多晶硅厂考察报告

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1、2009年2月 16日新光硅业参观一、基本情况 - c0 f( X) B% u1、股本结构 9 g8 / s8 F9 o, d前三位股东为：川投控股有限公司 38%，天威 35%，四川启明星控股23%。) S; n- 0 U6 L0 J% 2、工厂情况 ( f/ b2 R6 M$ x+ K! N6 E( 0 O- v. u1 ) 20072 28 第一炉多晶硅出炉，质量达到电子级国标二级标准。2) 07年产量228T,销售收入3.2亿，利润1.3亿；3) 08年产量815T,销售收入16亿，利润9.5亿；/ e2 6 _* .4) 09年计划产量 1100T。5) 产品主要以电子级直拉料、区熔

2、料及太阳能级产品为主。5 P1 F16) 现有员工 340 人。3、该公司为第一个 1000T/Y 多晶硅国家示范工程，并为神舟硅业、南玻、乐电天威培养人才。 + ?6 b) 4 f O1 + q4、科研情况1 )该公司承担的大型尾气干法回收技术、热氢化技术为国家“十一 五”科研项目；2)承担国家三项标准的制定， 分别为区熔光谱法评价多晶硅标准 、 酸提取等离子质谱多晶硅表面杂质标准、 用低温红外测量单 晶工艺中 III 、 V 族元素标准。5、新光公司自主研发的 3000T/Y 工艺包用于新津、 乐山两个 3000T/Y 工程项目，预计 2009年 10月投产。6、2006 年 12 月成立

3、四川多晶硅技术研究中心，并在成都建立单晶 硅切片项目，计划 2009年底建成。 （ B7 0 P P: b3 Y+ D3 , 2q5 s二、参观情况1、只允许参观还原厂房。1）有10台12对棒还原炉（其中8台是524的，2台是MSA的）， 还有 12台 9对棒还原炉。硅棒直径最大可达 180mm。* N6 G2 |8 %2） 炉内观察，还原炉喷嘴比底座高出约400mm一头直径DN15 mm另一头带法兰直接压在喷口上。石墨套直径约有120130mm石墨座约100mm夹瓣高出石墨座约25mm还原炉有三块视镜，9个喷嘴。 红外测温仪是深圳产的，显示温度比较稳定（变化值 0.10.2 间）， 但不同炉

4、之间显示值差别较大（目测炉内温度差不多）。炉内硅棒较 细腻。绝缘四氟外无隔热罩，电极没有大头（中硅也是如此）。电极 水阀组为立式靠墙，铜排升出地面后与电极之间为柔性联接。3）还原厂房内有 10台 18对棒氢化炉，氢化炉有一块视镜，炉子约 2米高。 - F% T! U% v$ m7 1 K3 u2、干法回收有三套 CDI 装置，合成、还原、氢化各一套。氢压机为 德国、意大利的，冷冻机为约克的。7 L+ 3 k- b f. j） ?7 U43、精馏有二十多个精馏塔，其中 1 8级为合成料精馏， 1012级为 回收料精馏。有一个塔为湿氮除硼。最高的一个塔 76米。 ） L* N） Y94、有一套液氯

5、气化装置，约有四个塔。5、氯化氢合成装置及TCS合成装置有二个沸腾炉，单台沸腾炉设计 能力为5000T/Y,分别使用新氯化氢和回收氯化氢。6、尾气吸收装置庞大。三、与陈绍章总经理的交流情况 $ j+ _% i L1 I4 q1、还原电耗太阳能级产品7080kWh/kg,电子级产品90kWh/kg。还 原启动方式为等离子加热。 还原自控是根据测温仪温度经修正后来实 现自控。 . q , Z+ 1 5 M2 j6 C4 n1 h4 b2、合成为加压合成，操作压力 6 公斤，三至四个月清理沸腾炉一次。 但目前合成料不够用，45%TCS需外购，原因是CDI回收氯化氢压缩 机不能正常工作。合成 TCS含

6、量一般在80%左右。* V9 z8 H $ 3、认为 CDI 系统还原与氢化分开比合在一起更好，同时将 CDI 的板 式换热器改成了管式换热器。 CDI 压缩机、冷冻机是关键，其它设备 无问题。 CDI 系统要多准备一些备件，最好是成套的备件。国产氢压 机和HCL隔膜压缩机不好（HCL隔膜压缩机为北京金凯威）。2 X# K!4、氢化炉加热棒C-C复合纤维材料国产的不如俄罗斯的好，但进口的交货周期太长，要8个月，每对约3.5万元。国产的C-C复合纤维 材料时间久了会脱层，寿命不长，约三个月换一次；俄罗斯的碳棒较 好。氢化炉最长运行了 8个月，碳棒上几乎没有硅的沉积。氢化转化 率在2022%氢化电

7、耗3 kWh/kg。氢化炉的自控没用红外测温仪。85、废液处理有四个大循环水池，使用蒸发、浓缩、结晶方式，析出 氯化钙，减少氯离子含量。蒸发的热源来自还原闪蒸蒸汽。6、有2台20T的燃气锅炉，使用天然气。每天用量为50000多立方7、 主物料管道上的阀门及流量计要选用进口的。3 X0 8- z%U+x-8、武汉长飞光纤光缆公司参与讨论，他们准备用高纯四氯化硅做芯 棒，但用量很少，约 100T/Y ;用四氯化硅做光纤皮层，用量约 10000T/Y。目前该公司处于考查阶段。2009年 2月 1 7日东汽峨半参观情况 6 n- L（ d# k2 z a9 S k! l-一、企业基本情况 u7 S,

8、v* s# a$ V8 j1、峨眉半导体材料厂（研究所）于 1964年 10月成立， 2006年6月 划转至东方汽轮机厂，改名东汽峨眉半导体材料厂（研究所），简称 东汽峨半。现有职工 1500 多人，其中专业技术人员 500 多人，高级 技术职称人员 43人，硕士 8人，博士 2人。 k# + 9 N r, , L2、生产规模 : p0 Q& G 7 g: k5 N# v/ d9 G8 p1） 东汽峨半电子级多晶硅500T/Y （在峨眉山市739厂内）已正常生 产，投资 5 亿左右。老系统保留了 200T/Y 的还原厂房。2）生产太阳能级多晶硅1500T/Y （在乐山五通桥），投资13亿（含3

9、万吨烧碱装置） ，占地 500亩。该项目于 2008年2月15日开始土 建施工，目前处于设备最后安装阶段，部分公用装置已在调试（公用 工程按3000吨设计），预计二月底进行生产调试。第二条1500T线预计09年下半年开始建设，第三条1500T生产线选址已定。& w ） k X# G# X% D2 i& K3、2X120MW光伏产业园区已开始土建，一期建设 1200T直拉单晶硅 及硅片生产线，预计 2009年三季度投产。 $ v. L5 h/ Y） C B8 u+ M4、 至厂一五”末，将形成多晶硅5200T,单晶硅2400T,硅片8000 万片，高纯金属元素60T的产业目标，销售收入近100亿

10、。 U3 、二、现场参观情况（一）五通桥1500T现场由于处于安装阶段，只允许在现场看，未能至厂房内参观。 5 f! 1 、 精馏塔 14 个，最高 48 米， 60 块塔板2、还原厂房设计 12 对棒还原炉 20 台， 2.8 米硅芯，氢化炉 10 台（氢化炉厂房未封顶）3、 合成沸腾炉4个，操作压力约5kg/cm2,为3700T多晶硅（2X1500+ 700）项目配套，合成的HCL纯化后含水量50ppm4、CDI 装置三套，合成、还原、氢化各一套，氢压机为国产。 5 05、 配套建设30000T/Y烧碱厂，有2台电解槽，制作液氯。?& u+6、配套建设制氢车间。 & u） Q0 v） a&

11、 Q） C, L7、废液处理用NaOH溶液吸收，采用循环结晶方法，正在作土建工作。 & x+ o（ b8 G3 d7 H; W, Q;8、公用工程按 3000 吨多晶硅设计，部分已在调试。 - ; n; r） i）（二）500T项目（峨眉739厂内）只允许参观还原厂房。 0 c） c） q! v. j# R6 g1、有 12对棒还原炉 8台，每台有 9个进料孔，无喷嘴，3 块视镜。由739设计，东汽制造，内有瓷环，硅芯用 2300MM还原炉两 边有导轨。没有平台，电极冷却水阀组没在厂房内。# o%o3 y& C2 f石墨座离底板较高，硅棒表面细腻。2、筛板式精馏塔 8 个。3、没有氢化装置。

12、1 p6 Q I9 % v4、 干法回收装置回收的HCL去合成（0.7kg/cm3微正压操作），STC 去五通桥氢化。* T& m9 B5 P& s9 ? ） f4 t三、交流情况1、1500T 项目采用热氢化，在其研究所的多晶硅技术实验室的转化率为 1516% 500T项目无氢化。* S i; P7 d5 r G9 o0 a2、引进的500T多晶硅CDI工艺包经消化吸收后，由739做设计，国 内生产设备，500T项目投产后运行正常。3、其认为 CDI 技术国产化关健是氢压机和冷冻机，现冷冻机已无问题，国产氢压机主要还是存在密封问题。CDI的维护很重要，卧式机 和立式机区别不大。 , o$ p

13、7 U1 7 z（ 4 h0 J I D6 b w4、工业和信息化部金磊主任通报情况：1）多晶硅发展指导意见在程序上已走完，准备联合几个部委共 同发布，已形成初稿，上半年会出台；2）准备搞一个一元工程，和国外的百万屋顶计划相类似，推动国内 太阳能的应用；3）把多晶硅归于电子材料信息行业；4）三月份成立“电子信息基金”， 各单位可积极申报各类研究专项。5、东汽峨半可向外界提供 N型1000Q cm P型10000Q cm少 子寿命500 a s以上的单晶籽晶。6、 废液处理500T/Y项目采用中和、沉淀的传统方式；1500T/Y项目 采用NaOH溶液吸收，循环结晶方法处理。重庆大全新能源有限公司

14、的参观情况一、基本情况 2 B $ f3 K/ L3 a1、大全集团简介7乙d. w- l- 1 L- : N大全集团（原江苏长江电气集团）是从事高低压成套电气设备、元器 件，环保，高速铁路，新材料（多晶硅）等行业的国家级大型企业集 团，现有员工 7500人。2、重庆大全工厂情况1）一期项目产能1500T/Y, 2007年6月开工建设，2008年6月建成 投产。一期扩建产能1800T/Y，2008年5月开工建设，2009年5月 建成投产，总产能将到达 3300T/Y。占地1000亩，现有员工300多 人，2008年7月8日出第一炉硅料。2）全套引进国外技术（ TCS 合成除外），全流程生产工艺

15、。执行国 家标准和欧美环境标准及安全标准，整套装置全密封运行。 7 i; X,3） 主要设备欧美进口，有12台MSA的12对棒还原炉和6台MSA氢 化炉，进口低温红外FTIR、TCP-MS等高端仪器，满足产品检验要求。4）单炉平均产量 2.53.5 吨，还原炉平均电耗 62kWh/kg,Si, 最大产 量 3.8 吨，全厂综合电耗小于 160 kWh/kg,Si 3 z8 a& p. * z4 V 一月份综合电耗组成：还原炉 62 kWh/kg,Si ，氢化炉 30 kWh/kg,Si ， 制氢 12.5 kWh/kg,Si ，循环水 10.8 kWh/kg,Si ，冷冻机、 氢压机 10.8 kWh/kg,Si ，空分、空压 4 kWh/kg,Si ，合成、提纯、回收 22.7 kWh/kg,Si ，其他（分析、硅芯等） 0.9 kWh/kg,Si 6 j* L8 8 D+ D-5）氯气、蒸汽由重庆宜化化工有限公司提供。6）有一支国际化的技术团队。 9 m4 S