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1、COMSOL Multiphysics 等离子体模块介绍低温等离子体这一概念的涵盖相当广泛，它融合了流体力学、化学反应工程、物理动力学、 热量传递、质量运移，电磁学等众多学科。COMSOL Multiphysics新近推出的等离子体 模块，就是专门用来处理这一类问题的数学工具，它可以方便的处理在众多工程领域内都非 常常见的非平衡放电问题。等离子体模块内建了多个建模界面，用于仿真那些最为常见的等 离子体反应器类型，包括感应耦合等离子体(Inductively Coupled Plasmas, ICP)直流 放电(DC Discharges),微波泵浦放电(Microwave Plasmas)，电
2、容耦合等离子体 (Capacitively Coupled Plasmas, CCP )。如果能够模拟等离子体和外部电路的相互作用，那对于全面分析一个放电特性是非常有意义 的。COMSOL的等离子体模块不仅提供了相应的工具，可以直接添加电路元件到1D, 2D 或者3D的COMSOL模型中；而且支持直接导入一个已经做好的SPICE电气连接表 (netlist)到 COMSOL模型中。在等离子体化学方面，COMSOL支持用户从文件导入气体碰撞横截面的数据，然后模拟化 学反应；也支持用户直接在COMSOL模型中添加化学反应式以及相应的物质种类，从而完 成直接建模求解。至于等离子体物理本身那些错综复杂的多物理场之间的耦合，不用担心， COMSOL Multiphysics的等离子体模块会自动处理并给出最终结果。应用领域： 电感耦合等离子体 微波等离子体 直流放电 电容耦合等离子体 介质阻挡放电 照明 等离子体显示板 国土安全 有害气体破坏 等离子源 离子源 蚀刻技术 半导体工艺等离子体清洗过程的多物理、多尺度模拟
