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1、Agilent 4294A阻抗分析仪使用手册华中科技大学激光技术国家重点实验室2002年1月目录目录2一、介绍3二、基本原理：4三、Agilent4294A的主要技术指标：4四、前/后面板、硬/软键介绍 5五、测量方法7、介绍Agilent 4294A精密阻抗分析仪可以对各种电子器件（元件和电路）以及电子 材料和非电子材料的精确阻抗测量提供广泛的支持。它是对电子元件进行设计、 签定、质量控制和生产测试的强有力工具。它所提供的性能和功能对于电路设计 开发人员将获益匪浅。此外，Agilent 4294A的优良测量性能和功能为电路的设计 和开发以及材料（电子材料和非电子材料）的研究和开发提供强有力的
2、工具。它 具有： 在宽阻抗范围的宽频率范围内进行精确测量 强大的阻抗分析功能 便于使用并能用多种方式与PC机配套电子器件：无源元件：二端元件如电容器、电感器、铁氧体珠、电阻器、变压器、 晶体/陶瓷谐振器、多芯片组件或阵列/网络元件的阻抗测量。半导体元件：变容二极管的C- V （电流一电压）特性分析；二极管、晶体管或集成电路（IC）封装终端/引线的寄生分析；放大器的输入/输出阻 抗测量。其它元件：印制电路板、继电器、开关、电缆、电池等的阻抗评估。材料：介质材料：塑料、陶瓷、印制电路板和其它介质材料和损耗切角评估。磁 性材料：铁氧体、非晶体和其它磁性材料的导磁率和损耗角评估。半导体材 料：半导体材
3、料的介电常熟、导电率和C- V特性。#、基本原理:Agile nt 4294A阻抗分析仪所采用的是自动平衡电桥技术。如图所示：可以将 平衡电桥看作一个放大器电路，基于欧姆定律V=I*R进行测量。被测器件（DUT）通过一个交流源激励，它的电压就是在高端H监测到的电压。低端L为虚拟地，电压为0V。通过电阻器R2的电流|2跟通过被测器件（DUT）的电 流I相等。因此，输出电压和通过被测器件（DUT）的电流成正比，电压和电流自动平衡，这也就是它的名字的由来。V2 I2R2ZV，心12V2在实际应用中，为了覆盖更加大的频率范围，通常用一个null-detector和modulator来代替电路中的放大器
4、。当然，这只是一个基本的测量原理电路，为了 得到精确的结果，还有许多的附加电路。三、Agilent 4294A的主要技术指标参数指标工作频率40Hz-110MHz 7 mHz 分辨率基本阻抗精度 0.08%Q精度在Q=100,fADAPTER-NONE，选择分析仪工作在没有适配器的环 境下（因为我们所购买的仪器中没有需要补偿的适配器，所以这里就不介绍适配器补偿的步骤了）。d）指定测量环境i. 初始化【Presetii. 选择要测量的参数：【Meas】（如|Z卜D等，这里可以根据你所要测量的量来选择，选择完成后在A、B两个通道中就会显示这 两个参量的曲线）iii. 设置扫描参数的频率【Sweep
5、 -PARAMETER-FREQ，然后设置扫描方式TYPE（这里根据所选择的参量不同会有不 同的方式，如线型（LIN）、对数（LOG）等，Start Stop 设置扫描范围，或者用【Center】 Span是一样的效果iv. 【Source设置频率（CW频率），测试信号电平，和直流偏置等v. 【Bw/Avg 】-BANDWIDTH设定带宽e)夹具补偿(1) Cal -FIXTURE COMPEN(2)将夹具的两电极开路，按OPEN，当OPEN on OFF中的on大写 时开路补偿完成(3)用短路器将两电极短路，按SHORT，当SHORT on OFF中的 on大写时短路补偿完成，然后移开短路器
6、(4)如果需要更精确的补偿，可以选一个参数已知的器件，用上 述方法进行负载补偿，一般情况下不需要f) 测量并观测结果，在这里可以根据不同的需要进行不同的操作i. 夹好被测器件ii. A激活A通道，Format选择一种显示格式，Scale Ref 选择显示比例iii. 【B激活B通道，Format】选择一种显示格式，Scale Ref选择显示比例iv. 【Marker】标记一个点，并显示该点的数值，用旋钮可以改变标记点的位置v. Copy打印，Save储存 上面所介绍的只是一个基本的测量步 骤，还有许多步骤和功能因为不常用被忽略了，比如：电缆补偿、等效电路分析、 BASIC程序设计、远程控制等 等。
