动部件上装有读取光栅信号的装置叫读数头，读数头与光栅尺的相对运动产生坐标变化，当规定了三轴光栅尺零位后，读数头就读取的是当前机器坐标系下的坐标值，读数头再把数据通过控制系统传递到电脑、软件。这样我们就在软件上看到的当前坐标值。 光栅尺、读数头“图”3. 计数原理1、 在坐标空间中，可以用坐标来描述每一个点的位置。 2、 多个点可以用数学的方法拟合成几何元素，如：面、线、圆、圆柱、圆锥等。 3、 利用几何元素的特征，如：圆的直径、圆心点、面的法矢、圆柱的轴线、圆锥顶点等可以计 算这些几何元素之间的距离和位置关系、进行形位公差的评价。 4、 将复杂的数学公式编写成程序软件，利用软件可以进行特殊零件的检测。齿轮、叶片、曲线 曲面、数据统计等。 5、 主要算法是最小二乘法。 三、 气源系统1. 气路走向2. 气源系统控制原理3. 注意事项