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1、氯硅烷简介1别名英文名二氯硅烷；Dichlorosilane.2用途：电子气、外延、化学气相淀积。3制法：(1) 硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。(2) 在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。理化性质分子量：101.010 熔点：-122.0 C沸点(101.325kPa)： 8.2C液体密度(25 C, 101.325kPa)： 1220kg/m气体密度(25C, 101.325kPa)： 4.168kg/m相对密度(气体，空气=1, 25C, 101.325kPa)： 3.52比容(21.1C, 101.325kPa)：0.2391m/kg气液容积比(15C, 100kPa
2、) 290L/L临界温度： 176.0C 临界压力： 4676kPa 临界密度： 463kg/m3气化热(8.4C, 101.325kPa)： 249.kJ/kg比热容(25C,气体)：Cp=611.27J/(kg K) 蒸气压(-20C)： 31.4kPa (0C)： 81.1kPa (20C)： 167.2kPa粘度(气体，20C, 101.325kPa)： 0.0163mPa s表面张力(20 C): 11.9mN/m空气中可燃范围(20 C, 101.325kPa)： 4.1%98.8%(体积) 自燃点： 100.0C二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气
3、 中易燃，100C以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100C以 上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。 在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、 醚和四氯化碳。与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会 发生激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。 编辑本段三、毒性 有毒气体范围： 0.25ppm 嗅觉浓度： 1ppm 刺 激性浓度： 10ppm最高容许浓度： 0.5ppm(2mg/m) 二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中 的水解产物氯化氢引起的。因此，人吸入后激
4、烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道 发炎、喉痉挛和肺水肿，触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起化 学烧伤。液态二氯硅烷也可引起冷烧伤。 编辑本段四、安全防护 可把二氯 硅烷看作火源，禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。气体用 钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内，要远离氧化剂、 火源和热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息 性气味来检漏。所有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时， 应把二氯硅烷放出来，充入干燥的惰性气体。有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金 钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕
5、伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。不能用铝、铝合 金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、 玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。 当发生火灾时，首先要关闭气瓶阀，断绝气源。灭火时，如果用水，则产生大量 氯化氢，如果用碱性粉末，则产生氢气，因此这两者都不可用。可以用二氧化碳 和砂子。 废气可用水或苛性钾等碱液吸收，可以用相应的吸附剂吸附，也 可以在严格控制下燃烧。三氯氢硅(SiHCl3)基本信息1别名英文名硅氯仿、硅仿、三氯硅烷； Trichlorosilane、Silicochloroform.三氯氢硅2. 用途 多晶硅、单晶硅原料、外
6、延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物 制造电子气。3. 制法在高温下Si和HCl反应。(2) 用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。(3) 用氢、硅粉、四氯化硅反应。理化性质分子量：135.43熔点(101.325kPa)： -134C；沸点(101.325kPa)： 31.8C；液体密度(0 C )： 1350kg/m3 ；相对密度(气体，空气=1):4.7 ；蒸气压(-16.4 C )：13.3kPa； (14.5C)： 53.3kPa；燃点：-27.8C；自燃点：104.4C；闪点：-14C； 爆炸极限：6.970%；毒性级别：3；易燃性级别：4；化学性质 三氯硅烷在常温常
7、压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。在 空气中极易燃烧，在-18 C以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发 出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HC1和C12:SiHC13+O2-SiO2+HCl+C12；三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的 爆炸。它的热稳定性比二氯硅烷好，在900C时分解产生氯化物有毒烟雾(HC1), 还生成Cl2和Si。遇潮气时发烟，与水激烈反应:2SiHC13+3H2 - (HSiO)2O+6HCl； 在碱液中分解放出氢气:SiHC13+3NaOH+H2Si (OH)4+3NaCl+H2；与氧化性物质接触时产生爆炸性反
8、应。与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷:SiHC13+CH三 CH 一CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2CH3CH2SiCl3 在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下， SiHCl3 可被还原为硅烷。容器中的液 态 SiHCl3 当容器受到强烈撞击时会着火。可溶解于苯、醚等。无水状态下三氯 硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。在高温条件下，三氯氢硅能被氢气还原生成硅SiHCl3 +H2=高温=Si +3HCl 编辑本段毒性及急救措施小鼠-吸入 LC50： 1.52mg/L最高容许浓度：3mg/m3 皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，用流动清水彻底冲洗至少15分
9、 钟，就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水或生理盐水彻底冲洗至少 15 分钟，就医。 吸 入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道畅通，如呼 吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医。 食 入：误服者 用清水漱口，给饮牛奶或蛋清，就医。安全防护液体用玻璃瓶或金属桶盛装，容器要存放在室外阴凉干燥通风良好之处或在易 燃液体专用库内，要与氧化剂、碱类、酸类隔开，远离火种、热源，避光，库温 不宜超过25C。可用氨水探漏。 火灾时可用二氧化碳、干石粉、干砂，禁 止用水及泡沫。废气可用水或碱液吸收。 三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。可 用铁、镍、铜镍合金、镍钢、低合金钢，不能用铝、铝合金。可以
10、用聚四氟乙烯、 聚三氟氯乙烯聚合体、氟橡胶、聚氯乙烯、聚乙烯、玻璃等。三氯氢硅生产的火灾危险及对策一、三氯氢硅生产的火灾危险性分析1、电解食盐水的火灾危险性 （1）电解时有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花，电解车 间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。（2）如氢气与氯气相混，达到爆炸极限范围，遇光也会发生爆炸。2、三氯氢硅合成的火灾危险性SiHC13的合成是在280C300C的温度下进行的，已经超过了 SiHC13的自 燃温度175C，在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏，或者空气进入反应器，极 易引起燃烧、爆炸或中毒事故。并且SiHCl3有毒、遇水燃烧，给火
11、灾扑救带来 一定的困难。3、三氯氢硅贮罐的火灾危险性SiHCl3的贮罐如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因 为其贮量大，一旦发生泄漏，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。贮罐区因为冷 却用水的需要，经常有水存在，泄漏的 SiHCl3 遇水发生反应，产生有毒的 HCl， 向四周扩散，给抢险救援工作带来困难.二、防火防爆对策 在三氯氢硅生产的各个工序中，为防止火灾、中毒，要严格执行各项消防安 全制度，严格控制工艺指标，严格操作规程。加强对设备管道的维护保养，严防 跑、冒、滴、漏。具体预防措施如下：1、火源管理。在生产中进行检修时使用的工具应该是不产生火花的工具，严 禁用铁器敲打设备或
12、管道，工作人员应穿棉制品工作服。生产和贮罐区禁止明火， 生产中动火要严格执行有关安全管理制度。2、防止跑、冒、滴、漏。生产过程中产生的大都是易燃易爆有毒物质，生产 设备、工艺管道和贮罐如果发生泄漏极易酿成火灾、爆炸和中毒事故。因此，日 常工作中要做好安全检查，不留死角，设备要定期检修，发现问题及时采取补救 措施，修复存在跑、冒、滴、漏的部位。3、配置应急工具和消防设施。应该配备一定数量的防毒面具、自给式空气呼 吸器、手套、堵漏工具。应急队的人员要经常进行演练，熟练掌握各种情况下的 堵漏方法和处置措施。贮罐区常备干砂的量最好不少于一个贮罐的容积，厂内仓 库存放一定的水泥作应急之用。配备一定数量的
13、手提式二氧化碳和干粉灭火器。4、生产工艺中的防火防泄漏措施。(1) 三氯氢硅的合成、除尘和精馏工段。HC1气体缓冲罐与合成炉之间应设止 回阀，防止合成炉的SiHC13回到缓冲罐。应控制HCl气体的流量，控制合成炉 内的温度。对设备管道要经常进行维护保养，防止三氯氢硅泄漏。在生产中要保 持整个系统的密闭，用 9999的氮气进行保护。(2) 三氯氢硅的储存。三氯氢硅的沸点较低，需在低温下储存，三氯氢硅的贮 罐设置低温保护装置和降温措施。由于三氯氢硅有潜在的燃烧爆炸危险，所以它 的贮罐应与生产装置要有一定的防火间距，并且要设防火堤，降温水的排放管道 经过防火堤处要设闸阀。贮罐应设静电接地装置和避雷装
14、置。贮罐内的气相要与 氮气系统相连进行保护，贮罐的气相与外部连通的平衡管(放空管)应与尾气回 收系统相连，不能直接排空，并应设止回阀和阻火器。贮罐区应设一个备用罐， 紧急情况下应将泄漏的贮罐内的物料转移至备用罐，防止大量泄漏。三、泄漏处理和火灾扑救生产和储存中如果发生三氯氢硅泄漏，应根据泄漏量的大小划出一定的警戒范 围，禁止无关人员和车辆进入警戒区，切断警戒区内的所有火源，迅速撤离泄漏 污染区内的人员至安全地带。如果是贮罐发生泄漏，又不能及时排除泄漏，就应 该将发生泄漏的贮罐内的三氯氢硅用氮气压入备用罐内。如果是生产中的设备和 管道发生泄漏，应立即停止生产，并迅速关闭有关阀门切断物料输送。泄漏
15、地带 有水源时，应用干砂土围成隔离带，将泄漏的三氯氢硅与水隔离开来。抢险人员 进入危险区域时应佩戴自给式呼吸器或防毒面具。应先查明泄漏部位的泄漏状 况。由于贮存三氯氢硅的容器为常压容器，应针对不同的泄漏部位采取不同的堵 漏措施，切断泄漏源，用砂土、水泥吸收残留液SiCl4物理特性SiCl4 在室温下为无色液体，易挥发，有强烈的刺激性，因在潮湿空气中水解而产生白色酸雾，常用作烟雾剂。熔点：203.2K 沸点：330.8K 分子量:169.89 熔点(101.325kPa)： -70 C沸点(101.325kPa)： 57.6 C液体密度(0 C )： 1524kg/m(20 C): 1480kg/m气体密度(0 C): 7.58kg/m相对密 度(气体 ，空气 =1) ： 5.90临界温度 ： 233.6C临界压力：3728.76kPa 临界密度：530kg/m气化热：514.9kJ/kg比热容(20C,液体):79505J/kg C 蒸气压(-4.0C ): 8.0kPa(5.4 C ):13.3kpa(20C)： 2503kPa折射率(20C )： 10412编辑本段SiC14化学特性单键键能： 381 kJ/mol 制备： SiCl4 可由 Si 直接加热氯化或将 SiO2 与焦炭、氯一 起加热来制备： Si+2Cl2 = SiCl4 SiO2+2C+2Cl2 =
