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1、传感器技术实验指导书（07级微电子专业）刘海浪编桂林电子科技大学二九年五月目 录实验一 应变式传感器特性测试 2实验二 电感式传感器特性测试 7实验三 霍尔传感器应用实验 13实验四 传感器应用的计算机仿真 16实验一 应变式传感器特性测试一、 实验目的1、掌握金属箔式应变片的应变效应，单臂电桥工作原理和性能；2、了解学习全桥测量电路的构成及其特点、优点；3、比较单臂电桥与全桥的不同性能、了解其特点。二、 实验用器件与设备1、应变式传感器实验台；2、传感器实验箱；3、砝码；4、跳线；5、万用表等。三、 实验原理 直流电桥原理：在进行金属箔式应变片单臂、半桥、全桥性能实验之前，我们有必要先来介绍
2、一下直流电桥的相关知识。电桥电路有直流电桥和交流电桥两种。电桥电路的主要指标是桥路灵敏度、非线性和负载特性。下面具体讨论有关直流电路和与之相关的这几项指标。1、 平衡条件直流电桥的基本形式如图1-1所示。R1， R2，R3 ， R4 为电桥的桥臂电阻，RL为其负载（可以是测量仪表内阻或其他负载）。当RL时，电桥的输出电压V0应为V0=E() 当电桥平衡时，V0=0，由上式可得到R1R4=R2R3，或 （1-1） 图1-1直流电桥的基本形式式（1-1）秤为电桥平衡条件。平衡电桥就是桥路中相邻两桥臂阻值之比应相等，桥路相邻两臂阻值之比相等方可使流过负载电阻的电流为零。2、 平衡状态单臂直流电桥：所
3、谓单臂就是电桥中一桥臂为电阻式传感器，且其电阻变化为R，其它桥臂为阻值固定不变，这时电桥输出电压V00（此时仍视电桥为开路状态），则不平衡电桥输出电压V0为 V0 (1-2)设桥臂比n=，由于R1R1，分母中可忽略，输出电压便为V0= 这是理想情况，式（1-2）为实际输出电压，由此可求出电桥非线性误差。实际的非线性特性曲线与理想线性曲线的偏差秤为绝对非线性误差。则其相对线性误差r为： r= = （1-3）由此可见，非线性误差与电阻相对变化有关，当较大时，就不可忽略误差了。 下面来看电桥电压灵敏度SV 。在式（1-2）中，忽略分母中项，并且考虑到起始平衡条件，从式（1-2）可以得到 V0 （1-
4、4）电桥灵敏度的定义为 SV = = （1-5）当n=1时，可求得SV最大。也就是说，在电桥电压E确定后，当R1=R2，R3=R4 时，电桥电压灵敏度最高。此时可分别将式（1-2）、（1-3）、（1-4）、（1-5）化简为： V0= （1-6） r = （1-7） V0 （1-8） SV = （1-9）由上面四式可知，当电源电压E和电阻相对变化一定时，电桥的输出电压，非线性误差，电压灵敏度也是定值，与各桥臂阻值无关。差动直流电桥（半桥式）： 若图1-1中支流电桥的相邻两臂为传感器，即R1和R2为传感器，并且其相应变化为R1和 R2，则该电桥输出电压V00，当R1=R2，R1=R2，R3=R4
5、时，则得 V0=上式表明，V0与成线性关系，比单臂电桥输出电压提高一倍，差动电桥无非线性误差，而且电压灵敏度SV为 SV = 比使用一只传感器提高了一倍，同时可以起到温度补偿的作用。双差动直流电桥（全桥式）： 若图1-1中直流电桥的四臂均为传感器，则构成全桥差动电路。若满足R1=R2=R3=R4，则输出电压和灵敏度为 V0= SV = E由此可知，全桥式直流电桥是单臂直流电桥的输出电压和灵敏度的4倍，是半桥式直流电桥的输出电压和灵敏度的2倍。四、 实验方法与步骤 (一)、全桥电路性能测量：1. 关闭实验台总电源，将红色线接入P1或者P5口，黄色线接入P2或者P3口，将黑色线接入P4或者P8口，
6、将蓝色线接入P6或P7口； 2、用导线把全桥电路信号处理模块的T8口接到信号输出模块的T4或T5，然后用信号线连接信号输出模块的BNC接口和多通道数据采集模块的通道5上。3. 用电源线将基础实验台上多路输出电源引接到传感器开放电路主板上；把主板上的5V、12V、12V的电源开关拨到ON。4. 用万用表测量T8口的对地电压，如果该点电压超过5V，则调节电阻R22的阻值以调节放大电路的零点，尽量使输出为零（可调到0.5V以下即可），然后在应变压办实验台上放置法码，观察T8口的输出电压，使其始终不超过5V，如果有超过的，则调节R21和R9的阻值，使输出不超过5V； 5. 调整完毕后，从质量为0g开始
7、，先测一个数据，再依次添加不同质量的砝码到托盘上，用万用表测量T8口相应的电压值，因为应变片的量程是5kg，切勿放置过大质量物体在托盘上，更不可按压托盘。6.在托盘上放置一只砝码，读取电压数值，依次增加砝码和读取相应的电压值，直到砝码加完，记下实验结果填入如表1-1类似的表中，关闭电源。 表1-1全桥实验数据样表重量（g）电压（mv）7. 根据表1-1计算系统灵敏度S=（输出电压变化量与重量变化量之比）。8. 绘出电压和质量之间的关系曲线，并对其进行线性拟合，求出拟合直线，记下斜率和截距b待用（v=km+b）。(二)、全桥电路的应用-称重实验：1.运行Labview主程序，打开“全桥电路的应用
8、物体重量测量”程序，建立实验环境，2. 在实验界面上输入对应通道数，然后分别输入上步拟合得到的k值和b值，运行程序； 3. 在托盘上分别放置不同质量的砝码，在实验界面可看到一个测量的质量值，分别记录实验测量值和托盘上实际放置的法码的质量，比较误差，如果误差过大请重新计算k值和b值； 7.计算实际质量与程序测量得到的质量之间的实验误差，分析产生误差的原因。实验二 电涡流传感器特性测试及应用预习要求：1、学习理解电涡流传感器的结构及工作原理，并掌握电涡流传感器用于位移测量时的测量电路和测试原理。2、根据实验要求，作好实验前的准备（测试方法及测试点选择、数据记录的格式等）。一、实验目的1、了解电涡流
9、传感器的结构、特点，掌握其工作原理和使用方法；2、通过测量电涡流传感器的输入输出关系曲线，深入理解电涡流传感器的特性及其指标的含义；3、利用电涡流传感器进行传感器静态特性的测量；4、利用机械结构、传感器、数据采集卡、虚拟仪器平台构建测试系统。二、 实验原理1、电涡流的形成原理如图2-1所示，由物理学知识可知，若在线圈中通入交变电流I，在线圈周围的空间就产生了交变磁场i，将金属导体置于此交变磁场范围内，导体表面层产生涡电流，涡电流的高频磁场e以反作用于传感器电感线圈，从而改变了线圈的阻抗ZL或线圈的电感和品质因素。ZL的变化取于线圈到金属板之间的距离x、金属板的电阻率、磁导率以及激励电流的幅值A
10、和频率f。图2-1 电涡流传感器的工作原理2、电涡流位移传感器原理电涡流位移传感器是以高频电涡流效应为原理的非接触式位移传感器。前置器内产生的高频振荡电流通过同轴电缆流入探头线圈中，线圈将产生一个高频电磁场。当被测金属体靠近该线圈时，由于高频电磁场的作用，在金属表面上就产生感应电流，既电涡流。该电流产生一个交变磁场，方向与线圈磁场方向相反，这两个磁场相互叠加就改变了原线圈的阻抗。这一变化与金属体磁导率、电导率、线圈的几何形状、几何尺寸、电流频率以及头部线圈到金属导体表面的距离等参数有关。通常假定金属导体材质均匀且性能是线性和各项同性，则线圈和金属导体系统的物理性质可由金属导体的电导率 、磁导率
11、 、尺寸因子 、头部体线圈与金属导体表面的距离 D、电流强度 I 和频率 参数来描述。则线圈特征阻抗可用 Z=F(, , , D, I, )函数来表示。通常我们能做到控制 , , , I, 这几个参数在一定范围内不变，则线圈的特征阻抗 Z 就成为距离 D 的单值函数，虽然它整个函数是一非线性的，其函数特征为“S”型曲线，但可以选取它近似为线性的一段。于此，通过前置器对信号进行处理，将线圈阻抗 Z 的变化，即头部体线圈与金属导体的距离 D 的变化转化成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间距的变化而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、振动等参数的测量。当被
12、测金属与探头之间的距离发生变化时，探头中线圈的磁场强度也发生变化，磁场强度的变化引起振荡电压幅度的变化，而这个随距离变化的振荡电压经过检波、滤波、线性补偿、放大归一处理转化成电压（电流）变化，最终完成机械位移(间隙)转换成电压（电流）。所以探头与被测金属体表面距离的变化可通过探头线圈阻抗的变化来测量。前置器根据探头线圈阻抗的变化输出一个与距离成正比的直流电压。图 2-2 为电涡流传感器的工作原理示意图。图2-2 电涡流传感器工作示意图主要技术指标：供电电压探头直径线性量程输出方式24V11mm4mm1-5V3、最小二乘法拟合原理：给定平面上一组点（xi,f(xi)）(i=1,2,3n)，用直线拟合。即求得f(x),使得偏差Vm达到最小。三、实验仪器和设备1计算机 1 台 2LabVIEW8.2 以上版本 1 套3数据采集模块 1 台 4电涡流特性实验模块 1 台5. 电源模块 1 台 6. 操作工具 1 套四、 实验内容与实验步骤1、实验前准备及电路的连接（1） 关闭数据采集卡电源，将电涡流传感器连接到采集卡的数据采集一个 AD 通道上。注意不要在带电的情况下从采集卡上插拔传感器，以免对采集卡和传感器造成损坏。（2）电涡流传感器的工作电
