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1、硅单晶腐蚀片1范围本标准规定了硅单晶腐蚀片的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮 存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于直拉法、悬浮区熔法（包括区熔中子嬗变和气相掺杂）制备的硅单晶研磨片经化学腐 蚀液去除表面损伤层后制备的酸腐蚀片和碱腐蚀片（以下简称腐蚀片）。产品主要用于制作晶体管、整 流管、特大功率晶闸管、光电器件等半导体元器件或进一步加工成硅抛光片。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 1550非本征半导体材料
2、导电类型测试方法GB/T 1555半导体单晶晶向测定方法GB/T 2828.1计数抽样检验程序 第1部分按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T 6616半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻率测试方法非接触涡流法GB/T 6618硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T 6620硅片翘曲度非接触式测试方法GB/T 11073硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T 12962 硅单晶GB/T 12965硅单晶切割片和研磨片GB/T 13387硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法GB/T 13388硅片参考面结晶学取向X射线测试方法GB/T 14140硅片直径测量方法GB/T 14264半导体
3、材料术语GB/T 14844半导体材料牌号表示方法GB/T 20503铝及铝合金阳极氧化阳极氧化膜镜面反射率和镜面光泽度的测定20、45、60、 85角度方向GB/T 26067硅片切口尺寸测试方法GB/T 29505硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法GB/T 30453硅材料原生缺陷图谱YS/T 26硅片边缘轮廓检验方法YS/T 28硅片包装3术语和定义GB/T 14264和GB/T 30453界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1表面光泽度 surface glossiness在规定的光源和接收器张角的条件下，样品在镜面反射方向的反射光光通量与标准陶瓷板样品在该 镜面反射方向的反射光通
4、量之比。光泽度值通常以数值表示，单位是Gs （光泽单位）。3.2表面反射率 surface reflec tivity在规定的光源和接收器张角的条件下，样品在镜面反射方向的反射光光通量与入射光光通量之比,其数值通常以百分数表示。3.3表面腐蚀晶胞 surface et ched unit cell硅单晶片的不同晶面腐蚀速率不同，腐蚀过程中晶胞的三维形貌发生变化后在硅单晶片表面形成的 图形。通过显微镜能够观察硅单晶片表面腐蚀晶胞的形貌并测量腐蚀晶胞的长、宽等参数。注：表面腐蚀晶胞的形貌强烈依赖于硅单晶片的晶向和掺杂剂浓度、化学腐蚀液性质、腐蚀工艺条件等。酸腐蚀和 碱腐蚀的硅单晶片表面腐蚀晶胞具有
5、完全不同的形貌，详见附录A。4牌号及分类4.1牌号腐蚀片的牌号表示方法参照GB/T 14844的规定。4.2分类4.2.1腐蚀片按腐蚀液的种类分为酸腐蚀片、碱腐蚀片两种。4.2.2腐蚀片按导电类型分为N型、P型两种。4.2.3腐蚀片按硅单晶的生长方法分为直拉（CZ）法和悬浮区熔（FZ）法两大类。4.2.4 腐蚀片按直径一般分为50.8mm、76.2mm、100mm、125mm、150mm和200mm六种。非标 准直径由供需双方协商。5要求5.1材料腐蚀片生产用硅单晶的导电类型、掺杂剂、电阻率及其径向变化、氧含量、碳含量、少数载流子寿 命及晶体完整性应符合GB/T 12962的规定。5.2电学性
6、能腐蚀片的导电类型、电阻率及其径向变化应符合GB/T 12962的规定。5.3几何参数腐蚀片的几何参数应符合表1的规定。表1中未列出的几何参数，可由供需双方协商。表1几何参数项目要求直径，mm50.876.2100125150200直径允许偏差，mm0.40.50.50.30.30.2中心点厚度，p m180180200250300500厚度允许偏差，p m101010101010总厚度变化a, p mW5W7W7W7W7W6翘曲度，p mW25W30W40W40W50W50a反射率要求比较高的酸腐蚀片的总厚度变化应不大于10p m,或由供需双方协商确定。5.4晶向及晶向偏离度5.4.1腐蚀片
7、的表面晶向为100、111。5.4.2腐蚀片的表面晶向的偏离度应符合GB/T 12965的规定。5.5基准标记5.5.1直径小于等于150mm的腐蚀片主、副参考面的长度和取向应符合GB/T 12965的规定。5.5.2直径为200mm的腐蚀片分有切口的腐蚀片和有参考面的腐蚀片两种，均无副参考面，有参考面 的用主参考面直径表征基准标记。切口大小和主参考面的大小、取向应符合GB/T 12965的规定。 5.5.3腐蚀片是否制作参考面，由供需双方协商确定并在合同中注明。5.6 表面质量5.6.1腐蚀片崩边的径向深度和周边边长应不大于0.3mm，每片腐蚀片上崩边总数应不超过3个。每 批产品中崩边腐蚀片
8、数应不超过总片数的3%。5.6.2腐蚀片不允许有裂纹、缺口。5.6.3腐蚀片表面应无刀痕、无划伤。5.6.4腐蚀片经清洗干燥后，表面应洁净、无亮点、无沾污。5.6.5电阻率不大于0.020Qcm的腐蚀片，表面允许有杂质条纹。5.6.6表面取向为100的酸腐蚀片，表面允许有轻微色泽不均，或由供需双方协商确定。5.6.7腐蚀片的表面粗糙度、表面光泽度、表面反射率的要求由供需双方协商确定。 5.6.8碱腐蚀片的表面腐蚀晶胞最大边长由供需双方协商确定。5.7边缘轮廓经边缘倒角后的腐蚀片圆周上所有点（有切口时，切口内的点除外）应处于使用YS/T 26测量模板 的清晰区域内，且腐蚀片边缘轮廓的任何部位不允
9、许有锐利点或凸起物，特殊要求可由供需双方协商确 定。5.8其他需方如对腐蚀片的技术指标有其他要求，应由供需双方协商并在合同中注明。6试验方法6.1腐蚀片导电类型的检验按GB/T 1550的规定进行。6.2腐蚀片电阻率的检验按GB/T 6616的规定进行。6.3腐蚀片径向电阻率变化的检验按GB/T 11073的规定进行。6.4腐蚀片直径及允许偏差测量按GB/T 14140的规定进行。6.5腐蚀片中心点厚度、厚度允许偏差和总厚度变化的测量按GB/T 6618的规定进行。6.6腐蚀片翘曲度的测量按GB/T 6620的规定进行。6.7腐蚀片晶向及晶向偏离度检验按GB/T 1555的规定进行。6.8腐蚀
10、片参考面长度测量按GB/T 13387的规定进行。6.9腐蚀片的主参考面直径测量由供需双方协商确定。6.10腐蚀片的主参考面取向检验按GB/T 13388的规定进行。6.11腐蚀片的切口尺寸的测量按GB/T 26067的规定进行。6.12腐蚀片的表面质量在430lx650lx的荧光灯或乳白灯下进行目视检查。6.13腐蚀片表面粗糙度的检验按GB/T 29505的规定进行。6.14腐蚀片表面光泽度、表面反射率的检验参照GB/T 20503规定的方法进行或由供需双方协商确定。6.15碱腐片表面腐蚀晶胞最大边长的检测方法由供需双方协商。6.16腐蚀片的边缘轮廓检验按YS/T 26的规定进行。7检验规则
11、7.1检查和验收7.1.1产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单的规定，并填写产品 质量证明书。7.1.2需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验，若检验结果与本标准或订货单的规定不符时， 应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。7.2组批产品应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一规格的腐蚀片组成。7.3检验项目7.3.1每批产品应对腐蚀片的导电类型、电阻率、径向电阻率变化、直径、中心点厚度、总厚度变化、 翘曲度、晶向及晶向偏离度、参考面取向和长度、切口尺寸、主参考面直径、表面质量、边缘轮廓进行 检验。7.3.2供需双方协商的检验项目有表面粗糙度、表
12、面光泽度、表面反射率、表面腐蚀晶胞最大边长。7.4取样7.4.1非破坏性检验项目的检测取样按GB/T 2828.1 般检查水平II,正常检查一次抽样方案进行， 或由供需双方协商确定的抽样方案进行。7.4.2破坏性检验项目的检测取样按GB/T 2828.1特殊检查水平S-2，正常检查一次抽样方案进行， 或由供需双方协商确定的抽样方案进行。7.5检验结果的判定7.5.1导电类型、晶向及晶向偏离度的检验结果中有一片腐蚀片不合格，则判该批产品为不合格。其 他检验项目的合格质量水平（AQL）见表2。表2合格质量水平序号检验项目合格质量水平（AQL）1电阻率1.02径向电阻率变化1.03直径及允许偏差1.
13、04厚度及允许偏差1.05总厚度变化1.06翘曲度1.07参考面长度（或主参考面直径）2.58切口尺寸1.09参考面取向1.0朋边1.0裂纹、缺口1.0刀痕、划伤2.0亮点、沾污1.510面一杂质条纹1.0质5轻微色泽不均1.5量表面粗糙度1.5表面光泽度或表面反射率1.5表面腐蚀晶胞最大边长1.5累计2.511边缘轮廓1.57.5.2检验不合格的产品，供方可对该不合格项进行逐片检验，除去不合格品后，合格品重新组批。8标志、包装、运输、贮存和质量证明书8.1标志8.1.1腐蚀片的包装片盒应贴有产品标签，标签内容应至少包括：a）产品名称（牌号）；b）产品片数；c）产品规格；d）产品批号；e）生产
14、日期。8.1.2腐蚀片的外包装箱内应有装箱单，外侧应有“小心轻放”、“防潮”、“易碎”等标识，并标 明：a）供方名称；b）需方名称、地址；c）产品名称和牌号；d）产品件数及重量（毛重/净重）。8.2包装8.2.1腐蚀片包装过程应注意包装环境和方法，不应在腐蚀片表面引入二次沾污和划伤等缺陷。8.2.2腐蚀片包装的其他要求参照YS/T 28的洁净包装要求执行。8.3运输和贮存8.3.1产品在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震防潮措施。8.3.2产品应贮存在清洁、干燥的环境中。8.4质量证明书每批产品应有质量证明书，其上注明：a）供方名称；b）产品名称及牌号；c）产品规格；d）产品批号；e）产品片数（盒数）；f）各项分析检验结果和检验部门的印记；g）本标准编号；h）出厂日期。9订货单（或合同）内容订购本标准所列产品的订货单（或合同）应包括下列内容：a）产品名称；b）产品规格；c）数量；d）本标准编号；e）其他。附录A（资料性附录）腐蚀片表面腐蚀晶胞的显微形貌A.1酸腐蚀片表面腐蚀晶胞的显微形貌不同表面取向酸腐蚀片表面腐蚀晶胞的显微形貌如图A.1图A.8所示（在0lympus3100共聚焦显微 镜下观察）。该酸腐蚀片是经硝酸
