一.定义：表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小例如40/20（或40-20） 前者限制划痕大小，后者限制麻点大小道子、亮路都统称为划痕斑点、坑点、点子都称为麻点规定长与宽的比大于4： 1的为划痕；长与宽的比小于4： 1的为麻点当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其等 效直径以内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径划痕：以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准注意：美军标未指 明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度，只能以实际观察样版为标准这里的划痕级数就是通常的划痕号数，标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级§ SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准，前5条是美军标的规定，后两条是公司内控标准以下 逐条讲解：1. 当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时，元件不合格 例如：元件的表面质量要求为60-40，则代表元件的划痕必须W60#，如果元件有〉60#的划痕，则元件 不合格。
2. 当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，但元件存在最大划痕时，所有最大划痕的长度之和应不 超过元件直径的1/4例如：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕它的等效直径为20mm1/4D 为 1/4X20=5mm最大划痕的长度和为：3mm + 3mm=6mm6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4所以元件不合格3. 当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直 径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数的一半例：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，元件上有2条2mm的60#划痕，3 条4mm的40#划痕它的等效直径为20mm1/4D 为 1/4X20=5mm最大划痕的长度和为：2mm+2mm=4mm4mm<5mm符合 2 条但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为:1. 60#划痕长度为（2 + 2）； 40#划痕长度为（4+4+4+4）2. 60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60XC2+2） /20；40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40XC4+4+4+4） /203. 所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：[60XC2+2） /20] + [40X（4+4+4+4） /20=36元件最大划痕级数为60； 60的一半为60/2 = 30） 36>30；因此，元件不合格。
4. 当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，且元件不存在最大划痕时，所有级数的划痕乘以划痕长 度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数例①：元件为成0,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm, 1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm, 2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：[50x（2+2） /10] + [40x（3+2+2）/10] + [20x（2+2）/10] + [10x10/10]=66元件最大划痕为60# 66>60；因此，元件不合格5. 当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个 yE6.35mm面积的区域，不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕例：表面质量指标为20-10,无20mm,在如图（1）所示的区或有2条长1mm和2条长0.5mm的10#划痕它符合 5.1.1;5.1.4 （无需考虑 5.1.2;5.1.3）但它不符合5.1.5条元件不合格6•对于圆形元件不允许夜0#级数以上与直径相等的划痕对于方形元件不允许有0#级数以上贯穿元件 的划痕。
麻点：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径，规定以1/100mm作为计量单位 如果麻点形状不规则则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径注意：美军标的麻点与划痕不同，麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的，50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点）1. 当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时，元件不合格例：元件为无20mm，质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格2. 每2 0mm直径上只允许有1个最大麻点例：元件为无20mm，质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格3. 每2 0mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍例：40mmX40mm的元件，质量指标要求为60-40,其中一个无20mm的区域有40#点子一个，20#点 子一个，10#点子一个，同时在另一个贬0mm区域中，20#点子2个，10#点子4个，5#点子1个§ 4.当麻点质量要求为10或更优等级时，任何两个麻点的间距必须大于1mm例:元件40mm x 40mm的元件，质量指标要求为20-10,有两个5#的点子，点子之间的距离为0.8mm.0.8mm<1mm元件不合格§ 5.小于2.5um的麻点略去不计。
§ 6.当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小§气泡和包络：包络当作气泡考虑依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样，单位也相同不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值气泡的允许值与麻点相同但气泡和包络必须与麻点区分开来，单独评价。