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1、泓域咨询/广西DUV光刻胶项目可行性研究报告报告说明光刻胶在经过曝光后，被曝光区域变得可溶于显影剂的为正性光刻胶，反之被曝光区域变得不溶于显影剂的则被称为负性光刻胶。早期的光刻胶材料，如犹太沥青、重铬明胶及其他重铬酸盐胶，都是负性光刻胶。在早期的接触式光刻时代，负性光刻胶因其较高的化学稳定性和较好的成像能力，广泛应用于集成电路板和微电子器件的制造领域。最早的用于电子工业上的光刻胶是由Eastman-Kodak公司于1954年生产出来的聚乙烯醇肉桂酸酯系负性光刻胶，而负性光刻胶中应用最为广泛的则是环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶。环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶由Kodak公司于1958年研发成功，其感
2、光范围为280460nm。该类光刻胶在硅片上具有良好的粘附性，同时具有感光速度快、感光范围宽、抗湿法刻蚀能力强等优点。该类光刻胶以环化橡胶为成膜树脂，以芳香族双叠氮化合物作为交联剂，在紫外光照射下，交联剂发生光化学反应产生自由基使得不同成膜聚合物分子间发生交联，从而变为具有不溶性的聚合物，展现出负性光刻胶的特质。虽然称负性光刻胶的曝光区具有“不溶性”、非曝光区具有“可溶性”，但是实际上通过曝光引起的化学交联作用不足以完全抑制曝光区光刻胶与溶剂之间的相互作用，曝光区光刻胶在显影过程中会发生溶胀现象。由于溶胀现象的产生，导致光刻胶对于衬底的附着力降低，同时也会使得曝光区光刻胶的图案变形。在微米级别
3、的光刻工艺中，溶胀现象所导致的图案变形问题可以通过选择合适的显影液或其他手段来进行控制，对于整体微观图案的尺寸影响程度不大。然而随着光刻工艺分辨率需求的不断提升，特征尺寸在不断缩小，负性光刻胶的溶胀问题的负面影响更加凸显，导致其难以应用于分辨率在2m以下的光刻工艺中。根据谨慎财务估算，项目总投资30559.72万元，其中：建设投资24340.42万元，占项目总投资的79.65%；建设期利息538.44万元，占项目总投资的1.76%；流动资金5680.86万元，占项目总投资的18.59%。项目正常运营每年营业收入62900.00万元，综合总成本费用50017.49万元，净利润9426.27万元，
4、财务内部收益率22.67%，财务净现值11785.20万元，全部投资回收期5.78年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。该项目的建设符合国家产业政策；同时项目的技术含量较高，其建设是必要的；该项目市场前景较好；该项目外部配套条件齐备，可以满足生产要求；财务分析表明，该项目具有一定盈利能力。综上，该项目建设条件具备，经济效益较好，其建设是可行的。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。目录第一章 总论10一、 项目名称及投资人10二、 编制原则10三、 编制依据11四、 编制范围及内
5、容11五、 项目建设背景11六、 结论分析13主要经济指标一览表15第二章 建设单位基本情况17一、 公司基本信息17二、 公司简介17三、 公司竞争优势18四、 公司主要财务数据20公司合并资产负债表主要数据20公司合并利润表主要数据21五、 核心人员介绍21六、 经营宗旨23七、 公司发展规划23第三章 市场预测26一、 大陆晶圆代工厂成熟制程快速扩建，国产光刻胶企业迎来重大机遇26二、 DUV光刻胶化学放大型KrF&ArF光刻胶27第四章 项目背景及必要性29一、 “半导体材料皇冠上的明珠”光刻胶29二、 光致产酸剂（Photo-AcidGenerator，PAG）29三、 市场端乘国内
6、成熟制程产能增长东风，从中低端产品开始发力30四、 持续打造面向东盟更好服务“一带一路”的开放合作高地34五、 促进产业园区升级发展35第五章 建筑工程方案37一、 项目工程设计总体要求37二、 建设方案37三、 建筑工程建设指标39建筑工程投资一览表39第六章 选址方案分析41一、 项目选址原则41二、 建设区基本情况41三、 完善科技创新体制机制44四、 项目选址综合评价45第七章 产品方案分析46一、 建设规模及主要建设内容46二、 产品规划方案及生产纲领46产品规划方案一览表46第八章 法人治理结构49一、 股东权利及义务49二、 董事52三、 高级管理人员58四、 监事60第九章 S
7、WOT分析说明62一、 优势分析（S）62二、 劣势分析（W）64三、 机会分析（O）64四、 威胁分析（T）65第十章 项目规划进度73一、 项目进度安排73项目实施进度计划一览表73二、 项目实施保障措施74第十一章 人力资源配置分析75一、 人力资源配置75劳动定员一览表75二、 员工技能培训75第十二章 工艺技术及设备选型77一、 企业技术研发分析77二、 项目技术工艺分析79三、 质量管理80四、 设备选型方案81主要设备购置一览表82第十三章 环境保护方案83一、 编制依据83二、 环境影响合理性分析84三、 建设期大气环境影响分析85四、 建设期水环境影响分析86五、 建设期固体
8、废弃物环境影响分析86六、 建设期声环境影响分析87七、 建设期生态环境影响分析88八、 清洁生产89九、 环境管理分析90十、 环境影响结论94十一、 环境影响建议94第十四章 原辅材料供应及成品管理96一、 项目建设期原辅材料供应情况96二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理96第十五章 投资方案98一、 投资估算的依据和说明98二、 建设投资估算99建设投资估算表101三、 建设期利息101建设期利息估算表101四、 流动资金103流动资金估算表103五、 总投资104总投资及构成一览表104六、 资金筹措与投资计划105项目投资计划与资金筹措一览表106第十六章 经济收益分析107一、
9、 经济评价财务测算107营业收入、税金及附加和增值税估算表107综合总成本费用估算表108固定资产折旧费估算表109无形资产和其他资产摊销估算表110利润及利润分配表112二、 项目盈利能力分析112项目投资现金流量表114三、 偿债能力分析115借款还本付息计划表116第十七章 项目招投标方案118一、 项目招标依据118二、 项目招标范围118三、 招标要求119四、 招标组织方式121五、 招标信息发布125第十八章 项目风险评估126一、 项目风险分析126二、 项目风险对策128第十九章 项目总结131第二十章 附表133营业收入、税金及附加和增值税估算表133综合总成本费用估算表1
10、33固定资产折旧费估算表134无形资产和其他资产摊销估算表135利润及利润分配表136项目投资现金流量表137借款还本付息计划表138建设投资估算表139建设投资估算表139建设期利息估算表140固定资产投资估算表141流动资金估算表142总投资及构成一览表143项目投资计划与资金筹措一览表144第一章 总论一、 项目名称及投资人（一）项目名称广西DUV光刻胶项目（二）项目投资人xx（集团）有限公司（三）建设地点本期项目选址位于xx（以最终选址方案为准）。二、 编制原则为实现产业高质量发展的目标，报告确定按如下原则编制：1、认真贯彻国家和地方产业发展的总体思路：资源综合利用、节约能源、提高社会
11、效益和经济效益。2、严格执行国家、地方及主管部门制定的环保、职业安全卫生、消防和节能设计规定、规范及标准。3、积极采用新工艺、新技术，在保证产品质量的同时，力求节能降耗。4、坚持可持续发展原则。三、 编制依据1、中国制造2025；2、“十三五”国家战略性新兴产业发展规划；3、工业绿色发展规划(2016-2020年)；4、促进中小企业发展规划（20162020年）；5、中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要；6、关于实现产业经济高质量发展的相关政策；7、项目建设单位提供的相关技术参数；8、相关产业调研、市场分析等公开信息。四、 编制范围及内容按照项目建设公司的发
12、展规划，依据有关规定，就本项目提出的背景及建设的必要性、建设条件、市场供需状况与销售方案、建设方案、环境影响、项目组织与管理、投资估算与资金筹措、财务分析、社会效益等内容进行分析研究，并提出研究结论。五、 项目建设背景在20世纪90年代初期，半导体光刻工艺的技术节点已发展至线宽0.25m，i线光刻技术及重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶已不能满足如此高的分辨率要求，因此人们开始寻求适用于具有更短波长的深紫外（DeepUltra-Violet，DUV）的光刻胶体系，即DUV光刻胶。当时的KrF和ArF等深紫外光刻机的曝光剂量都比较低，对于量子产率只有0.20.3的重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶而言，只有
13、极大程度地提高其灵敏度，最终曝光所产生的图像的对比度才能满足要求。此外，当光线从光刻胶顶部向光刻胶底部传播时会被逐渐吸收，如果底部光强不足，外加光刻胶灵敏度较低，则最终容易形成梯形形貌。梯形形貌会明显影响后续工艺的正常进行，从而限制光刻工艺分辨率的进一步提升。因此，提高光刻胶灵敏度的“化学放大”势在必行。展望二三五年，我区将基本建成壮美广西，与全国同步基本实现社会主义现代化。综合实力大幅提升，经济总量和城乡居民人均收入将迈上大台阶；科技支撑能力显著增强，基本建成创新型广西；基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化，基本建成具有广西特色的现代化经济体系；开放水平大幅提升，形成“南向、北联、
14、东融、西合”全方位开放发展新格局，成为面向东盟的国际大通道、西南中南地区开放发展新的战略支点、“一带一路”有机衔接的重要门户；基本实现广西治理现代化，人民平等参与、平等发展权利得到充分保障，基本建成法治广西、法治政府、法治社会；建成文化旅游强区、体育强区、健康广西，教育高质量发展，人才数量质量大幅提升，国民素质和社会文明程度达到新高度；生态环境质量保持全国领先水平，广泛形成绿色生产生活方式，生态经济发展壮大，美丽广西建设目标基本实现；城乡面貌根本改观，基本公共服务实现均等化，城乡区域发展差距和居民生活水平差距显著缩小；民族团结和边疆治理巩固提升，建成更高水平的平安广西；人民生活更加美好，人的全面发展、各族人民共同富裕取得更为明显的实质性进展。六、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx（以最终选址方案为准），占地面积约83.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx吨DUV光刻胶的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划24个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资30559.72万元，其中：建设投资24340.42万元，占项目总投资的79.65%；建设期利息538.44万元，占项目总投资的1.76%；流动资金5680.86万元，占项目总投资的18.59%。（五）资金筹措项目总投资3
