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1、加热一、在检漏完毕，就可以进入加热状态，先检查炉体进水压力和温度，单晶炉的进水压 力必须保证在0.150.2MPa,如果低于0.15 MPa时必须报告上级，通知设备部门，让其对 单晶炉的进水压力进行增压，以达到单晶炉需求，保证正常生产，确保炉体温度不会超标， 期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并 需在交接班时告知下个班同事。当检查时发现单晶炉进水压力超过0.2MPa时必须报告上级， 通知设备部门，让其对单晶炉的进水压力进行减压处理，保证生产，以防进水压力过大导致 冷却水管爆裂，致使单晶炉生产无法进行，耽误生产计划，甚至出现重大事故。期间需填写 设备异
2、常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班 时告知下个班同事。检查单晶炉进水压力后需要检查炉体进水温度是否合适，单晶炉进水温 度要求在 25 摄氏度以下，如果出现炉体温度过高，将会影响单晶炉的生产效果，对拉晶造 成很大影响，所以当出现炉体温度较高时，需报告上级，并通知设备部门，让其将冷却水的 水温进一步降低，以达到单晶炉要求为准，以确保单晶炉正常生产。期间需填写设备异常报 告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个 班同事。以上两项检查完毕后，需要对单晶炉的电气设备进行检查，检查电气柜的控制开关 有没有打开，如果出现没有打开
3、的情况下，必须将其打开，那样才可以进行加热，打开开关 后，检查电气柜内的模块是否都处于运行状态，如果发现有未处于运行状态的模块，需向上 级报告，并通知设备部门进行检查，在得到设备部门确认可以使用后，才可以进行运行单晶 炉，期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况， 并需在交接班时告知下个班同事。以上工作完成后就可以打开氩气总阀门，调节副室氩气流 量在2530L/Min （关闭主室氩气流量计），使炉内压力稳定在13001500Pa。如果出现氩气流量计调节到2530L/min时，炉内压力达不到13001500Pa时，需检 查输入氩气的压力，单晶炉的氩气进气压力需
4、要保持在0.20.3MPa。压力太低需要报告上 级，并通知设备部门，让其暂时打开增压阀，尽快恢复氩气进气压力，保证正常生产。一般 氩气压力太低时都是由于氩气罐内的液态氩储量不多时导致，所以在生产中必须保证氩气的 足量供应。需要定时检查氩气的罐内储量，并根据储量来调节氩气的进气压力，进气压力不 得大于0.3 MPa，当检查时出现氩气进气压力大于0.3MPa时必须报告上级，并通知设备部 门，让其打开放气阀门，以达到降低罐体内压力的目的，直至降低至0.3MPa以下。在确定 以上情况均正常时即可继续进行检查控制柜工序。期间需填写设备异常报告单，并写设备维 修记录单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需
5、在交接班时告知下个班同事。检查控制柜必须检查加热开关是否可以正常使用，控制柜一般需要每炉重新启动一 次，以保证不会在之后生产过程中出现控制柜死机状态。所以大家在开始加热以前需重新启 动一次控制柜，这样可以大大降低控制柜死机的概率。在检查过程中还需检查手控器的开关、 和显示是否正常，一般要求手控显示与实际相差不得大于0.2。如果误差过大将会对之后的 拉晶造成不小的影响，对埚跟比的调节都是一个影响，所以如果出现误差过大的情况，必须 报告上级，通知机修，让其对手控器进行校准，保证不出现误差过大现象，以免影响生产。 期间需填写设备异常报告单，并写设备维修记录单，还需在 产跟踪表上注明异常情况，并 需在
6、交接班时告知下个班同事。加热前需要检查控制程序中的拉晶参数，点开拉晶参数栏后，仔细核对是否次拉晶 参数为原始拉晶参数，如果不同，需要向上级报告，并通知工艺或者专门管理工艺参数的人 员，让其来修改工艺参数，使之与之前一致，绝对禁止操作工私自更改系统工艺参数，发现 一次将会严惩，需要修改参数时必须有工艺相关人员进行修改，绝对不允许个人私自未经允 许的情况下就私自修改参数。如果需要更改系统参数，必须要在记录本上注明修改的参数为谁修改和修改的内容，还需在设备异常情况中注明，并由修改人，操作工及当班班长签字 并需口头向下个班交接。加热前将画面按到（F4温度系统），加热水压触点1灯亮，水压触点2灯不亮，加
7、 热故障灯不亮方可加热。以上工作完成后即可打开加热开关，根据下表通过欧陆增加功率，一般间隔 0.5H 增 加一次功率，每次增加功率均需做相应记录。对欧陆表的使用应小心操作，防止功率迅速增 大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而产生打火或损坏。应 严格按照加热顺序进行加热，否则可能会因为温度突然上升造成石英坩埚破裂、漏硅。时间（ min）功率（ KW）30607585900301515加热时必须打开水温报警，加热电流过低报警，加热器异常报警等。避免因人为疏 忽发生异常情况，电脑无法报警造成事故的发生。部分炉台出现水温报警，可能是因为线路 松脱等原因造成，及时检查原因，若出
8、现假报警时，可将水温报警开关退出，切记不要将控 制柜上方的红色总报警器关闭。如果加热过程中出现过流情况时，第一步将功率将至零位，然后再升功率至之前未 出现过流报警的功率，然后检查埚位是否过低，看下导流筒与料之间的空隙有多远，之后可 以将液压旋钮旋至允许状态，按下埚升按钮，一边观察炉内情况，如果坩埚出现抖动现象， 那么可以再升一下埚位后，松开锅升按钮，将液压旋钮旋至禁止状态，然后再将功率升至之 前报警的功率看下是否还会出现报警情况，如果没有出现，那么就继续观察并做好记录，期 间出现的各种异常情况都需对上级报告。如果在你将功率归零后，再慢慢升至之前报警功率 时没有出现之前报警的情况，则不用动其他部
9、位，继续加热，并继续观察炉内有无异常情况。 一般引起过流报警的情况主要是由于操作工在加温过程中未按照规定的操作要求操作炉台 加热功率速率变化过大导致电气柜中的变压器瞬时负荷变大导致，所以我们要求是必须按照 作业指导书中的要求严格要求操作工在操作炉台时一定要认真，负责。如果其不负责任的操 作炉台在加热过程中如果不按照要求随意增加功率时功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过 大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而产生打火或损坏，那样会对整个生产造成重大影 响甚至可能会因为温度突然上升造成石英坩埚破裂、漏硅。期间需填写设备异常报告单，还 需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。如果在
10、加热过程中加热时间在1.0H以内出现打火现象（观察电流、电压指针是否处 于大幅摆动中，如果出现这种状况，那么可以确定为炉内打火），那么应及时将功率将为零 位，稍等一下后继续将功率升至之前出现异常功率的 90%观察电流、电压的变化。如果未 出现电流、电压指针摆动现象，那么可以将功率维持在这个功率30min后再试试可不可以 继续增加功率，如果还是出现电流、电压指针在摆动，那么将可以降下功率至零位，关闭加 热按钮。停炉冷却5H后开炉、拆炉、检查打火部位，并做详细记录。待料取出后根据坩埚 的形状和状况请示工艺中心，让其确定此坩埚是否可以继续使用。期间需做好详细的生产异 常记录，在生产异常记录表中填好，
11、还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告 知下个班同事。有时候会出现加热时功率指针无动作现象，这时第一是通知上级，并通知设备的机 修来处理，检查配电柜内是否有加热的保险被烧掉，如果有立刻更换掉，如果没有那么要对 配电柜进行一下简单的检查开下配电柜内的开关是否是出于全部打开状态，如果没有则需将 开关调至打开状态，因为有时候在加热时，配电柜内的开关会因为功率的突然变化而产生自 动跳为关闭状态，所以也需要检查一下，如果其处于全部打开状态，则需对控制柜内的加热 区线路进行检查，看有无线路断开连接，有无插件未插紧，和一些插件是否有金属物质（因 为一些金属物质在落到一些插件上时会导致其插件线路成短
12、路状态，无法正常使用。这时则 需要拔掉插件，对插件进行一些清洗工作，清洗时必须使用干无尘纸或者是沾有酒精的无尘 纸。绝对禁止使用沾水的物品擦拭。最后如果以上工作检查到位后未发现异常情况，则需要 检查炉底电极位置的电路是否正常，这个部位绝对禁止操作工来检查，一定要由设备部门专 业人员来检查，不要自己“主动”去检查。期间操作工应积极配合设备部门检查各个地方， 并做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接 班时告知下个班同事。加热过程中（1H内）如出现停水状况时，应先检查单晶炉的进水压力是否偏低，或 无压力，水管和炉体温度是否明显升高，确认后先关闭将功率归零，关闭
13、加热电源，真空泵 不要关闭，然后打开应急冷却水，保证炉体不会因为过热变形，冷却水管出现爆裂现象，如 果冷却水短时间内（30min）恢复供应时，监控水压，有异常情况立即报告管理人员，如果 压力正常则需打开加热电源，将加热功率逐步递增至熔料功率，继续作业。如长时间冷却水 未输送，则需保持应急水的供应确保炉体问题不会太高，等待炉内冷却好以后开炉，检查。 期间操作工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并 需在交接班时告知下个班同事。加热过程中如出现停电状况时，应及时通知设备部门，并及时关闭电磁阀门，防止 倒吸导致硅料被严重污染，然后将氩气流量调低，但不提倡将其关闭，只需
14、保证其不会在短 时间内将炉内压力充至正常大气压。如果可以在短时间内电力送至，那么可以将功率逐步增 至熔料功率，并监控电压，电流是否有异常情况，有异常情况立即报告管理人员。期间操作 工做好详细记录，需填写设备异常报告单，还需在生产跟踪表上注明异常情况，并需在交接 班时告知下个班同事。加热过程中有时会出现过流现象（电流、电压瞬时摆动至最高后，瞬间回零造成控 电系统瞬时负荷过大，造成其保护系统启动，自动切断电流、电压并打开报警系统）。这是 应及时将功率调至0位，让其停止报警后，再次逐步增加功率，回到初始功率，并观察炉内 情况，确认是否有异常。这种现象一般是由于操作工在增加功率时增加的幅度过大或者频率
15、 过快导致电力控制系统出现的报警，所以操作工在操作加热过程需要注意步骤，切勿急于将 功率加至最高温，防止出现报警，甚至有可能在操作炉台时在加热过程中如果不按照要求随 意增加功率时功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过 大而产生打火或损坏，那样会对整个生产造成重大影响甚至可能会因为温度突然上升造成石 英坩埚破裂、漏硅。这样的事故会对生产造成影响。期间需填写设备异常报告单，还需在生 产跟踪表上注明异常情况，并需在交接班时告知下个班同事。在加热时请注意单晶炉的加热器的最大加热功率和加热器的最大加热电流及电压。 单晶炉的加热器最大加热功率为140KW，所以在加热时一定注意
16、不要盲目的增加功率，要 根据生产工艺要求来增加功率，不要超过工艺要求的最高功率。以免因为加热功率过高造成 石英坩埚承受不住高温产出破裂，造成漏硅发生，引起重大生产事故；甚至会因为加热功率 过高超过加热器的承受范围，那么加热器可能会因此而发生断裂，损坏，造成重大事故。加 热器的最大加热电流为2400A，最大加热电压为60v，所以操作工在操作时加热时一定一 定注意不要盲目的增加功率，要根据生产工艺要求来增加功率，不要超过工艺要求最高电流 及电压，防止因为过高的电流及电压对加热器造成损坏，断裂，还有可能出现因为过高的电 流及电压造成配电系统的变压器负荷过大，造成变压器内的保险短路，甚至烧坏保险丝。对 生产造成影响，并出现重大生产事故，所以操作工在操作时应严格要求按照单晶炉的操作标 准化作业指导书来操作单晶炉，否则这种不负责任的态度将会造成重大损失。加热过程中一定要按照操作标准指导书来作业，绝对禁止操作工私自更改系统参数 及随意增加功率幅度，以免造成重大生产事故。 在加热操作中
