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1、10万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度1828 oC （十万级、三十万级）JGJ71-901次/班湿度4565%（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班换气次数十万级$15次/小时JGJ71-901次/月静压差$5Pa （不同洁净级别洁净室（区）之间）JGJ71-901次/月$10Pa （洁净室（区）与室外）$5Pa （洁净室（区）之间与非洁净室（区）尘埃粒子$0.5um$5卩mGB/T16292-19961次/季十万级W3500000 个/maW20000 个/ma浮游菌十万级W500个/maGB/T16293-19961次/季沉降菌十万级W10个/皿GB/T16
2、294-19961次/周100 级和 10000 级洁净区环境监测要求监测项目监测仪器技术要求测量位置监测频100级10000 级温度（C）温湿度计18-2818-28洁净区各室1次/班湿度（%）温湿度计45-6545-65洁净区各室1次/班风速(m/s)风速仪水平层流$04送风口1次/月垂直层流$0.3换气次数（次/h）$20静压差（Pa）微压差计$5$5不同洁净区之间1 次/月$10$10洁净区与室外尘埃粒子 数（个/M3）尘埃粒子计数器$0.5umW3500$0.5umW35000洁净区内关键操作点及100级超净工作台1次/季$5um0$5umW2000沉降菌落数（个/皿）培养皿W1W3洁净区内关键操作占1 次/周浮游菌落数（个/ ）浮游菌采集器W5W100洁净区内关键操作点及100级超净工作台1次/季
