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1、蔡司品牌及型号EP00VPP5555VPa200a00a600光学系统分辨率1.520KV1.15KV3.01KV.530KV1.020KV1. 315KV2. 11KVVp.00.2KV2.030KVV1.0a15kV1.0a15k1.015KV1.a1kV1.a1k1.1KV0.a30kV0.a303.50.2KVaa.00.1KV1.5a10kV1.5a10k2030KVVP1.a3kV1.a3k1.0a15kV1.a1kV0va30kVVa1.5a10kV1.a3kV放大倍数12500,000x12900,000x12900.000x61,000,000X61,000,000X61,0
2、00,000X加速电压“c0.130KV0.020.130KV0.0210030KV30kV30K200V-30kV200V-30kV200V-30kV低真空压力范围2133Pa2133Pa10130Pa10130Pa10130Pa电子枪热场热场热场热场热场热场探针电流范围04pAto10nA(20nA可选4pAto10nA(20nA可选p.3220.3220.322真空系统真空泵系统真空度样品系统284mmleftto284mmleftto379mmlefttorihtrihtriht样品室尺寸工作室：330mm(申)X270mm(h)工作室：330mm()X270mm(h)工作室：330m
3、m(0)x270mm(h) 5mmanalyticalD 8ports 5mmanalyticalD 8ports 5mmanalyticalD 21portsEDXtakeoffEDXtakeoffEDXtakeoffanle:35deanle:35deanle:35de5axismotoried4axismotoried5axismotoriedstaestaeEucentriconiometerstae Eucentriconiometerstae X=150mmPseudoeucentricstae5轴试样载物台：5轴试样载物台：5轴试样载物台： X=50mm Y=50mmY=150m
4、mZ=10mmX=125mmX=130mmX=130mmoniometerstaeY=125mmY=130mmY=130mmX=100mm样品行程Z=50mmZ=50mmZ=50mmZ=50mm(25mmY=100mmClearance=max.T=0-90T=-3-70T=-3-70motoried)Z=60mm55mmtoeucentric75R=360R=360R=360T二15+T二5+70point(continuous)(continuous)(continuous)(manual,oT=10to+60motoriedoptional)R=360R=360R=nx360contin
5、uouscontinuousMinimumstep:100nm样品台移动精度小于或等于2Um小于或等于2pm小于或等于2pm2Um2Um1Um日本电子-5500-4800-0-601-5000.4nm(30kV)1.6nm(1kV)1. 0nm(15KV.WD=4.0mm)1.4nm(1kV,减速模式)1.6nm(lKV.WD=1.5mm，减速1.0nm(15kV)模式)2. 5nm(1KV.WD=1.5mm)1. 0nm(15kV)2. 2nm(1kV)1.0nm(15kV)1.4nm(1kV)60X10,000X(低倍模式)8002,000,000X20800,000(高倍模式)低放大倍数
6、模式20-2,000高放大倍数模式100-800,00025-650K25-100万倍0.530kV0.530kV0.5-30KV0.530kV0.1KV-30kV冷场发射冷场发射电子源热场冷场发射电子枪：10-冷场发射电子枪1-100n10-13到2X10-10-13到2X10-l型：X:050mmY:050mmZ:1.530mmT:-5+70X35vR：36023.5mm，Z驱动:手动（可选3轴驱动）2.0mm;Z:型.T.3,0X:0110mmV:0T:40110mmZ:1.540mmT:-5+70R:360。驱动:PC机控制5轴驱动样品台控制5轴马达控制移动范围XOTIOmmVOTIOmm1.540mmT0.5+700R360样品台标配三轴马达却动，可选四、五轴马达驱动木电子JSM-7001F(常规)JSM-7OOF12n(0On(11n(110n(110-0025tol,000,000x0-0010热场热场IpA到200nA1pA200n170500007050-5to+7000-5to+60o00-5to+60
