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1、精密陶瓷主要为高熔点的氧化物、碳化物、氮化物等烧结材料。其原材料是 经过一系列人工合成或提炼处理过的化工原料。采用超精微细粉体（亚微米及纳 米微粉）经超高温高压烧结后制成。具备优异的耐高温、耐磨、耐腐蚀、绝缘等 特性，在许多重要领域得到了越来越广泛的应用。三氧化二铝陶瓷氧化铝为主要成分，有较好的绝缘性和耐磨性能，价格便宜。作为精密陶瓷 材料的代表，使用较为广泛。高纯度的氧化铝（纯度99%上）适用于制作半导体 制造设备部品。主要用途半导体制造装置腔体内部品;搬送部品;液晶制造装置用品;真空装置用品;一 般产业机械用部品等；氧化锆陶瓷氧化锆为主要成分，有其他材料无法达到的强度和破坏韧性。适用于高腐
2、蚀， 高强度的环境。主要用途半导体搬送用轨道；轴承部品；工业用到刀具等；氮化铝陶瓷具有很好的热传导性、绝缘性、防热、耐热冲击性。可被用作防热耐热材料。主要用途半导体制造装置用部品；防热性基材等。碳化硅陶瓷碳化硅是硬度仅次于金刚石的材料比其他陶瓷材料有更好的耐热性、耐磨损 性，在特别高温度的情况下（1700C ）其强度不会降低，属于高温构造材料。在 许多重要领域具有广泛应用。主要用途半导体制造装置用品；燃烧器喷嘴等；氮化硅陶瓷与氧化铝相比，其高温强度，耐热冲击性更佳，作为耐热符合构造材料广泛 应用。主要用途半导体制造装置用部品；燃烧喷嘴；熔接治具等一、概述采用热喷涂技术不仅能提高机器设备的耐磨损
3、性、耐腐蚀性、耐侵蚀性、热稳定性和化学稳定性，而且能 赋予普通材料特殊的功能，诸如高温超导涂层、生物涂层、金刚石涂层、固体氧燃料电池（SOFCs）电极催 化涂层等，因此，热喷涂技术必然会愈来愈引起人们的重视，并在各个工业领域获得越来越广泛的应用。 但是，实际零部件因其材质、形状、大小及其应用环境、服役条件等存在很大差别，要想成功采用热喷涂 涂层来解决所面临的技术问题，必须遵循特定的过程，其中，最重要的有以下五个关键过程。1准确分析问题所在，明确涂层性能要求；2合理进行涂层设计，包括正确选择喷涂材料、设备、工艺及遵循严格的涂层质量性能评价体系等；3优化涂层制备工艺；4严格控制涂层质量；5涂层技术
4、的经济可行性分析。涂层设计起着承上启下的作用，是采用热喷涂技术成功解决实际问题的基础，是所有环节中最重要的环节 之一，在进行涂层设计时要考虑涂层所涉及到的各个环节，具有明显的系统特性。因此，为了获得满足使 用性能要求的涂层，在进行喷涂前，必须进行周密、合理的涂层设计。热喷涂涂层设计的主要内容包括：第一，根据零部件表面所处的工况条件或对已经发生表面失效的零部件 的分析结果，确定零件表面涂层或表面涂层体系的技术要求，包括结合强度、硬度、厚度、孔隙多少及大 小、耐磨性、耐蚀性、耐热性或其它性能等；第二，运用所掌握的热喷涂技术基础知识（包括喷涂材料、 喷涂工艺、涂层性能等），进行经济技术可行性分析，以
5、满足性能要求为基础，考虑涂层经济性，进而选 择恰当的喷涂材料、设备及工艺方法；第三，编制合理的涂层制备工艺规范；最后，提出严格的涂层质量 检测与控制标准、零件包装运输条件等。现在，更为严格的要求甚至包括对喷涂原材料生产厂商提出全面 质量管理要求。所有上述内容构成一个完整的热喷涂涂层设计的全过程。需要特别指出的是，热喷涂涂层的性能虽然主要取决于喷涂材料的性能，但还明显受到所选定的喷涂设备 和喷涂工艺的影响。同一种喷涂材料，当采用不同的喷涂设备、不同的喷涂工艺参数进行喷涂时，所得涂 层的性能会存在很大差别。此外，涉及制备涂层的其它各个环节都会决定最终的涂层性能，如表面预处理、 冷却措施、涂层加工等
6、，因此，只有对制备涂层的各个过程进行全面的质量控制，才可能获得性能满足要 求的、质量稳定的涂层。二、零件工况分析零件工况分析是热喷涂涂层设计的基础，要获得经济、高效、高质量的涂层，首先必须对零部件的性能要 求及工况条件进行准确分析，为选择涂层种类和材料提供依据。根据失效分析理论，失效模式分析是失效分析的核心内容，是导致零部件失效的物理和（或）化学变化过 程，在该过程中，零部件的尺寸、形状、状态或性能发生了变化，并由此引起整个机械产品的失效，例如, 磨损失效、疲劳失效、腐蚀失效等。而决定零部件失效模式的主要因素包括零部件材料的性质和状态等内 在因素和零部件工况条件等外在因素，其中，引起零部件失效
7、的外在因素，即应力、环境和时间，是失效 的诱发因素，通过零部件工况条件的深入分析可以了解清楚这些因素。1. 应力因素力是零部件工作的条件。应力的种类、大小与状态的不同组合是引起不同失效模式的重要的或决定性因素。 应力种类包括持久、交变、冲击、接触、磨擦、冲刷等；应力状态包括单纯的拉伸、压缩、剪切、扭转、 弯曲等应力和复合作用的拉弯、压弯、弯扭、拉扭、拉剪、弯剪、扭剪等应力。应力因素可以单独、也可 以与其它因素耦合在一起来诱发零部件的失效。2环境因素环境因素主要包括温度和介质两大因素。工作温度一般可分为低温、常温、中温、高温和超高温五类；工 作介质包括气相(真空、特殊气体、乡村大气、城市大气、工
8、业大气等)、液相(淡水、海水、油、酸、 碱、液态金属等)、固相(接触、摩擦、冲刷等)等。环境因素与应力因素一样，既可以单独、也可以与 其它因素耦合在一起来诱发零部件的失效。3.时间因素时间不能作为独立因素来诱发失效产生，没有应力和环境因素的存在，时间因素就失去了意义。但是，当 时间因素与应立因素和环境因素耦合在一起时，它就变成一个非常重要的因素。上述各种不同外界因素对零部件的失效起着各不相同的影响，从而产生不同的失效模式，各种主要失效模 式与最主要、最典型的诱发因素之间的关系可参见相关资料。在进行热喷涂涂层设计时，要特别注重对零 部件表面失效产生影响的因素进行重点分析，这些因素可能单独作用于零
9、部件，也可能耦合作用于零部件, 而在耦合作用下，对零部件的破坏作用要严重得多。例如，醋酸泵柱塞表面涂层，该涂层使用工况要求既 耐磨损又耐腐蚀，如果不考虑醋酸腐蚀仅考虑提高耐磨性能，采用超音速火焰喷涂WC/Co、Cr3C2-NiCr类 涂层均能满足要求，但该类涂层在醋酸条件下的耐腐蚀性能均被列为“不好”和“不推荐”涂层，因此， 综合考虑，不能选用该喷涂材料及工艺来制备醋酸泵柱塞表面涂层。除了上述外在因素，零部件材料的性质和状态等内在因素也对零部件的失效有重要影响，因此，在具体分 析时，要把零部件工况条件与零部件性能要求以及不同基体材料与不同工艺、不同喷涂材料与不同喷涂工 艺所制造的零部件性能结合
10、起来，才有可能设计出高质量的、合理的涂层。三、粘结底层材料选择当需要在金属基体上喷涂陶瓷涂层工作层时，由于陶瓷涂层材料在化学键、晶体结构和热物理性能等方面 与金属材料存在相当大的差别，有必要先在金属基体上喷涂一层合金粘结底层，提高表面陶瓷涂层与基体 金属之间结合强度的同时，还可以缓解两者之间热物理性能的差别。在基体尺寸形状或结构难于进行喷砂 或粗化处理时，也推荐采用粘结底层。此外，对于工作层虽然为金属，但其热物理性能与基体金属相差较 大，或两者的润湿性很差时，也推荐采用粘结底层。1. 常用粘结底层材料的性能要求一般来讲，作为粘结底层喷涂材料应具有以下四方面的性能特点：(1) 与基体表面结合强度
11、高，甚至能产生微区冶金结合。特别是具有“自粘结”效应的Ni-Al型复合粉末, 在热喷涂过程中，Ni与Al能发生化学反应，生成金属间化合物，并释放出大量热量，甚至这一反应过程 能够持续到粉末碰撞到基体表面时仍在进行，该效应十分有利于变形粒子与基体表面形成微区冶金结合， 从而提高粘结合底层与基体之间的结合强度。(2) 具有抗氧化耐腐蚀能力。特别是作为陶瓷涂层的粘结底层，当在高温下工作时，环境中的氧气和腐蚀 介质能够通过陶瓷涂层的孔隙侵入到粘结底层，这就要求粘结底层在高温下能形成致密的氧化物保护膜， 以保护基体金属不被氧化和环境介质的腐蚀。(3) 涂层表面具有合适的粗糙度，它不仅能为喷涂工作层提供良
12、好的粗化表面，有利于提高工作层与粘结 底层之间的结合强度，而且对工作层表面的粗糙度也有直接影响。(4) 具有合适的热物理性能，特别是热膨胀系数、热导率等，最好介于基体材料和工作层之间，以减小两 者之间的热膨胀不匹配性，降低涂层内的热应力和体积应力，有利于提高涂层的使用寿命。鉴于粘结底层的重要性，在进行涂层设计时，应综合考虑基材热物理特性和具体工况条件谨慎选择。2. 粘结底层材料选择方法在进行涂层设计时，针对粘结底层的选择，主要考虑以下两方面因素的影响。（1）粘结底层与基体材料的相容性。当基材为普通碳钢、合金钢、不锈钢、镍铬合金、铝、镁、钛、铌等 材料时，可选用具有“自粘结”效应的喷涂粉末作为粘
13、结底层材料，涂层十分致密，孔隙率低，能显著提 高表面工作层与基体之间的结合强度。但要注意，该类粘结底层在酸性、碱性和中性盐的电解液中不耐腐 蚀，不易在该类液态化学腐蚀条件下用作粘结底层。当基材为铜及铜合金时，应优先选用铝青铜作粘结底层，由于Cu和Al之间在热喷涂过程中也会发生放热 反应，生成金属间化合物，因此，铝青铜在铜及铜合金表面具有一定的自粘结性，有利于提高涂层与基体 之间的结合强度，且该涂层具有良好的抗热冲击性和抗氧化性。当基材为塑料及聚合物类基体时，为避免基材表面被高温粒子烧焦而出现“焦化”，从而影响工作层与塑 料基体之间的结合，常常选择低熔点金属（如Zn、Al等）或塑料加不锈钢复合粉
14、末作为粘结底层材料。塑 料加不锈钢复合粉末是由塑料粉末和不锈钢粉末复合而成的粉末，主要用作塑料类基体上喷涂高熔点金属、 陶瓷或金属陶瓷涂层时的粘结底层材料。其中的塑料组分质软，且流平性好，使涂层与基体塑料有良好的 粘结强度，并使塑料基体的受热减至最小；而不锈钢组分则具有良好的耐化学腐蚀性能，可形成镶嵌在塑 料涂层中的硬质颗粒，有利于形成粗糙表面，为喷涂工作层提供比较理想的“锚固”结构，此外，不锈钢 组分还有利于把喷涂焰流的热量散开，从而避免塑料基体产生局部过热或焦化，对提高粘结底层与基体的 结合强度有利。当基材为石墨基体时，为防止石墨和钨在高温下发生反应生成碳化钨，引起石墨脆化，可喷涂钽作为粘
15、结 底层。此外，钽涂层与钢基体之间也能形成自粘结结合。值得注意的是，在热喷涂技术中，钼（Mo）也被作为一种具有自粘结效应的粘结底层来广泛使用。这是因 为Mo在400C下，会迅速发生氧化，生成具有挥发性的Mo03，产生急剧升华，裸露出的钼的熔滴对大多数 金属及其合金的干净平滑表面有极好的润湿铺展性能，从而形成自粘结效应。除金属外，它还能够粘结在 陶瓷、玻璃等非金属表面，但在铜及铜合金、镀铬表面、氮化表面和硅铁表面等除外。此外，具有优异的抗高温氧化性能和耐蚀性能的确NiCr合金，虽然不具有自粘结效应，但也是广泛使用的 一种粘结底层材料。（2）粘结底层与工况条件。作为整个涂层的一部分，粘结底层的选用
16、也必须满足工况使用要求。由于应用 涉及的工况环境很多，也很复杂，下面仅从工作温度和腐蚀环境两个方面进行阐述。1）工作温度。每一种粘结底层材料都有其适宜的工作温度范围，热喷涂技术中常用粘结底层材料的特性及 最高使用温度如表所示。粘结底层特性及最高使用温度粘结底层材料涂层特性应用范围最高使用温度/CNi-Al(80/20)自粘结，涂层致密，耐热抗氧 化，不耐电解质溶液腐蚀耐热抗氧化涂层,在含电解质的 溶液中，不适宜用作粘结底层800Ni-Al(95/5)自粘结，涂层致密，耐热抗氧 化，使用温度更高，不耐电解 质溶液腐蚀1010NiCr-Al(94/6)自粘结，涂层致密，耐咼温氧 化和燃气腐蚀，不耐电解质溶 液腐蚀980Ni-Cr(80/20)抗高温氧化，耐多种化学介
