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1、在线镀膜玻璃和离线镀膜玻璃生产方法 目前两种LOW-E玻璃生产方法：1）在线高温热解沉积法：在线高温热解沉积法“LOW-E”玻璃在美国有多家公司的产品。 如PPG公司的Surgate200，福特公司的Sunglas H.R“P”。这些产品是在浮法玻璃冷却工艺过 程中完成的。液体金属或金属粉沫直接喷射到热玻璃表面上，随着玻璃的冷却，金属膜层成 为玻璃的一部分。因此，该膜层坚硬耐用。这种方法生产的“LOW-E”玻璃具有许多优点： 它可以热弯，钢化，不必在中空状态下使用，可以长期储存。它的缺点是热学性能比较差。 除非膜层非常厚，否则其“u”值只是溅射法“LOW-E”镀膜玻璃的一半。如果想通过增加膜厚
2、 来改善其热学性能，那么其透明性就非常差。2）离线真空溅射法：离线法生产LOW-E玻璃，是目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀 膜技术。用溅射法可以生产“LOW-E ”玻璃的厂家及产品有北美的英特佩公司的 “LnplusNetetralR”,PPG公司的Sungatel00，福特公司的SunglasHRS等。和高温热解沉积法 不同，溅射法是离线的。且据玻璃传输位置的不同有水平及垂直之分。溅射法工艺生产 “LOW-E ”玻璃，需一层纯银薄膜作为功能膜。纯银膜在二层金属氧化物膜之间。金属氧化 物膜对纯银膜提供保护，且作为膜层之间的中间层增加颜色的纯度及光透射度。垂直式生产 工艺中，玻璃垂直旋转在架子上
3、，送入10-1帕数量级的真空环境中，通往适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体02、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并 在阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源， 在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。其中，电子在电场和磁场的共同作 用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子;正离子在电场的作用 下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形 成均匀一致的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜，必须使用多个阴极， 每一个阴极均是在玻璃表面来回移动，形成一定的膜厚
4、。水平法在很大程度上是和垂直法相 似的。主要区别在玻璃的放置，玻璃由水平排列的轮子传输，通过阴极，玻璃通过一系列销 定阀门之后，真空度也随之变化。当玻璃到达主要溅射室时，镀膜压力达到，金属阴极靶固 定，玻璃移动。在玻璃通过阴极过程中，膜层形成。目前，国产和绝大部分进口磁控溅射镀 膜生产线的目标均是以镀制单质膜和金属膜为主的阳光控制膜玻璃。这类由于有多种金属靶 材选择，及多种金属靶材组合，因此，溅射法生产“LOW-E”玻璃可有多种配置。在颜色及 纯度方面，溅射镀也优于热喷镀，而且，由于是离线法，在新产品开发方面也较灵活。最主 要的优点还在于溅射生产的“LOW-E”中空玻璃其“u”值优于热解法产品的“u”值，但是它的缺 点是氧化银膜层非常脆弱，所以它不可能像普通玻璃一样使用。它必须要做成中空玻璃，且 在未做成中空产品以前，也不适宜长途运输。
