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1、质量流量控制器SEC-E系列概要所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可 分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如 需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的 时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。 在必须对流量进行精确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如 半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。特征适用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM （以N2为标 准）被广泛的使用于全球的制造业，从一般工业到高科技产业。技术规格SEC
2、-（质量 型流量控制器） 号SEF-（质量 流量计） 适用气体种类*1 气体接触部材质 阀门型号 标准流量量程 （N2 相应 F.S.） 流量控制范围E40/E40MK3E40E50/E50MK3E50非腐蚀性气体（MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He） SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 非通电时关闭 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM2 100% F.S.20/30 SLM（适于SEC系列）流量测量范围 （适于SEF系列） 响应速度 流量精度直线性反复性工作差压值值 （适于SEC系列） 使用压力（适于S
3、EF系列） 耐压外部泄漏率使用环境温度流量设定信号 流量输出信号0 100% F.S.1秒以内(T98)1% F.S.0.5% F.S.0.2% F.S.10SCCM5SLM： 50300kPa(d) 1030 SLM:100300kPa(d)300kPa(G)以下驱动电源+15VDC1MPa(G)以下1X 10-8Pa m3/s(He)以下550C(精度的确保：1535C)0.15VDC(输入阻抗1MQ以上)/2100% F.S.05VDC(最小负荷电阻2kQ)5% 50mA -15VDC 5% +15VDC 5% 50mA -15VDC 150mA 3VA5%200mA 3.9VA标准接头
4、*21/4SWL类型SEC-（质量流量控 型 制器） 号SEF-（质量流量 计）适用气体种类*1。2、E60E70E80E60E70E80Air、H、Ar、CH、23 82队、C4H10SUS316 .氟化橡胶、磁性不锈钢关闭；、w、H2气体接触部材质 阀门型号 标准流量量程 应 F.S.） 流量控制范围 SEC系列） 流量测量范围 SEF系列） 响应速度 流量精度 直线性 反复性工作差压值值（适于(N2相（适于（适于非通电时50/100 SLM 200 SLM300/500 SLM5 100%0 100%1秒以内(T98)1% F.S.0.5% F.S.0.5% F.S.100300kPa(
5、d)F.S.F.S.2秒以内(T98)2% F.S.1% F.S.1% F.S.200350kPa(d)350kPa(G)以下1MPa(G)以下SEC系列） 使用压力（适于SEF系 列）耐压外部泄漏率使用环境温度1 X 10-7Pa m3/s(He)以下450kPa（G）加压10分钟减压1%以内545C（精度的确保：1535C）流量设定信号流量输出信号驱动电源标准接头*20.255VDC(输入阻抗1MQ以上)/5100% F.S.05VDC(最小负荷电阻2kQ)+ 15VDC 5% 50mA -15VDC 5% 200mA 3.9VA3/8SWL类型1/2SWL类型*1:关于记载以外的气体种类
6、，请另行咨询协商。*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。淤SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。入口压力是 SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值 300kPa（G）； SEC-70/80： 最大值350kPa（G）以下。淤 SCCM、SLM 是表示气体的流量单位（mL/min、L/min、at、0C、101.3kPa）的 记号。产品相关图及其它5E C-E4 Q/E5 0 修 9任冲 用0/E40M K 3,陌。MK3 SLF-E40/ESDJEt0JE7QS E C-E4 0 /ES0/E60/ E 70/E CM K3/E3SEFE40/E5C/E60/7C型M曜呻 J_HTW1B.r街5EC(5EH-E4IO的加略!Ou网打，N&J2761271.5IS.512.75SEC(5EftSD| 二蛇二心叫叩L如,i3曲11心叫ISJIESEC(SEF)6O诵丽册打IW44IM1K23如?A225EC(SEfE7O对福为-沏网i曾44I5MJ.6明28i25ECE40MK3327*1273=.5L|J12.75SECE5OMK3职刘ii崩由亨仪E骚32761用戋518.512.75
