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1、TRIITFFH全成信雷子（深圳）有限公司片生走流程晦H寺管控要求斡膜生走要求1!1生走操作要求1T蚀刻2、生走及品巽常虔理要求A、斡膜前虔理复能遗酸洗不允遗微会虫酸洗澧度控制在3-5 %。且逵料板及前虔理彳爰之板不可以盛重氧化及歹勤缪。B、影彳爰之板检畤如有NPTH孔破孔现象则需用月缪粒塞住 以免在虫刻彳爰NPTH孔内上金同。A、生走前检查雷各槽液位是否正常，金国槽及槽液位不可以 高於隔桎袋匚I。B. Sffiffig之金回球和球填充充,不可出现中空及低 於液位5CM以下。C. S生走前检查1飞巴及行车运行程序是否虔於原黑占状 态，自动添加系富充是否正常。D、各槽温度及桑水澧度需在管控要求范
2、圉内。A、生4前梭查各桑水缸及水洗缸液位是否在范圉内。B、梭查各桑水段温度及桑水化澧度是否在范圉内。C、梭查喷嘴是否有堵塞现象喷盘撮重力及僖重力有照巽常。、自重力添加系统是否作正常。制前殳后十1 F鳞孔-1 r黑孔-1 F斡膜-A、制前菲林言殳言十和现行相反，出反字桑膜。且舄便於菲林扇分， 外屑片菲林以L1及L4面字檬展戢正片以G S面字檬扇分。B、正片菲林板遑防焊PIN孔殳言十舄掏空状熊，斡膜影彳爰舄封 孔状熊；板遑菲林黑色遑框满足W10MM，以便於斡膜和防焊生 邕C、菲林遑框上需分另琳票注C、S面罩面1面稹，且短遑以1MM 之箭檬注出板内最小S宽原泉距，以便生走管控。A、鳞孔彳爰梭如有孔塞
3、现象需用鳞金十将孔内之粉瘦及 巽物清除。且不得有刮僵及板面殛月蓼现象。B、鳞孔之孔位精率度必保持在北mil以内。C、孔壁粗糙度1mil且鳞孔孔彳里三0.3MM不可入三片鳞。A、黑孔彳爰之板若畿生卡板情形需重工畤，由卡板畿生槽段重新 重工，如於微触槽畿生卡板畤，由清）紫整孔槽始重工。B、重工不可超遗丽次（速首次生走共三次）。C、重工日寺若经去毛刷磨，不可超遗丽次（速首次生走共丽 次）。D、黑孔彳爰板面1阻小於200隔欠，且板面不可有殛碳、水E0、 刮僵及殛月蓼等A、斡膜生走因有不良退洗之板需重工黑孔，且重工次敷不得 超遗二次，重工板在短遢打缺口，重工一次打一侗。B、黑孔彳爰之板必及畤至斡膜存放，
4、斡膜收板彳爰必按先逵先出原则生走，所有板必在48小畤内生走完。C、斡膜生走完之板及畤至圜形1，且按先逵先出原则生走，所有板必在48小畤内生走完。D、前虔理及厘膜彳爰之板需以粘崖纸卷粘板遢殛碳，以免影生走品A、圈形雷彳爰之板首板除测量厚外，遢需用金十规莹西蜀 立孔逵行孔彳陛测量，以防止因4蜀立位置雷流高而走生孔径 偏小现象。要求所有孔彳陛表面虔理方式舄喷剧雷彳爰 之测孔彳比成品孔彳予胃大1.5mil其它表面虔理方式如 OSP,化孥金臬金等雷彳爰之测孔彳比成品孔彳予胃0.5milB、生走巽常虔理要求1、导同厚不足板虔理要求确认铜镀层偏薄后，记录镀铜层厚度（a）;查找工 罩客户要求镀铜厚度（b）,退
5、除板闻之所锡以正常流 程进入铜缸返镀铜，镀铜时间二X流程时间（镀铜a面积和镀铜电流密度不变）。（返彳爰需测会同厚）2、厚不足板虔理要求ffiS偏薄彳爰，按正常生产，烘斡温 度整舄50-60C，雷重工畤前虔理不遏清深，在微食虫 第二道水洗后，手动将板放入酸浸缸 按正常ffi 行眺。C、雷生走前必硝先FA，碓言忍生走参敷，合格彳爰方可 以FA参敷生走。D、雷生走畤板和板之相H&但不可入成型匾域， 且弛巴丽遑需上遑料。E、雷上下板畤燮手不可逵入成型匾，取板及插架燮手持 板遑垂直平穗，直上直下。A、蚀刻时线路密集一面朝下放板。B、已镀板必须在12小时内完成蚀刻。C、板在剥锡及烘干后收板时全部插架，且插
6、架方向需相 同，以料号虎遑向上作棠。蚀刻D、所有生产中有异常需重工的板必须插架，不可以叠板 放置，以防刮伤板面。E、食虫刻生走前必硝 FA，碓言忍宽及生B，合格彳爰 方可逵行生走。3、圈形雷流程及作棠参敷1）H形雷富泉基本生走流程2)各主槽目的、缸及管控缸名称目的缸物料缸程序换槽原率酸性除油去除会同表面的油 污，指印及有檄 物，避免彳爰走生 导国不良，除油蔓 能用酸，性，以免板 面的斡膜被浸食虫起 破，走生渗。SC 728除油蒯1、加入2/3体积DI水。2、根撮需求加入360L 酸性除油剂搅拌均匀。3、补DI水至标)隹液位， 开启循环系统搅拌均 匀。15 - 2万 ft微通遏弓鼠氧化蒯咬食虫
7、导同面，增强金同面粗 糙度，便於Sffi ffiKBffi基髓 会同的结合。SPSH2SO41、加2/3体积DI水。2、开启打气，缓慢加入AR 级.HSO 96L。.-.24 一3、加入 SPS144kg。4、补充DI水全标隹液 位。CU2+要求A、前虔理在二多果生走，且黑孔彳爰之板不可以遏微食虫生走，蔓遏酸洗，前虔理速度控制在2.5D.3M。B、曝光能量必硝控制在7满8殛。C、影黑占必硝控制在50-60%,影按正常生走做氯化ffiffloD、生走畤必硝先经遏首件碓言忍，首件未遏不可以生走。E、斡膜生走在摩膜彳爰用粘廛富氏卷粘板面碳粉，防止碳粉脱落污染底片及璘境。4）图形电镀线主槽参数控制（只
8、做参考）序号缸名称时温度控制项目控制范围最佳值1上、下板2水洗X22400 Lx2RT3彖府2400Lx2RTHNO 335-45%(v/v)40%(v/v)4高位水洗X22400 Lx2RT5镀锡5860X2222CSnSO425-30g/L40g/LH2SO4180-200 g/L190 g/LTC+SN Part A哈氏分析TC+SN Part B6预浸2400L18-30CH2SO48-12%10%(v/v)7除油2400L35-40CSC 728除油剂15-18%15%8水洗X22400LX2RT9微蚀2400L30-40CSPS60-100g/L80g/LH2SO430-50mL/
9、L40mL/LCU2+M25g/L微食虫速率40-60U10水洗2400LX2RT11酸洗2400LRTH2SO48-12%10%(v/v)12高位水洗X22400LX2RT13（予射镀铜5860X1520-25CCuSO4.5H2O60-90g/L75g/LH2SO4200 -240g/L220g/LCL-60-90PPM75PPMCU 400EX光泽剂哈氏分析偷注:各水洗缸每40KFT更换一次。5）食虫刻各缸缸程序缸名称开缸物料控制值开缸程序保养频率去膜（1000LT）NaOH （工业级）3-5% (v/v)在副槽加入2/3髓 稽的水，加入40Kg30kft2食虫刻（1200LT）蚀刻母液
10、Cu2+： 140-170 g/LCL-： 170-210 g/LPH 值：8.0-8.8 比重：1.2-1.23 温度：482C食虫刻速率：2.5-3.5MIL加入蚀刻母液，用蚀 刻子液，蚀刻盐分析 调整组份每周一次蚀刻子液氨水退 (1000LT)退锡液4171-LF酸富量：6D.5N加入退锡水母液至 液位每周一次备注：水洗缸每12hr换一次；退膜段每周产量小于30kft2时，每周换缸一次.6）食虫刻参敷管控缸名称温度控制顼目控制1范围最佳值分析频率补加频率去膜50土丸NaOH3-5%4%5次伏（白班三 次晚班二 次）自重加甫加及化甫加食虫刻482CCu+140-170 g/L155 g/L自重加甫加及化甫加CL-170-210 g/L190 g/LPH值8.0-8.88.4比重1.2-1.231.22退室温（不 可超遏40C）酸当量6).5N6.0化甫加偷注：1、以上所有作棠参敷舄板畤之晦畤参考参敷，研畿工程弗根之生走状）兄随畤作整亚修正!2、所有孔彳坐及路*甫值系敷待首批板生走彳爰再重新定羲。3、未注明之生走站别及参敷按现行SOP规范作棠。5）各重黑占站别梭项目及要求站别梭项目要求梭方法及工具原率黑孔阻值三200歇蔑用表首件及自主件板面殛碳不允目检/放大箓抽梭板面刮僵不允目检首件及自主件斡膜累页影不深不可有影不深氯化ffiffl及目检首件及每4小畤
