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1、关于印发多晶硅生产企业安全技术指导书的通 知豫安监管201135号各省辖市安全生产监督管理局、各相关企业：现将多晶硅生产企业安全技术指导书印发给你们， 请遵照执行。附件：多晶硅生产企业安全技术指导书河南省安全生产监督管理局二0一年四月二十五日 附件：多晶硅生产企业安全技术指导书1、范围本指导书规定了多晶硅生产过程产生的各类危害因素应 采取的基本安全技术要求和措施，包括总图平面布局与通道、 防火防爆、防雷防静电、电气安全、生产装置安全、防尘防毒、 防噪声、防护用品、多晶硅作业安全和安全管理等方面内容。 适用于河南省境内用氯硅烷法生产多晶硅的生产企业。2、基本安全要求2.1基本规定2.1.1新建、
2、扩建、改建多晶硅生产企业（装置）应符合 本指导书的规定。暂不符合本指导书规定的现有多晶硅生产企 业，应采取综合预防、治理措施，达到本指导书要求。2.1.2新建、扩建、改建多晶硅生产企业的安全、卫生状 况，安全、卫生技术措施与管理措施应符合GB 12801-2008 生产过程安全卫生要求总则的规定；其安全设施设计专篇 应符合危险化学品建设项目安全设施设计专篇编制导则(试 行)；爆炸危险场所应当符合爆炸危险场所安全规定劳部 发199556号。多晶硅生产企业的新建、改建、扩建工程， 必须进行安全、环保和职业卫生评价，其安全、卫生、消防、 环保设施，应与主体工程同时设计、同时施工、同时投入生产 和使用
3、。用于生产、储存危险化学品的多晶硅生产企业应进 行安全条件论证和委托有资质的机构进行安全评价；其建设项 目应委托具有化工设计乙级以上资质的设计单位设计;应委托 具有化工建设(安装)资格的单位负责施工。2.2总图功能分区与通道2.2.1多晶硅生产企业总图布置应符合建筑设计防火规 范(GB50016-2006)和石油化工企业设计防火规范(GB50160-2008)、化工企业总图运输设计规范 (GB50489-2009)的有关规定。2.2.2建筑物的耐火等级和防火间距符合建筑设计防火 规范(GB50016-2006)和石油化工企业设计防火规范 (GB50160-2008)的有关规定。2.2.3厂区消
4、防系统设计应符合建筑设计防火规范(GB50016-2006 )的有关规定。2.3.防火防爆分区与间距2.3.1同一防火分区内有不同性质生产时，其火灾分类， 应按火灾危险性较大的部分确定。多晶硅生产企业火灾危险性 分类和举例见附录A。2.3.2氯化氢与三氯氢硅合成装置、多晶硅还原装置、还 原尾气回收分离装置、四氯化硅氢化装置、电解水制氢装置、 氢气罐区、氯硅烷罐区等有爆炸危险厂房的泄爆面积应符合 GB50016-2006建筑设计防火规范(GB50016-2006)第 3.6节要求。2.3.3易燃易爆厂房内不应设置办公室、休息室。如必须 贴邻本厂房设置时，应采用一、二级耐火等级建筑，并应采用 耐火
5、极限不低于3h的非燃烧体防护墙隔开或设置直通室外或 疏散楼梯的安全出口。2.3.4若专用控制室、中控化验室必须与设有氯化氢与三 氯氢硅合成反应、四氯化硅氢化反应、多晶硅还原反应、电解 水反应等生产设备的房间布置在同一建筑物内时，应用非燃烧 体防火墙隔开和设置独立的安全出口潮向爆炸危险区域的应 采用防爆墙。防火墙的耐火等级应为一级。2.4贮存场所2.4.1构成重大危险源的氢气罐区和氯硅烷储罐区应严格 按照重大危险源的有关规定执行。2.4.2所有氯硅烷罐区都应按照该罐区单个最大容积储罐 配备备用储罐。2.4.3所有甲、乙类液体的轻便容器（如桶、瓶）存放在 室外时，应设置防晒棚或水喷淋（雾）设施。氯
6、硅烷贮罐区应 设防日晒设施或其他降温设施，甲、乙类液体贮罐阀门冬季应 有防冻措施。储存氯硅烷液体，应选用压力储罐。2.4.4厂区消防设施应按照建筑设计防火规范 （GB50016-2006）、建筑灭火器配备设计规范 （GB50140-2005）的相关要求配置。2.5消防、防雷、防静电2.5.1扑救四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅、一氯三氢 硅、硅烷、等甲、乙、丙类液体应选用干粉灭火器。生产作业 场所应按GB50140-2005建筑灭火器配置设计规范的规 定根据火源及着火物质性质，配备适当种类、足够数量的消防 器材，并定期检查，保持有交攵状态。2.5.2生产作业场所的各类建、构筑物、露天装置、贮罐
7、应设置防雷设施。防雷措施及防雷装置应符合GB 50057-1994 （ 2002年版）建筑物防雷设计规范的要求。 防雷设施应由有资质的单位进行设计、安装和监测。2.5.3生产作业场所内可能产生静电危害的物体应采取工 业防静电接地措施，应符合GB 12158-2006防止静电事故 通用导则的要求。使用、贮存、输送、装卸、运输易燃易 爆物品（各类溶剂、氯硅烷、导热油、产生可燃性粉料等）的 生产装置（反应器、提纯塔、换热容器、贮罐、输送泵、装卸 设施和过滤器、易燃液体、气体管道阀门等）、装卸场所以及 产生静电积累易燃易爆的生产设施岗位都应有防静电接地措 施。各专设的防静电接地电阻值不应大于100Q。
8、2.5.4在输送和灌装过程时，应防止液体的飞散和飞溅， 以减少静电产生。从底部或上部入灌的注入管末端应设计成不 易使液体飞散的倒T形状或另加导流板；或在上部灌装时，使 液体沿侧壁缓慢下流。2.5.5易燃易爆液体应从槽车等大型容器底部注入，若不 得已在上部灌装时，应将注入管伸入容器内离其底部不大于 200mm处，在注入管未浸入液面前，其流速应限制在1m/s 以内。2.5.6装运危险化学品的汽车槽车装卸作业时应配带阻火 帽、静电接地链等设施，在装卸区应安装静电接地报警器，装 卸作业按照先接地再作业的原则进行。装卸工作完毕后，应静 置2min以上时间，才能拆除接地线。2.5.7氢气储罐区、氢气压缩机
9、房等重点防火防爆作业区 的入口处应设置人体静电消除装置（接地裸露金属体如栏杆、 金属支架等）。2.6电气安全2.6.1电解水制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成 装置、氯硅烷分离提纯装置、多晶硅还原装置、还原尾气干法 回收装置、四氯化硅氢化装置、氢气和氯硅烷罐区等爆炸性气 体环境电气装置应符合GB 50058-1992爆炸和火灾危险环 境电力装置设计规范第2章的要求，硅粉仓库等爆炸性粉尘 环境电气装置应符合GB 50058-1992爆炸和火灾危险环境 电力装置设计规范第3章的要求。2.6.2电解水制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成 装置、氯硅烷分离提纯装置、多晶硅还原装置、还原尾气干法
10、回收装置、四氯化硅氢化等生产装置中的DCS过程控制系统 应有ups备用电源，多晶硅还原炉冷却系统循环动力泵应有 其它备用电源或冷却水备用水箱。四氯化硅氢化、活性炭吸附 和多晶硅还原或其他工艺采用直接电加热方式，应采取电气防 爆措施，并符合GB 50058-1992爆炸和火灾危险环境电力 装置设计规范要求。2.6.3电解水制氢装置、氯化氢合成装置、三氯氢硅合成 装置、氯硅烷分离提纯装置、多晶硅还原装置、还原尾气干法 回收装置、四氯化硅氢化装置生产装置、氢气和氯硅烷罐区等 易燃易爆环境的电气设备和线路的安装和敷设应符合 GB50058-1992爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范、 GB50257-
11、1996爆炸和火灾危险环境电力装置竣工及验收规 范。2.6.4各种场所的电气设施防爆等级见附录。2.7生产装置安全2.7.1生产设备应具备基本安全功能符合GB5083-1999 生产设备安全卫生设计总则的通用安全要求。锅炉、压力容器、及其压力管道、电梯、电动葫芦、供垂 直运输物品的升降机、叉车等特种设备应当符合特种设备安 全监察条例要求。2.7.2建构筑物防腐应满足GB50046-95工业建筑防腐 蚀设计规范的要求。2.7.3生产工艺过程中接触氯硅烷介质的生产装置不宜采 用304不锈钢材料。2.7.4工业金属管道的材料、组成件的选用、布置应符合 GB 50316-2000工业金属管道设计规范的
12、要求。2.7.5工业管道的识别色、识别符号、安全标识应符合GB 7231-2003工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识 要求。2.8相关安全装置2.8.1凡工艺上有放空的设备均应设放空装置，并定期检 查其有效性。用于易燃、易爆气体放空的安全阀及放空管，应 至少将其导出管高出建筑物屋脊1.0m以上，不应将导出管置 于下水道等限制性空间，以免引起爆炸。放空管应选用金属材 料，不应使用塑料管或橡皮管。其中释放压力大于等于 0.1MPa的放空管线应采用不锈钢材料。放空管上应设有阻火器，应静电接地。管口上应有挡雨、阻雪的伞盖。2.8.2易燃易爆液体严禁使用玻璃管液位计。2.8.3四氯化硅氢化反应器和
13、导热油电加热器温度控制装 置应有冗余设计，宜使用两套控制仪器，并定期校验。氢化反 应器及系统中的安全附件、安全保护装置、测量调控装置及有 关附属仪器应完整、齐全、有效。2.9安全标志2.9.1多晶硅企业生产作业场所应按GB 2894-1996 （安 全标志）的规定设置安全标志，或在建（构）筑物及设备上 按GB 2893-2001安全色规定涂安全色。2.9.2生产作业场所的紧急通道和出入口，应设置明显醒 目的标志。生产作业区入口及其他禁止明火和产生火花的场所 应有禁止烟火的安全标志。2.10职业危害控制2.10.1生产过程应严格控制粉尘、毒物的产生。存在严重 职业危害的作业岗位应按GBZ 158
14、-2003工作场所职业病危 害警示标识的规定设置醒目的警示标识和中文警示标志。2.10.2根据生产工艺和粉尘、毒物特性，采取防尘、防毒 通风措施控制其扩散，使作业场所有害物质及粉尘的浓度符合 GBZ 2-2002（工作场所有害因素职业接触限值）规定。多晶 硅生产场所空气中主要有毒物质及粉尘容许浓度见附件B。2.10.3产生粉尘、可燃性气体烟雾的作业场所，应设排毒 或除尘净化的通风设施。通风设施应有防爆措施，风机与电机 应要求防爆隔爆等级。通风空气不应循环使用。2.10.4对于毒性危害严重的生产过程和设备，应设计可靠 的事故处理装置及应急防护措施。在有毒性危害的作业环境 中，应设置必要的洗眼器、
15、淋洗器等卫生防护设施，其服务半 径应小于15m。并根据作业特点和防护要求，确定配置事故 柜、急救箱或个人防护用品。2.10.5应从声源上控制生产过程和设备噪声，以低噪声的 工艺和设备代替高噪声的工艺和设备。2.10.6生产过程和设备的噪声应采取隔声、消声、隔振及 管理等综合措施，使操作人员每天连续8h接触的噪声不大于 85dB（A 作业场所噪声声级的卫生限值，应符合国家标准 GBZ 1-2002 （工业企业设计卫生标准）要求。2.10.7当室内作业地点气温等于或大于37C时应采取 局部降温和防暑措施，并应减少接触时间。在炎热季节对高温 作业的工人应供应含盐清凉饮料（含盐量为0.1%0.2% ）。2.10.8当室内作业地点温度近十年最冷月平均温度等于 或小于8C的月份连续三个月以上的，应设置采暖设施，设置 采暖设施应符合GB50016-200（建筑设计防火规范）第10.2 节的要求。甲、乙类厂房和甲、乙类仓库内不应采用明火和电 热散热器采暖。2.11防护用品管理2.11.1对作业人员应采取个人防护措施，配备专用的劳动 防护用品。不同岗位作业人员配用劳动防护用品及劳动防护用 品质量性能应符合GB/T 11651-2008个体防护装备选用规 范的要求。易燃易爆场所作业人员应配用阻燃、防静电、防 酸碱的工作服、防毒口罩、工作手套等。2.11.2生产作业场所应配备呼吸防护器以及
