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1、UL1000Fab技术手册第 24 页 共 109 页技术手册2003年3月11日 2.0版UL1000 Fab氦检漏仪24目录1一般信息1.1本手册使用符号1.1.1安全符号1.1.2指示符1.1.3真空符号1.1.4术语定义1.2INFICON服务的支持1.2.1维修中心1.3前言1.3.1用途1.3.2技术参数1.3.2.1物理参数1.3.2.2电气参数1.3.2.3其它参数1.3.2.4环境条件1.4开箱1.4.1设备供货范围1.4.2附件与选件1.4.2.1吸入器管线SL2001.4.2.2工具箱1.4.2.3氦气瓶支架1.4.2.4ESD 垫层1.4.2.5手持单元2安装2.1运输
2、2.2就位2.3电连接2.3.1供电电源2.3.2数据采集系统的连接2.3.2.1附件2.3.2.2数字输出2.3.2.3数字输入2.3.2.4记录仪2.3.2.5RS2322.3.2.6手持单元2.4真空连接件2.4.1进气口2.4.2排气2.4.3放空2.4.4冲洗/气镇3初始运行检查3.1需要的设备3.2初始运行说明3.2.1启动与测量0-23.2.2内部校准3.2.3验证4说明和工作原理4.1前言4.2UL1000Fab的组件4.2.1真空系统4.2.2控制面板4.2.2.1液晶显示器4.2.2.2启动按键4.2.2.3停止按键4.2.2.4抑零按键4.2.2.5菜单按键4.2.2.6
3、软键4.2.2.7数值输入4.3工作模式4.3.1真空模式4.3.2吸入器模式5UL1000Fab的运行5.1显示屏5.2起转模式中的显示屏5.3测量模式中的显示屏5.3.1校准的调用5.3.2扬声器音量5.3.3显示屏的状态线5.3.4数值显示模式5.3.5趋向模式6菜单说明6.1主菜单6.2一览6.2.1线性/对数刻度6.2.2显示范围 自动/手动6.2.3时间轴6.2.4对比度6.2.5待用模式中的本底6.2.6小数点位数6.2.7漏率过滤器6.3模式6.4触发与警告6.4.1触发值16.4.2触发值26.4.3音量6.4.4单位6.4.5警告延迟6.4.6音响警告型式6.4.6.1定点
4、0-36.4.6.2漏率正比6.4.6.3设点6.4.6.4触发警告6.5校准6.6设定值6.6.1真空设定值6.6.1.1放空延迟6.6.1.2保护功能6.6.1.3内测试漏孔漏率6.6.1.4机器因素6.6.2抑零-时间6.6.3质量6.6.4接口6.6.4.1记录仪输出6.6.5杂项6.6.5.1时间和日期6.6.5.3语言6.6.5.3校准请求6.6.5.4电源频率6.6.5.5服务区间排气过滤器6.6.5.6服务信息排气过滤器6.6.6参数保存/载入6.6.6.1载入参数组16.6.6.2载入参数组26.7信息6.7.1服务6.7.1.1调试6.7.1.2因素6.7.1.3切换灯丝6
5、.7.1.4高级功能6.7.1.5手动调谐6.7.1.6复位功能6.8查访控制6.8.1查访校准功能6.8.2更改菜单-PIN6.8.3更改设备-PIN6.8.4抑零7校准7.1前言7.2校准进程7.2.1内部校准7.2.1.1自动内部校准7.2.1.2手动内部校准7.2.2外部校准8误差和警告信息8.1提示0-48.2信息清单9接口说明9.1ASCII-模式9.1.1误差信息9.1.2参数9.1.3实例9.1.4指令清单9.2二进制模式9.2.1实例9.2.2数据格式9.2.3误差信息9.2.4指令10维护10.1INFICON服务10.2维护计划10.2.1最小维护10.2.2标准维护10
6、.2.3高级维护10.3维护步骤10.3.1更换排气消音器10.3.2打开UL1000Fab10.3.3检查/更换过滤器过滤筛网10.4涡轮分子泵10.5涡旋泵附录A图B索引0-51 一般信息注意我们建议您仔细阅读本使用说明书，以保证从一开始就进入最佳工作状态。本使用说明包含有关UL1000Fab的功能、安装、启动和运行等重要信息。一般说明本公司保留设计与特定参数的更改权。图示是无约束的。1.1本手册使用符号1.1.1安全符号有关操作安全与保护的重要标注如下：注意有关正确搬运与使用设备的信息。忽视将导致误动作或设备的局部损伤。警告有关防止大范围地损坏设备和环境的信息。危险有关防止各种人身伤害的
7、信息。熟练人员表示必须由熟练人员才能执行的步骤。1-11.1.2指示符提示有关有益的步骤的信息。注意有关用户必须遵守的特殊技术要求的信息。参考图示依次包含章节数，图号和项号。例如：Fig.2-4/7为2章的图4中项7。1.1.3真空符号下面列出本手册中使用的一些重要的真空符号。真空泵通用涡轮分子泵测量仪器阀门1.1.4术语定义自动换挡自动选择前置放大器的量程和真空量程。取决于所选的工作模式：“2：真空模式”，“2：吸入器N/SP模式”或“2：部分常规/无油模式”， UL1000Fab的自动换挡功能覆盖整个量程或漏率。不仅漏率讯号而且试样中的压强（进气口压强PE）和前级压强（PV）均用作为控制目
8、的。在主量程之间的量程转换通过阀门执行。在主量程内的细量程转换由切换前置放大器的增益系数来完成。1-2自动质量调整这个功能自动调整质谱仪从而显示最大漏率。控制计算机在选择的范围内改变离子加速电压直到离子检测器检测到最大的离子流。在每次校准过程中自动运行质量调整功能。自动抑零确定和自动适应氦本底。通过这功能，确定仪器的内部零点，然后将它从当前的漏率讯号中扣除。这功能在校准过程中或当操作起始按键时运行，只要UL1000Fab在待用或放空模式至少预先运行20秒钟。如先前抑制的氦本底应跌落，这样在抑零期间将只显示限值，零点是自动适应的。菜单菜单允许用户按自己的要求编程UL1000Fab。菜单是树状结构
9、的。缺省UL1000Fab供应时工厂设定的状态。FINEFINE是中间测量模式，进气口压强在1至0.1毫巴之间。检测限值为110-10毫巴升/秒。GROSSGROSS是用于高进气口压强的测量模式（1至15毫巴）。最小检测限值为110-7毫巴升/秒。ULTRAULTRA是最灵敏的测量范围，进气口压强低于0.1毫巴。最小检测限值为110-12毫巴升/秒。1-3最小可检漏率UL1000Fab的最小可检漏率 510-12毫巴升/秒。内部氦本底在测量系统中的氦分压强。内部氦本底值在待用模式中测量，并从讯号中扣除。测量测量模式待用UL1000Fab测量试件的漏率。INFICON服务的支持如将设备返回INF
10、ICON或INFICON的授权代理。请标明设备无危害健康的物质或设备已污染。如已污染，前请标明危害的性质。无污染申报表的任何设备INFICON将按发送地址退回。详细说明污染类型的表格复制于图1-1中。建议签订一份维护和检修合同。1-4污染申报表检修和/或服务的提供仅适用于已提交正确完整申报表的真空设备和元件。手续不完整的将导致延迟。本申报表必须由经过授权和有资格的人员填写和签署。1 产品说明型号编号出厂号2 返修原因3 使用的工作液体4 产品的污染过程：毒性 否 是 腐蚀性 否 是 生物危害性 否 是 *）易爆性 否 是 *）放射性 否 是 *）其它有害性物质 否 是 *）已污染的真空产品如无书面的污染资料是不能接受的！5 有害的物质、气体和/或副产品 请列出与设备接触过的物质、气体和副产品：商标 / 产品名称制造厂化学名称（或符号）危险性材料等级如泄漏应采取的措施人体接触的急救方法6 有法律约束的申报：我申明本申报表中的信息是完整和正确的。污染的产品将按相应的危险性物质包装、运输
