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(19 )中华人民共和国国家知识产权局clP( 12 )发明专利申请(10)申请公布号CN103090399A(43 )申请公布日2013.05.08(21 )申请号 CN201110347328.7(22)申请日 2011.10.28(71 )申请人无锡华润华晶微电子有限公司地址214028江苏省无锡市国家高新技术产业开发区信息产业科技园C座2楼(72 )发明人吴啸;冯金良;梁浩;范建超(74 )专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人臧霁晨(51) Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54 )发明名称硅烷尾气处理装置以及方法(57)摘要本发明涉及硅烷尾气处理装置及其处理方 法。该硅烷尾气处理装置具备燃烧筒，所述燃烧 筒具备：进气口，用于通入以硅烷气体为主要成 分的硅烷尾气；第一反应气体通入口，用于通入 第一反应气体；第二反应气体通入口，用于通入 第二反应气体；排气口，用于排出所述硅烷气体 与所述第一反应气体和第二反应气体反应之后的 气体，其中，上述第一反应气体通入口和上述第 二反应气体通入口分开设置，并且上述第一反应
