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1、FLC3W W气体质量流量控制器和流量计工作原理 流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加 热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大 后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图:BESFRICrell(将该地址复制粘贴到网叶地址栏里)控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体 质量流量控制器的检测范围为2100%满刻度(量程比为50: 1),流量分辨率为
2、0.1%满刻度。注意: 气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时,流量检测 输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际 通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现 象,但这些不会损坏质量流量控制器。(将该地址复制粘贴到网叶地址栏里) 气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID 控制电路就构成了流量控制器。 3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围MFC 和 MFM 可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多 种领域的科学研究和生产中,其典型应用有:电子工艺设备,如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、 离子注入和溅射,以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪 器。应用对象:质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特 殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集 成商、大学实验室、气体公司、研