芯片厂废气处理工艺

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1、芯片厂废气处理工艺芯片厂在生产工艺中使用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中产生HF、HCl、硫酸雾等酸性气体。对于芯片厂企业在生产工艺过程中产生 的腐蚀性气体(如酸、碱性废气)的治理,目前大多企业采用液体吸收 法治理,采用液体吸收法治理该废气,关键在于废气净化设备的选择。 酸性废气治理通常采用喷淋塔,通过酸碱中和反应来净化酸性气体。芯片厂废气处理工艺说明生产车间酸洗池酸雾废气经风罩收集,经管道再进入酸性废气净化 设备,酸雾净化塔体放置二层填料层并配置二级水浴装置,并在循环水 池内加氢氧化钠(简称碱),以中和废气中的酸雾,酸雾处理塔的上端 喷头喷出吸收液均匀分布在填料上,废气与吸收液在填料表面上充分

2、接 触,由于填料的机械强度大、耐腐蚀、空隙率高、表面大的特点,废气 与吸收液在填料表面有较多的接触面积和反应时间。净化后的气体会饱 含水份经过塔顶的除雾装置去除水份后直接排放大气中。酸性废气净化设备喷淋塔工作原理喷淋塔净化原理是将气体中的污染物质分离出来,转化为无害物 质,以达到净化气体的目的。它属于微分接触逆流式,塔体内的填料是 气液两相接触的基本构件,塔体外部的气体进入塔体后,气体进入填料 层,填料层上有来自于顶部喷淋液体及前面的喷淋液体,并在填料上形 成一层液膜,气体流经填料空隙时,与填料液膜接触并进行吸收或综合反应,填料层能提供足够大的表面积,对气体流动又不致于造成过大的阻力,经吸收或

3、综合后的气体经除雾器收集后,经出风口排出塔外。酸性废气净化设备应用范围酸性废气净化设备广泛用于电子、化工、电镀、五金、铝材、电气、 医药、印染等机械加工行业中产生的有害废气,如:盐酸GCI)、氟化 氢气体(HF)、氨气(NH3)、硫酸雾(H2S04)、铬酸雾(CrO3)、氢氰 酸气体(HCN)、碱蒸汽(NaOH)、硫化氢气体(H2S)、福尔马林(HCHO) 等水溶性气体。南阳威尔奇环保设备有限公司是废气塔、电镀槽、酸洗槽、等产品专业 生产加工的公司,我厂作为生产环保设备知名厂家一直受到行业内广泛 关注.欢迎广大商客前来订购。南阳威尔奇环保设备有限公司的诚信、 实力和产品质量获得业界的认可。欢迎各界朋友莅临参观、指导和业务 洽谈。

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