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1、E3000 通用检漏仪的工作原理仪器内部元件及功能介绍：前级泵膜片泵在Ecotec E3000中用作前级泵。在使用说明书中给出此泵的全部参 数和进一步的信息。由前级泵产生的前级压强对于涡轮分子泵的运行和通 过吸枪管线吸入气体是必须的。222涡轮分子泵（7MP）装在Ecotec E3000内的是带有上气流压缩级的涡轮分子泵。涡轮分子泵产 生质谱仪运行需要的高真空，压缩级允许相对高的前级压强而不影响质谱 仪中的极限压强。涡轮分子泵有一个侧向接口。这样一部分进入气体通过 涡轮分子泵抽入膜片泵的第一级。这个气体负载可防止水蒸气积累在膜片 泵中。Turbomoleiilar Drag Pumps TPD
2、021-0J wittiTC 1001 High-vactruni flange2 Fore-vacuiim ftange4Intermediste suction8Electronic Drive UnitTC 100质谱仪质谱仪Transpector中包含离子源、分离器和离子收集极。离子源将中性气 体粒子电离产生离子束。带正电荷的离子被加速引出离子源进入四极场。 这个场起到滤质器的作用。只有经系统调整的离子才能满足分离条件到达 离子收集极，由静电计放大器测量其电流。这个电流是随后用来计算漏率 的输出信号。离子源中装有两个阴极，如一个损坏另一个将自动接入工作。四极质谱仪电源这个组件产生质谱仪
3、运行所需要的电压和电流。质谱仪的故障由控制组件检出和给出信号。控制组件监测质谱仪电源。功能说明开机，仪器进行自检，膜片泵开始运作，为分子泵及质谱室提供前级真空，同时，第二级也 为吸枪提供对外界的吸力。当真空度达到分子泵启动条件后，分子泵开始运行，为四极质谱 仪提供高真空。在前级真空和分子泵达到额定转速后，仪器开始点灯丝，在灯丝进入工作后， 仪器便处于正常测量模式！在吸枪对外界吸入气体后，通过流量分配器1 时，由于质谱室内处于高真空，因此，在经过 此分配器时，被吸入的气体将进入质谱室，由于流量限制器，所以只有特定分子量（ 2 200am u）的气体才能进入，其余气体将有膜片泵排出。当冷媒气体进入质谱室后，将被四 极质谱仪灯丝进行电离，使产生的离子在电磁场进入四极杆。四极杆是一加电场及射频电压 的特殊部分，当离子在四极杆作旋转运动时，只有所需检测的冷媒气体才能顺利通过，直至 收集极，其余将被四极杆过滤。当收集极接受到离子流后，四级质谱仪电源将对其信号放大， 最终转换成相对应的漏率值。
