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1、测试场效应晶体管流程：一、基本性能：1. 源栅漏电测试一正负对调2. 漏栅漏电测试一正负对调3. 源漏两极电阻扫描，交换电极4. 转移曲线：根据初步数据改变栅极电压测试范围和数据间隔时间5. 输出曲线：根据转移曲线亚阈值区域确定栅压范围 交换源漏电极6. 转移曲线：根据初步数据改变栅极电压测试范围和数据间隔时间7. 输出曲线：根据转移曲线亚阈值区域确定栅压范围二、性能摸索：1. 多次循环扫描，确定阈值电压和迁移率稳定性，时间间隔组2. 测试不同源漏电压下转移曲线 交换源漏电极3. 多次循环扫描，确定阈值电压和迁移率稳定性4. 测试不同源漏电压下转移曲线测试场效应晶体管光响应流程：同一光强场效应
2、晶体管光响应流程：1. 暗态转移曲线：放置好探针位置，把测试门关好，静止10分钟，然后测量转移曲线。2. 亮态转移曲线：在测量完暗态转移曲线后，接下来就打开光源，测量转移曲线。3. 确定最大的光电流增益的栅电压：观察暗态转移曲线和亮态转移曲线的Log曲线，找出 光电流和暗电流差值最大的横坐标的点，这点就是最大的光电流增益的栅电压。4. 动态光响应图：测试时选择 sampling 模式，Timing 设置(Interval： 1s;#Samples:4000; Hold Time:1s)然后定义X轴：time； y轴：Drian current.暗态静止一段时间再测试，开始测 试时保持暗态测量一
3、点时间，等漏电流降到接近X轴后打开光源测试。5. 测试不同栅极电压的动态光响应图6. 测试不同源漏电流的动态光响应图7. 暗态输出曲线和亮态输出曲线的测量不同光强和波长强场效应晶体管光响应流程：1. 暗态转移曲线：放置好探针位置，把测试门关好，静止10分钟，然后测量转移曲线。2. 亮态转移曲线：在测量完暗态转移曲线后，接下来就打开光源，选择不同的光强或者波 长的光测量转移曲线。3. 确定最大的光电流增益的栅电压：观察暗态转移曲线和亮态转移曲线的Log曲线，找出 光电流和暗电流差值最大的横坐标的点，这点就是最大的光电流增益的栅电压。4. 动态光响应图：测试时选择 sampling 模式，Timing 设置(Interval： 1s;#Samples:4000; Hold Time:1s)然后定义X轴：time； y轴：Drian current.暗态静止一段时间再测试，开始测 试时保持暗态测量一点时间，等漏电流降到接近X轴后打开光源测试。选择不同的光强 或者波长的光测。5. 测试不同栅极电压的动态光响应图6. 测试不同源漏电流的动态光响应图7. 暗态输出曲线和亮态输出曲线的测量
