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1、热式气体流量传感器根据加热元件的不同，采用不同的敏感元件， 尤其是我们采用的铂膜电阻感温元件，具有尺寸小，相应快，测量范 围宽，线性好的特点。热式气体流量传感器的测量原理，热式气体流量传感器根据加热 元件的不同，分为热线式和热膜式。其采用薄膜铂电阻（铂膜电阻或 铂膜探头）作为敏感元件。气体流量传感器的铂膜电阻作为一种新型 的感温元件，具有尺寸小、响应快、易于与集成电路相匹配的特点，且 具有测温范围宽、精度高、线性好、性能稳定等优点。在温度补偿、 温度及流量的测量和控制等领域有广泛的应用。铂膜电阻在作为流量传感器使用时，由于探头散热条件与环境 温度有极大关系，其信号输出将受环境温度变化的影响。为
2、了定量地 掌握热膜探头的温度特性，我们根据热式气体流量传感器加热探头 工作温度范围，flow-对热膜探头在不同环境温度下进行温 度特性试验。将热膜探头放置在温度可调的恒温箱中，给探头加上某 一恒定工作电流，在不同的工况条件下，测量探头两端电压v,然后 计算热膜探头电阻。热式气体流量传感器的敏感元件温度特性，由于热膜探头的工作 温度很难精确测量，因此在静态温度特性实验中，首先建立热膜探头 工作电阻随温度变化的曲线，即在热膜探头无自热效应的前提下（工 作电流W1 ma）,热膜探头电阻随环境温度变化趋势。根据实际情况, 本文选用pt20热膜探头作为试验研究对象。元件，主要是利用铂电阻在无自热效应前提下r t- t 特性，一般情况 下通过铂电阻的电流不大于1 ma。热式气体流量传感器是利用薄膜铂电阻作为加热元件,通以较 大的电流,利用其自身的热效应,使铂膜探头达到一定的工作温度, 作为测量气体流量敏感元件。
