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1、热蒸发镀膜操作细则一、进入房间：1、换拖鞋；穿上防尘服方可进入镀膜间。2、进入房间，打开房间总电源，照明和插座的电源、打开排气扇。3、打开镀膜间后面的电源和水源。二、镀膜准备工作：1、整理好基板（在进入房间后，在开始用镀膜机前，先整理好基板，这样可以减少其空室的在 大气压状态下的时间，有利于机械泵和分子泵抽其空，原因 /暴露在大气压下时 间长的话，其空室内壁上的蒸镀材料吸收空气，这个过程比较容易，尤其是在空 气湿度较大的空气下；但是放出空气就比较难了，在抽真空的工程中一点一点的 排出，不利于抽到高真空。）2、打开镀膜机的电源，打开真空检测显示真空度，看是否正常（一般在使用完 镀膜机，要抽至低其
2、空，利于保养），观察是高真空还是低真空（高真空状态下 电离规工作，低真空电阻规工作）注意：电离规工作的时候不能打开放气阀，否 则会烧坏电离规/如果是在高真空即电离规工作的时候可以关闭真空检测显示在 开放气阀，也可以把自动改为手动，电离规切换到电阻规的时候才可以开放气阀。3、开放气阀，直到真空室们自动打开。（这时关闭放气阀，以免忘掉），注意：凡是遇到旋拧的步骤，不要拧的太紧，适可而止。4、（可选步骤）换钨丝，要夹紧才行。如果这步选择的话要重新摸索条件（包括 除气条件和蒸度条件，才能正式放入样品）。5、整理铝条（长久放置的铝条表而可能附着一层氧化铝，用丙酮擦掉）；把整理 好的铝条放在钨丝上（尽量放
3、在中间，钨丝中间的温度较高）。检查挡板是否正 常，放上挡板。6、把基板放在基板的夹槽里。关上真空室。三、镀膜：（注意：在完成每一步之后，要观察一会无异常后在进行下一步的操作）1、开机械泵2、无异常后开预抽阀3、无异常后开角阀直至1Pa左右。4、关角阀5、无异常后关预抽阀6、无异常后开前级阀7、无异常后开分子泵电源预热（约十秒）8、无异常后开分子泵9、无异常按fun/Date10、无异常后开闸板阀直到真空度达到10E-4为佳。11、开始蒸镀：打开蒸发舟电源，启动，缓慢加电流小于等于除气最大电流A1， 待除气完毕（标准是真空度不在降低，或者是时间12、除气完毕要把电流调为0，待抽至高真空10E-4
4、13、打开挡板，把电流加到蒸发电流A2（使蒸发速率保持在4A/s的电流）等达 到所需膜厚度把挡板加上。保持电流不变，把剩余的铝条蒸完，以便下次在用（用 时间控制t2）14、把电流调为0，停止蒸镀，关闭蒸发舟电源，关闭闸板阀，无异常后关闭分 子泵，直到分子泵的转速变为0。关闭分子泵电源，直到听到“滴”声。15、关闭前级阀，无异常后关闭机械泵。蒸镀结束。16、把真空度检测显示屏关闭，开放气阀，打开真空室拿出样品。然后在把真空 室抽至低真空（10Pa左右）以便保养，这个过程中可以打开烘烤电源对真空室烘 烤。摸索除气条件和蒸度条件：金属的表面附着空气和水分，在蒸镀前先除气。1、把挡板、真空度检测显示屏和监控屏打开。2、缓慢加电流，保持蒸镀速率为0的前提下尽量加大电流做为除气最大电流A1， 记录真空度至最低的时间t1；3、把电流调为零，等真空度上升后，在缓慢加电流，让蒸发速率保持在4A/s此 时的电流为蒸发电流A2；等到达所需膜厚度后，开始计时，直到速率为0，为 t2。
