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1、激光干涉仪软硬件介绍本次试验我们使用的仪器为：Renishaw激光器测量系统。这个系统由 “软件” 与“硬件” 两个部分组成，所以我们认识他，就是搞清楚各是 什么硬件和软件。看到这个章节时，可定有人会问还有什么硬软件之分的吗？答案是肯定的！先问大家一个问题：只有躯体的人就是一个正常的人吗？答案是否定的！一个正常的人不但须要一个实实在在的躯体，还需要由看不见的意识性的东西一一思想的存在！3.1激光干涉仪是由什么硬件组成3.1.1什么是硬件？硬件：硬件就是我们看到的一堆由金属、塑料等材料堆成的被称之为“Reni shaw激光干涉仪”的东西（事实上，它是由一些机壳和电路板等物构成）。因为是一些看得见
2、、 摸得着的东西，又因为都是“硬”的，所以被人们形象地称为“硬件”。3.1.2具体硬件名称以及各自的用途是什么？一、本次使用激光检测仪主要检测螺距误差，因此我们主要使用到以下的仪器：（1）ML10激光器Renishaw ML10 Gold Standard 激光器ML10后面根控制及指示灯电涯的ECO；OM/OFF 电源开2正交輸出悟号输岀位直（T出现在此图上倾斜度调整將吉插座ML10前面根控制及指示灯A) t A. 4? HB)规丰叮粘同以上四个图案为激光罩在不同的状态下的作用A） 无光束射出B）缩小横截面光束及目标C）最答光束及目标D）标准测量位置射出最大光来的横截面以及反射光束的探测器孔
3、ML10是一种单频HeNe激光器，内含对输出激光束稳频的电子线路及对由测量光学镜 产生的干涉条纹进行细分和计数处理。其主要作用简单概括为：发射红外线以及返收红外线供特定的软件做分析，记录相关的数据。（2）三脚架 *-气泡水平佼小型三脚架图9小型三脚架高度调整舶丸:ft W冋站制ML10激光束的准直。 云台上。三脚架、安装云台和高度调整水平平移调整角度偏转偏转调整角度俯仰调整三脚架及云台可用来安装 ML10激光器，将ML10激光器设置在不同的高度，并充分控对于大多数机床校准设置，建议将ML10激光器安装在三脚架和ML10激光器三合一体，可为 ML10光束准直提供下列调整：其中高度调整是由图9上显
4、示的高度曲柄控制的,水平平移是由图2上显示的平移控制旋钮控制，角度偏转偏移是由图 2上显示的旋转微调旋钮控制。图2后的两个示意图为水平 平移和角度偏移的使用方法。(3) EC10环境补偿装置图1-EC10环境补诧装置图3-EC1QJ&视图EC10环境补偿装置可以补偿激光器光束波长在气温、气压、及相对湿度影响之下的变 化。大多数机床会随着温度变化膨胀或收缩，可能导致校准发生误差，为了避免校准误差， 线性测量软件纳入一种称为热膨胀补偿或“归一化”的数学修正，应用在线性激光读数上。 软件使用膨胀系数将测量加以归一（膨胀系数需手动输入），并使用EC10来测量平均机床温度。修正的目的是要评估在 20 C
5、 （68 F）的温度下执行校准时应得的激光器校准结 果。（4）线性测量镜组线性测量镜组可用于测量线性定位精度。线性测量镜组组件包括下列要件，如图1所示： 分光镜 两个线性反射镜两个光靶以助于光学准直注：当您组合一个分光镜和线性反射镜后，便成为一个线性干涉镜。阳1 -發性测重損龜fl 1射憧的正礪方位iT 飢向 LF-f/l4 n(5)用于将镜组安装到机床机床上的安装组件图1 镜组安装组件镜组安装组件是用来将 Renishaw测量镜组安装到 CMM或机床上。本系统的设计可以 轻易地交换不同的测量镜组，无需重新准直激光器。组件包括: 三个安装杆（安装杆有 M8 螺丝钉可拧上底板、标准磁基或其它 R
6、enishaw 装置）M8 适配器（可连接标准磁基或 Renishaw 的 CMM 探头）两个底板两个安装块和安装螺钉（可将光学元件连接至安装杆） 镜组安装组件不包括任何可将安装的镜组夹上待测机床的元件， 要这么做需视不同的机 床而异。 一种通用的方式是用磁性安装块直接将钢制底板或/ 和安装杆装上机床。安装组件的安装杆和底板都是磁性不锈钢所制，因此可以用磁性安装块来加以牢固。3.2激光干涉仪是由哪些软件组成3.1.2什么是软件？软件：是人们为了告诉电脑要做什么事而编写的，电脑能够理解的一串指令，有时也叫代码、程序。3.2.2具体的软件名称以及各自的用途是什么？（1） Renishaw Lase
7、rlO是配套Renishaw激光器测量系统的软件，此软件的资源管理器窗口：帮助 快捷方式1 KB2 KBA回转轴分度精度测量 快捷方戎平面度测垦 7快捷方式2KB Readme；快捷方罠 1 KB桧距离直线滾测量快捷方式短距离直线度测量怏捷方式2KB角養测量快捷万式2KB数据分折快捷万式2KBF錢性测长 快捷方式 2KB这里面包括该仪器所有功能的配套软件，其中线性测长是我们本次研究的软件。（2）线性测量软件Lifr沖峙暂工吐edn脂号僵醛低恨誉阴磁連斷抿番限“ -r”r E 心、:沾 *橫却耳握试覽疳筋，性F列各表列出各种菜单选项的功能:文件1选项/次选项功能新自动设置建随机设置手动设置指导用
8、户通过有关数据米集设置程序，显示目标生成，米集 初始化和自动数据采集对话框。倘若您已在会话中定义了目标，就可以选择创建新目标或者修改既有的目标。打开会显示打开对话框，容许您在其中为上一次数据采集会话加载参数。另存为会显示另存为对话框，容许您将数据用一个新文件名保存或保存至另一个目录。属性容许您输入或查看当前的数据采集会话的机床标题信息。最近会话容许您从最近的数据采集会话列表内选择并打开数据文件。退出退出数据采集软件。目标选项/次选项功能自动设置会显示目标设置对话框。倘若您已在会话中定义了目标， 您随机设置可以选择创建新目标或者修改已有的目标。手动设置编辑会显示编辑目标数值对话框， 容许您更改已
9、定义的目标位置。保存会显示另存为对话框，容许您给要保存的目标设置定义一个文件名或目录。采集选项/次选项功能开始在您定义目标并 设置自动采集 后开始数据采集过程。继续在中断后继续数据采集过程。环境设置会显示环境设置对话框，容许您手动设定环境参数或选择使 用EC10装置进行自动补偿。Tpin/out开/关设置会显示TPin-TPout设置对话框，容许您在其中启用/禁用处 部触发并设定触发间距。自动采集设置会显示自动数据采集设置 对话框，容许您在其中输入数据采 集参数，如最小暂停期间以及过速步长尺寸。数据选项/次选项功能按运行编辑 按目标位置编辑会显示数据编辑对话框，容许您在其中编辑在每一个目标按
10、运行或按目标位置所记录的误差值。分析启动Renishaw LaserlO分析软件。工具选项/次选项功能附加功能/将角度转换为直线度是一个DOS实用程序，可将角度数据文件转换 为直线度数据文件。运行软件时，请参阅 IMPORTANT NOTE（重要注意 事项）一节。附加功能/转换数据文件是一个DOS实用程序，可从采集的数据中去除 斜率。它也能够缩放及给所采集的数据添加偏移 量。附加功能/将数据文件转换为电子表格一个DOS实用程序，可将数据文件从Renishaw文件格式转换为 Lotus 123 电子表格。该格式也能用 Microsoft Excel读取。附加功能/环境监控软件一个DOS实用程序，
11、可显示材料温度、气温、 气压和湿度并以电子数据表格式记录。组件/将数据采集到Lotus 123电子数据表文件选中时，会加载一个软件组件，可用于将激光 读数、误差、环境数据等数据以电子数据表文件格 式保存。 每一次数据采集软件内采集到一个数据点 时，便会记录该数据。通信/设置RS232会显示Renishaw通信对话框，您便能够按机 床所配备的控制器类型设置通信参数。通信/终端会显示Renishaw 通信终端窗口，您便能够测 试及监控通过RS232接口的文件传送。打旧机床参数 印新机床参数坐标轴文件零件程序这些选项容许您选择及打印 OMR NMP TBL和RPP文件。零件程序生产传送查看编辑复制到
12、软盘接收这些选项显示生成、查看及编辑 零件程序，并 在计算机和控制器间传送 RPP文件所需的对话。配置选项/次选项功能数据文件目录容许您定义保存Renishaw数据文件的默认目 录。环境设置会显示环境设置对话框，容许您定义默认的膨胀系数值以及用来显示环境参数的单位。测量单位会显示单位设置对话框，容许您定义单位类型 （英制或公制），以及用来显示激光测量值及误差 值读数的分辨率。角度因子仅适用于角度测量模式。会显示角度因子对话框，容许您在其中输入有关所 用角度镜组的详细信息。工具栏会显示一个对话框，容许您在其中更改工具栏 的外观。 您可以添加或删除按钮并更改它们的显示 顺序。设备选择Renisha
13、w PC10或PCM10 配 ML10容许您选择计算机上所连接或安装的接口类 型。PC10/ML10 仿真GPIB 接口通过串口的Bobe盒FederalGauge/RS232接口地址会显示端口地址选择对话框，容许您给计算机 上所配备的接口卡设定端口地址。加载配置文件当开始一个米集会话时，软件会从默认文件CURRENT.RC内 读取配置。该选项会显示打开对话框，容许您在其中从自 己先前创建的文件中选择一个配置。保存配置文件该选项会显示另存为对话框，容许您在其中将 一个自定义配置保存到与CURRENT.RCF文件相同的目录。语言选择该选项容许您用不同的语言，如德语、英语、 法语、意大利语、或西班牙语，来显示菜单、对话 框、及状态指示灯中的文字。窗口选项/次选项功能标题这些选项用于控制子窗口的排列方式。您可以层叠将它们并排“平铺”或者是彼此“层叠”。默认的排列图标选项是“古典”，可能要算普通情况下最好的用法。古典环境复选这些选项其中之一，会在 右边窗口中显示设置信息环境参数、可选的光学设置图表、或机床标题信息。属性1状态倘若子窗口被平铺或层叠，复选这些选项其中2读数之一会使该窗口成为活动窗口，而且在层叠模式中3信号将选中的窗口带到最前面。4环境帮助选项/次选项功
