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1、P/N 212-29916多通道X-射线荧光光谱分析仪MXF-2300(P/N 205-78820-91)使用手册岛津公司表面分析和半导体设备部日本神奈川县为使用户充分理解包括本公司设计的大量专门技术，这本书详细描述了系统的原理和结构，因此，我们殷切希望用户除使用外，不要把本说明书转让、销售、或教授其内容给第三者。安全使用设备工作时，产生伤害人体的X-射线和高电压，为了安全使用仪器，应注意下列事项：X-射线病的防治1、该系统符合“电离辐射防护规定”（1972年9月30日劳动部颁布的41号法令）中规定的“X-射线装置”。在使用该系统时，应采取法规规定的必要措施（如在日本）。2、为防止X-射线的泄
2、露，系统主体全部用铁板盖密封，除前面左门在正常操作时需打开，其他盖均不需打开，而且除该门以外，所有盖板均用螺丝固定安装，如果一些盖必须打开时，务必在打开前停止X-射线的生产。特别是在X -射线工作期间，当盖板的螺丝被卸下时，装在测角仪右盖上的连锁装置将自动关闭X-射线发生装置。3、当操作控制系统的运行不正常时，不要强行打开进样口的盖，或X-射线光闸，如果必须打开，在打开前必须关掉X-射线发生装置。触电防护从X-射线发生装置的高压变压器到X-射线光管的高压部分，均具有防触电结构。但是，不管怎样，卸下高压电缆使高压电极暴露，可能引起触电事故，当取下高压电缆时，应关闭X-射线发生装置，并等待5分钟以
3、上。另外，为了避免错误接通电源，应采取适当措施，例如在开关部件上贴上警告。 由于仪器使用高压气体，在开始使用仪器前，必须阅读下述“高压气体操作注意事项”使用高压气体的注意事项岛津公司科学设备部感谢您长期惠顾岛津公司。我公司的一些产品必须使用高压气体，而对其防护措施来讲，最近的要求比以前更加严格。鉴于这种情况，您虽已实施检查，不管怎样必须再检查一次，以进一步证实下述事项，并特别注意高压气体的操作。另外，在使用高压气体时：1，使用容量在300m3以上的气瓶时比须得到法律允许；，在常温下使用压力大于10kg/cm2的仪器为高压仪器，必须有符合法律的使用通知单（例如在日本）。请参照高压气体管理法、液化
4、石油气规则及普通气体安全防护规则，和消防法令。使用防护措施1、 将气瓶安装在室外通风良好的地方，避免阳光直接照射，并用管路将气体引入室内。特别是液化气体，这样做符合法律规定。2、 注意绝对不能使气瓶温度高于40，绝对不能在气瓶周围2m范围内有名火。3、 使用高压气瓶的地方应特别注意通风，在开始使用之前用肥皂水或类似的方法检查，证实无气体泄漏。特别是使用可燃气体（乙炔、氢气、丙烷等），助燃气（氧气、一氧化二氮等），使用这些气体的仪器周围5m范围内，不得吸烟或有明火，此外还应配备有效的灭火气。4、 气瓶应用绳子系牢，以防突然倾倒，绝对不能让液化气瓶（乙炔、丙烷、一氧化二氮等）平着躺下。5、 当使用
5、乙炔气体时，使用的气体减压阀必须是乙炔气体减压阀，乙炔气体的管路不得使用铜、银、水银（包括其合金）等，否则如果形成乙炔金属化合物，受到冲击会发生猛烈爆炸。6、 当使用氧气瓶时，必须使用无油减压阀。如果与氧气接触的管路内表面附着有油，该管也不能使用。7、 当使用结束时，应关闭气瓶的阀门。8、 每隔三个月或稍长的时间检查一次耐压的性能。9、 配备“氢气操作注意铭牌”（铝粘合板），我们现正着力生产比以前销售的更好的铭牌。如果你方特别需要，通知我方主管人员，将免费向你们提供。目 录1. 原理和结构.1-11.1测量原理.1-11.2X射线管1-21.3X-射线管冷却系统.1-31.4高压变压器.1-4
6、1.5X-射线功率控制器(PCX-16)(参照图1-3).1-41.6可控硅装置.1-51.7照射室.1-51.8固定分光器.1-71.9扫描器.1-91.10检测器.1-101.11恒温单元.1-131.12送样器.1-141.13真空管路.1-151.14样品盒.1-161.15转台.1-171.16检测器气体管路.1-181.17FPC气体密度稳定器GRX-161-191.18DPX-16操作盘1-201.19RX-16处理机1-251.20检测器高压供电单元HVX-161-311.21衰减器单元1-311.22供电单元1-321.23真空度稳定器1-322. 系统的启动. 2-13.
7、系统的终止和暂停. 3-13.1系统的终止.3-13.2i系统暂停.3-24. 分析 4-15. CWC-16. 5-15.1X-射线管冷却系统的功能简介.5-15.2外部冷却水的供水和排水接头.5-15.3外部冷却水.5-25.4注水.5-25.5运行.5-35.6停止.5-35.7循环冷却水简图.5-46. 调整. 6-16.1真空度的调整.6-16.2温度的调整.6-16.3检测器高压设定.6-26.4PHA水平6-36.5光闸.6-46.6转台.6-56.7送样器.6-66.8气流式检测器（FPC）.6-76.9检测真空漏气的方法.6-96.10CWC-16A.6-96.11分光器.6
8、-107. 故障诊断程序 7-18. 维护 8-18.1真空泵.8-18.2检测器.8-18.3转台.8-18.4送样器.8-18.5ii光闸.8-18.6真空阀.8-28.7CWC-16.8-28.8FPC气瓶.8-48.9过滤器.8-48.10防护罩.8-49. 备件. 9-19.1维修及调试工具.9-19.2用于两年的标准备件.9-19.3供MXF-2300型射线光谱仪和样品制备装置使用两年的易耗备件.9-29.4MXF-2100型X-射线光谱仪附加备件.9-3iii1. 原理和结构1.1测量原理当从X-射线管产生的X-射线（以下称为一次X-射线），照射在测定试样上时，试样中所含的元素产
9、生一个具有特定波长的X-射线（以下称为特征X-射线或荧光X-射线）。由于试样中含有许多种成分，所以激发出的X-射线是一束各种X-射线的混合光。这个激发的X-射线进入装在试样周围的单色器中。每一个单色器设置成为对应于某一特征的X-射线，因而，如果混合X-射线进入单色器，经过单色器晶体的反射，只选择对应元素的特征X-射线。该射线然后进入连接在单色器上的检测器中，反射的X-射线强度正比于对应元素成分的含量。这样用检测器测量一段恒定时间内检测到的X-射线的量之后，计算而得到对应成分的浓度。这台仪器具有同时检测、测量和记录各种元素X-射线的能力。 转盘 探测器高压电源HVX-16 操作面板 电源供给单元
10、PUX-16 冷却水供给单元 配电盘 处理器RX-161-1图.1-1 X-射线荧光分析仪外观图1.2 X-射线管X-射线管（图1-2）垂直的安装在主机的中心。该射线管由美国VARIAN Co.公司制造。通过加热灯丝产生的热电子，在数万伏高压下加速，当热电子撞击靶金属时（以下称作靶），从靶产生连续波长的X-射线（以下称作连续X-射线）和靶金属的特征X-射线。两个混合的X-射线束称为一次X-射线。一次X-射线穿过X-射线管下端0.075mm厚的铍窗，照射在被测定的试样上。由于该X-射线管的靶金属是铑，因而一次X-射线是含连续X-射线和特征X-射线（RH-K，RH-L）的混合X-射线束。Rh-K和Rh-L射线能分别有效的激发试样中的重元素和轻元素。当热电子束轰击靶时，99%以上的动能变成了热能并加热靶，因本射线管输出功率为4kw，靶也被加热大约4kw。为防止靶金属熔化，必须冷却靶。由于加在靶金属上的电压为40或50KV，冷却的液体必须是绝缘体。所以靶用由X-射线管冷却系统提供的循环纯水进行冷却。由于热辐射也加热靠近靶的X-射线管部分，因而X-射线管也用循环水冷却
