1、选择元素（markers下选择的伪彩图为应该含有全部元素的伪彩图，此时也应该包括Cu,ROI里面出来伪彩图为所分析的伪彩图）、点击automap的generate out,得到以下伪彩图（以钯负载的丝光沸石为例）ROICe Pr Nd Pm Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu Th Pa U Np Pu Am Cm Bk 匚f Es Fm Md No Lr〒罟M压〒鱒 I K L M Nted spectrum image Scanning1JGenerat e在上面选择后点击Ce Pr Nd Pm Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu Th Pa U Np Pu Am Cm Bk Cf Es Fm Md No Lr中的 Generate output，即可以得到伪彩图如下图所示2、 点击工具栏的方框框中HAADF,双击方框，输入实际扫描时的点数（本次实验是20*20，图1所示），点Sum选项中的integrate,得到选中区域的EDX图（图2）；图 1 输入实际扫描的分辨率1000■ Integrated EDX Drift corrected spectrum image4010 20 30Energy (keV)n 亠’图 2 HAADF 分析的 EDX 图。
3、删除原先机器给出的EDX图，剩余Integrate的EDX图（图2）,点击Sum选项中的integrate, 选择Log中的数据，复制到Word,字体大小12,即得到Integrate的EDX图的元素积分（表 1 所示）；表1、Integrate积分得到的元素分析表**Quantification Results***Correction method: NoneDetectorElement Weight % Atomic %Uncert. % Correction k-FactorC(K)3.365.480.240.263.940O(K)51.4562.950.470.491.974Al(K)4.143.000.110.921.027Si(K)40.9228.520.300.921.000Pd(K)0.110.020.160.986.031。