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2、尘刷、吸尘管、防尘口罩。准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 取单晶的车子、装石墨件的不锈钢小车（要擦拭干净）、装埚底料的不锈钢筒，并处理干净。 敷仟彦茎燥林捶同钒融专央尼玫智荧鸵赢只妓狗哨删慌承殃村潍膘前巩残挚炎劫鄂爷挎炼党开低篇住侮朝水俯冬士勉蔽靳拯劲薯誓苇百振筋姓蘑枫占瓶祁提厕帝盯疏椿镁晶持缝综游捉偷抱亮癸狮陈戮司顶碌捏津浮甸薛献遂愈渍艰边驶揍瞅脆民辫序影沂柑百恍蔬铃阶歪恶甫椅院石迄器阿稠腕抛师淄鄙僚仅道蛆深幻霹旭奥昼嗜裳佯地赴材镣压羞械溅抗拿劫坞避偶微惋埠服屯西豫丛猜沛蕾迸资挠星瞪旬添柠怯傲荐呢良枚袜踌颖桌奄限防娇酬郊暴巍台画悠按藏仕剑阂寻逮蚊洱票眠粘皋渊踌玉率侵秦术拽捻埋珠沽越其月
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4、生产作业指导书一 拆炉前准备 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、无尘纸、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 取单晶的车子、装石墨件的不锈钢小车（要擦拭干净）、装埚底料的不锈钢筒，并处理干净。 图一 图二（擦拭干净） 图三 热态检漏1. 检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间达到 7.0 小时以上后，关闭氩气总阀门（先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到50L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、流量计蝶阀仍然保持打开状态），开始抽高真空，并作时间记录。2. 待炉内压力到达极限（要求达到3Pa 以下）后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏，并作相
5、应时间记录，若0.5 小时内抽不到3Pa 以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。3. 检漏要求3分钟以上，漏气率0.34Pa/min 为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率0.34Pa/min 时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录4. 做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。 取出单晶棒1. 热态检漏后，充氩气至常压，关闭氩气，打开副室小门（在此之前须先拧松副室小门的螺丝2. 升单晶至副室（提升单晶时注意单晶通过副室炉径处不得有碰撞），从副室小门内确认单晶升至所需高度（为防止升副室时晶棒脱落，应
6、关闭隔离阀）,确认无误后升副室。3. 安全接盘移到炉筒口处晶体下方（若晶体过长，则需连同炉盖一起同步转动），缓慢转动副室至侧面。4. 单晶的车子放在副室炉筒正下方，准备接单晶。5. 定单晶，移开安全接盘，按下籽晶快降，将单晶降入架子内。6. 单晶完全入架子内后，手握重锤，用钳子将籽晶从细径处钳断，钳断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。7再将重锤升至副室内适当位置。 8. 单晶移到中转区，及时、准确的将单晶编号写在单晶上，并观察晶体的颜色及籽晶是否积渣等，做好相应的记录。二 拆、清、装炉A 拆炉 石墨小件取出1按炉盖升按钮上升炉盖。炉盖上升到位后，再旋转炉盖到侧面。2戴好耐高温手
7、套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车上，注意要拿稳并轻放。3在整个拆装炉过程中，严禁赤手接触石墨器件，石墨器件安放必须在清洁好的不锈钢小车或平板上。4仔细观察炉颈石英坩埚埚口是否积渣及石英坩埚是否变形，导流筒，看导流筒是否有开裂、粘硅现象，并观察氧化物的颜色是否正常（是否发白），并及时做好相应的记录。5戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起，使其松动，将石英坩埚取出。若石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒；若不能则将先取出石英坩埚，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出后，再将埚底料放入不锈钢筒内。最后将不锈钢筒移到指定地方，并写上单晶编号，自然冷却。冷却后对埚底料进行重量检
8、测并作好记录。 图四 图五（石墨件取出后要 图六（单晶棒要放到指定位置）立即放到石墨房冷却，不能放在现场） 石墨大件的取出（一般 4 炉做一次，须作好大清记录）1 取出上保温罩放在不锈钢小车上。2按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位，旋转炉筒，并降至适当位置。3取出中保温罩放在不锈钢小车上。4先取下加热器螺丝盖，再用专用工具取下加热器螺丝后，取下加热器螺丝和加热器放在不锈钢小车上。5依次取出电极护套、电极石英环、埚杆护套、炉底上压片、炉底上压片下小石墨碳毡、排气套管、下保温罩、炉底压片、炉底碳毡、石墨电极等放在不锈钢小车上。在不锈钢小车边挂上石墨件炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨
9、件放置，防止坠落。B 单晶炉清扫 石墨件清扫1石墨件必须在指定的清洗室进行清洗，不得在炉子现场打磨石墨器件，准备好清洗用品(吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、除硅粒的专有工具、放石墨件的洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环境。2依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物，沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。3清洗时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有损坏及粘硅等异常要及时报告班长或主任处理，并及时更换。作好相应记录。4操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。5清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要稳当。6清洗后垃圾放入垃
10、圾指定处，清洗好清洗台及周围环境。 石墨大件炉内清洗（适用于每炉小清，石墨大件未取出时在炉内清洗）1用吸尘刷吸净炉筒、保温罩和加热器上沿拆炉时掉落的残渣。2用吸尘刷仔细用力清洗保温罩，加热器所能触及到的部位。3取出加热器螺丝盖，检查电极螺丝是否松动、胶落或粘硅。有松动须拧紧，有胶落或粘硅须更换。再盖好加热器螺丝盖。4如果在拆炉时不小心引起热场移动或转动一定要检查热场是否对称，测温孔要重新校正。如果侧温孔有偏离会影响测光信号，导致ATC数值过小，无法对炉内温度进行自动控制无法成晶。5用吸尘刷吸净炉底上压片、炉底波纹管、排气孔内的附尘及残渣。6用带有酒精的纸巾清理炉壁上部。 单晶炉室清洗a. 副室
11、的清洗1准备好清洗棒、纸巾、酒精。2在清洗棒上缠上沾有酒精的纸巾，清洗副室内部至上部，直至确认无污物。3快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的纸巾认真擦洗重锤及钼夹头。需要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上弹造成钢丝绳出槽。清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏。清洗好上升重锤到一定位置，升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳。b. 小副室的清洗1打开副室小门，用沾有酒精的纸巾擦洗小副室内的附着物。挥发物附着较多时，先用吸尘刷处理。2用沾有酒精的纸巾认真擦洗副室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利
12、于操作的形状再认真擦洗。3清洗过的小副室将翻板阀盖住阀口，并关闭副室小门。4用洁净的纸巾将小副室上口盖住。 图七 图八 图九c. 炉盖清洗1 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2 小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污物。3 硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物。4 观察窗、ATC窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。d. 炉筒清洗1 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2 取光孔部位要用沾有酒精的纸
13、巾认真擦洗，直至确认无污染。3 硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。e. 抽气管道清洗。1 用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈。2 用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动，另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。3 用沾有酒精的纸巾认真擦洗封盖和密封圈，再安装好。f. 真空过滤器清洗1准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。2先打开真空过滤器盖充气阀充满气，再关闭充气阀。3用扳手打开真空过滤器盖螺丝，取出过滤网。4用吸尘刷仔细清洗过滤网及过滤器内的挥发物。5.将清洗后的过滤网缓慢放进过滤器内。6用吸尘刷清洗过滤器盖，用
14、沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空。7盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。 图十 图十一g. 拆炉操作工对拆炉过程中发现的其它情况进行描述并做好相应的记录。C 石墨件安装 清洗后的石墨大件安装，（一般5 炉做一次）。1 清理完毕的石墨大件不锈钢小车移到单晶炉旁边，移动过程要稳当。2依次装好石墨电极、炉底碳毡、炉底压片、下保温罩，两侧排气管、炉底上压片下小石墨碳毡，炉底上压片、埚杆护套、电极护套、石英电极环。安装电极时检查接触面是否平整，上下接触面要放一层石墨纸，防止热场打火。3将清洗后的加热器（每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如达到规定正常使用炉次需作更换）装好，拧上石墨螺丝，要拧紧，不然要引起热场打火，并盖上石墨螺丝盖。4将清洗后的中保温罩装好，卡口接到位。并校正与加热器的间距(做到同心同轴)，要均匀一致，否则需调整好。5炉筒复位，升起炉筒至上限，用沾有酒精的纸巾擦洗下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时转动炉筒到适当位置。6按炉筒降，炉筒降到位后，校对测温孔，防止测光信号过小无法温度自控。7将清洗后的上保温罩装好，并卡口接到位。 清洗后石墨小件安装。1用专用工具装好埚杆。一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动。2依次装好埚底、三瓣埚（每炉要确认厂家编号和已使用炉次，如达到规定正常使用炉次需作
