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1、技术方案For研究所检测中心项目TO中国电子科技集团公司第二研究所DateRev日期：版次：2013-08-22V00Project No.项目编号: SEM-130822001SX版权说明此文件版权为北京路宇翔净化工程技术有限公司所有，使用权仅限于此文件所适用的客户。此文件所含数据和图纸等未经北京路宇翔净化工程技术有限公司事先许可不得拷贝、复制或以任何其他形式透露给第三方。目录013024035041205130617072008220936一.项目概况1.1 本工程是中国电子科技集团公司第二研究所研究所检测中心项目的管道安装工程。管材、管件、设备、阀件主要为进口不锈钢材料。地址位于山西省太
2、原市万柏林区和平南路1.2管道施工的主要特点本工程为新厂房全新施工，其中有部分设备为原有设备，要对旧检测中心气体设备进行拆除搬迁；工期紧，可能面临交叉作业及施工队较多影响，因此，施工有一定的难度，对施工技术和施工组织均提出了较高要求1.3施工范围本工程包括对旧检测中心气体设备进行拆除搬迁，新厂区 7种特殊气体（ SiH4、C3H8、HCL、H2、GN2、PN2、 AR）的管道安装、设备连接；使用点分布情况：一楼 21台单晶炉（另有 9台以后安装）及在合成间设一个预留点；二楼 1台外延设备（另有 2台以后安装，有预留点）；三楼设一处预留点。1 ）SiH4、C3H8、HCL、H2四种气体的路线：气
3、柜 -VMB- 使用点2）GN2气体的路线：汇流排 - 使用点3）PN2、AR四种气体的路线：汇流排 - 纯化器 - 使用点二材料进场1) 材料到达现场须通知业主方及第三方2) 施工人员在搬运过程中须小心谨慎以避免任何材料或其密封包装受到损害3) 材料必须存放在经过批准的存贮区域以便相关人员能对材料做详细的检查4) 将从一批材料中抽取 5%（最少两件）来进行详细的检验5) 检查材料的外表面时，应注意表面是否平整，有无刮伤及凹陷，表面是否光滑6) 检查材料的内表面时，应注意表面是否平整，有无刮伤及凹陷内表面应根据材质的等级来查看其经过高度抛光以使其像镜面一样具有一定的反射率7) 检查管材的壁厚及
4、直径，是否符合其行业标准8) 通过验收的材料都需做上“接收”的标示并附带日期9) 未通过检验的材料都需做上“拒绝”的标示并附带日期当第一个 5%的材料被拒绝后，则需再抽取 10%的材料进行检验，如果仍然未通过检验，则需检验整批材料。材料被拒绝时应通知业主，且所有被拒绝的材料都须被退还给供应商，以替换或退货。三 配管施工气体管道施工作业程序BA 管管管管管管管管管管管管(管管管管管)管管(管管管管管)管管管管(管管管管管管管管管管管管BA 管(VCR)管管管管管管管(管管管管管)管管(管管管管)管管管管 (管管管管)管管管管(管管管管管)管管管管管管管EP 管(VCR)管管管管管管管(管管管管管
5、)管管(管管管管 )管管管管 (管管管管 )管管管管(管管管管管)管管管管管管管管管管管管管管3.1 管材切割预制（1）切割前确认配管表面无有害痕迹、破损。（2）配管切割时使用不锈钢专用切割器(StainlessSteel Tube Cutter) 或专用手动割刀缓慢进行切割，（ 1）管径大于 25A时，须保持切面直度 (90 0.5) 。（3）管道横放水平固定，防止切屑进入管内。（4）配管切割后以 AIR GUN用洁净的气体清除，切割面位于下流方向。（5）切割后如管上附有切屑或其它杂质，用无尘布料(LINT-FREE CLOTH)沾IPA（异丙醇）擦试干净。（6）切割后用专用的切面加工器处理
6、切面，使端面平整。（7）进行切面加工时，为防止切屑进入管内，使加工面处于下流，从下流冲放洁净的气体，加工后，使切面朝下，从上方敲打几次，去除切屑杂质。（8）切面加工完成后，确认切面处理是否良好。若检查合格，用高纯度工业用氮气清除配管外表。（9）确认配管内外无杂质或异常现象后，于两端加盖封密。中大口径管子 (3 4”)1) 采用专用的切割机切割中大口径管子2) 切割后将切割端朝下轻微抖动消除切屑，然后用洁净气体从上往下吹扫3) 切割后目视检查是否有灰尘污染如存在污染 再吹洗一次或用无尘纸擦拭4) 切割后用端面处理器进行端面处理坡口型式应为 I 型；并铣去毛刺，必要时使用锉刀，应十分小心的进行修边
7、处理5) 端面处理及铣毛刺过程中，应确保端面朝下，处理后轻轻抖动消除切屑6) 端面处理后，用洁净气体从上流往下流吹洗处理端面为下流7) 端面处理后目视检查是否有切屑污染8) 管于的端面加盖9) 使用专用吸尘器消除切割及处理过程中产生的粒子对于小口径配管 ( l4 一 l 2) ，切割原则如下：1) 切割前应确认配管表面无有害痕迹、破损2) 配管切割时须使用不锈钢专用切割器缓慢进行切割3) 原则上被切割管应横放水平固定、防止切屑进入管内。4) 配管切割后须用洁净的气体吹扫管子切割端、 切割端应置于低处，气流从高处往低处吹洗。5) 切割后如管上附有切屑或其它杂质、须用无尘纸及 IPA擦净。6) 切
8、割后应用专用的切面加工器处理切面，坡口型式应为I 型，并用特殊的铣毛刺机消除毛刺，此时应小心不可凿得太多；( 一直保持端面朝下 )7) 进行切面和铣毛刺加工时、为了防止切屑进入管内、应始终置加工面于下流、从上流冲放洁净的气体。加工后、使切面朝下、从上方敲打几次、去除切屑杂质。8) 如确认配管内外无杂质或异常现象、于两端加盖待用。9) 如配管不能横放水平切割、下方管不可使用。10) 使用专用吸尘器消除切割及处理过程中产生的粒子。11) 管子切口质量应符合下列规定： 切口表面应平整，无裂纹、重皮、毛刺、凹凸、缩口、熔渣、氧化物、铁屑等。 切口断面倾斜偏差（图）不应大于管子外径的 1%，且不得超过
9、3mm。图切管作业图二 焊接作业图三焊接作业3.2 弯管1/2 ”以下管径采用弯管施工，若因现场因素无法执行，则一律使用Elbow施工。弯管需使用合适之弯管器，不可使用手弯，除美观外也可降低微粒子产生。弯管曲率至少以1/2 ” 管道五倍弯曲率为原则。1) 原则上只有直径小于 1/2 ”的管道才可弯曲， 配管弯曲时 ( 除了量尺寸外 ) 不可取开两端盖子2) 配管弯曲应使用专门的弯管器（ SWAGELOK）进行操作3) 对不同尺寸的管道弯管半径规定如下 :1/4( 标准弯径 5D) R 约为 30 mm3/8 ” ( 标准弯径 5D) R 约为 48mm1/2( 标准弯径 5D) R 约为 64
10、mm管子弯曲时，管子的正负角度应小于15 度3.3 管线连接卡套接头安装 (Let-lok)（1）施工前，检查卡套型 (Let-lok)接头之各元件是否齐全；元件包含接头本体1个、母套头（ Nut） 2个、金属箍套圈（ Ferrule ） 2组。如下图：（2）将配管管材裁减至所需尺寸，或预制好之管材依序套上母套头、金属箍套圈。（3）将管材连接端确实套入接头本体，并顶至内部底端；用手旋紧母套头。（4）旋紧后，以签字笔在母套头上之一面作标记；再以两支扳手分别夹住接头。（5) 本体六角承头部及母套头，施力旋转11/4 圈，如下图：接头安装（1）PT牙型接头一端为卡套型 (Let-lok)接头；另一端为螺纹接头。（2）PT牙连接于机台前，须以 TYPE-SEAL先行以渐进法缠绕于牙端3圈。（3）连
