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1、气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量（无需温度和压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大 后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图：址栏里）控制器输岀的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输岀电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围为2100%满刻度（量程比为 50: 1），流量分辨率为0.1%满刻度。注意：气体质量流量控制器的 阀控”线置于 清洗”位
2、时也可以当成气体质量流量计使用。这时，流量检测 输岀电压的输岀值可能达到10VDC以上。需要注意的是，一旦输岀电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能岀现流量增大、显示减小的现 象，但这些不会损坏质量流量控制器。2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构揑制器设定点0-5VDC质益流益0 - 5VDC轲入压力 最大环境 压力+LObar放大辭嚨控制的质暑 心流二（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里） 气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID 控制电路就构成了流量控制器。 3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围MFC 和 MFM 可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪 器。应用对象：质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特 殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集 成商、大学实验室、气体公司、研
