《硅芯制备操作规程》由会员分享，可在线阅读，更多相关《硅芯制备操作规程（4页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、硅芯拉制操作规程一 岗位任务 利用区熔法在硅芯炉内将多晶硅棒拉制成一定长度和直径的硅 芯，用于多晶硅还原时的载体。二 岗位职责拉制硅芯、巡检辅助设备三 工艺流程原理 利用区熔法，借助高频炉将多晶硅加热熔化，在惰性气体气氛保 护下拉制出一定直径和长度的硅芯。四 工艺指标（1）高频炉采用高频感应加热，最大输出功率60KW，高频振荡频率 2-2.5MHZ。（ 2 ）硅芯炉：上轴有效行程：02800mm ；上轴快慢速升降速度：W800mm/min、W40mm/min;下轴有效行程：0530mm ；下轴快慢速升降速度：W300mm/min、W 10mm/min;下轴旋转速度： 10r/min;（ 3）炉
2、产量：单次： 5根；每炉次： 15根（ 4）工艺检测点：硅棒直径、硅芯直径、硅芯弯曲度.、重量； 控制柜仪表、高频柜感应加热设备仪表、水压表。五 开停车、紧急停车步骤及操作方法1、开炉前准备工作：检查一切开关是否处于切断状态；检查冷 却水管、水压、阀门是否正常；备好开炉用料、籽晶、装炉工具并带 好口罩和一次性 PE 手套。2、装炉：用洁净的白无尘布擦洗炉室；将籽晶装正夹紧后分别 装入上轴机械手和转盘上；将多晶硅棒垂直装在料座上，去掉包装拧 紧螺钉使料棒与线圈对中；降下轴使硅棒顶离线圈到安全距离；调节 上轴使石墨夹头离线圈 10mm 左右；放好挡渣盘，紧炉门；将原料批 号和开炉序号准确记录在操作
3、记录本上。3、开炉操作： 抽真空：打开真空阀，抽空至3Pa左右，关闭真空阀； 送氩气：打开氩气流量计阀门，控制压气流量为60L/min,待 炉内压力达到一定值打开排气阀，调节氩气流量至20L/min置换炉内 空气； 送电：打开配电柜合上本炉的所有开关； 预热灯丝：开低压预热灯丝35分钟； 加热：打开加热开关接通电源，顺时针缓慢调节电位器： 预热：调整加热功率预热石墨和籽晶，调节上、下轴使籽晶下 部与硅棒接触，并升高功率使籽晶下部熔化一部分预热硅棒； 熔接：硅棒热红后，再增加功率使硅棒顶端熔化与籽晶熔为一体； 拉制：根据生产需要适当控制功率及上下轴供、拉速比例，分别拉制等径部和扩大头部； 换籽晶
4、：每拉完一次硅芯后降低功率并调节上下轴使硅芯脱离 熔区并通过旋转转盘更换籽晶；若需再次拉制从开始循环拉制 。4、停炉： 降温：当拉制完毕或因故停炉时，降低功率、降下轴，使熔区 离开线圈再缓慢把加热功率归零位； 停气：关闭氩气进、出口阀门； 断电：关闭解热电源25分钟后关闭灯丝电源，然后关闭控 制电源及总电源。5、拆炉：待炉内温度降至常温后，打开炉门用专用工具取下硅 芯，贴好生产批号然后放至专用硅芯车内，并做好生产记录。六 常见事故原因分析及处理（1）突然停水：立即停电，待熔区还未凝固快速拉开上、下轴 使熔区脱离线圈。（2）突然停电：待熔区未凝固，手动拉开上下轴离开线圈位置 及时断开电位器开关，电位器旋钮调至零位。七 连锁报警一览表 循环水压力、氩气储罐压力八 设备一览表 硅芯炉、高频炉、真空泵、循环水系统、氩气系统九 工艺流程简图
