《分子泵维修常见问题故障》由会员分享，可在线阅读，更多相关《分子泵维修常见问题故障（3页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、查找故障故障现象检查操作系统通电时，LEDS有1对烁0.5秒电源是否出现故障确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。发送并行“启动”命令后泵不旋转检查电源是否打开并且故障输出是否活动转轴任然不旋转，则表小泵出 现故障。发送串行“启动”命令后泵不旋转检查泉是否回复“启动”命令如果没有回复，则应检查串行通信链接是否通电并且“用行启用”是否激活以及电源是否打开。检查橙色状态LED是否闪烁。泵在多站模式下不响应检查是否启用多站模式确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。橙色状态LED闪烁错误代码注意每个序列6下闪烁中长闪烁的位置，以解读错误代码。查阅相关错误代码并按照所提供的说明进行操作运行时
2、额定LED/、亮或泵没有以全速旋转或泵出现故障入口压力是否过高如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否启大泄漏。泵运行时是否太热增加泵的冷却。可能需要从通 风冷却变成水冷。可能需要增 大冷却水流量或降低水温或 同时米取这两种措施。检查外 部热源确保没有辐射过多热 量。转轴旋转是否顺畅如果不是，泵轴承可能已损坏。无法达到极限压力压力是否因水蒸气而受限烘烤系统和泵。是否任何真空压力表有污物如果是这样，应清洁或更换。抽取速度是否/、足(由于泵和压力表接触不良或中1日后太大的腔)使其接触良好或减小体积。层间入口压力是否 0.5mbar(50pa)如果层间入口压力太大，涡轮 分子泵上的入口压力会增大；
3、应确保层间入口压力10mbar?如果是这样，前级压力可能太 大。检查后备管道是否启泄 漏。如果对处理能力要求较 高，则可能需要更大的后备 泵。系统的高真空区域是否有污物如果是这样，应清洁高真空系 统。检查系统的其它部分是否有泄漏或污物。如果发现有，则应修补泄漏处并清除污物。泵噪音很大或振动过大或两种情况同时出现泵转速与所连接系统的共振频率是否相同如果是这样，则应更改系统的 固有频率或使用活动风箱隔 离泵。震动是从转动的后备泵传递过来的吗如果是这样，则应在后备线路 中安装活动风箱或隔振器。噪音是不是不规则并且越来越糟糕如果是这样，则表示轴承有瑕疵。泵是不是发出持续的啸叫如果是这样，则表示转轴失衡。
