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1、XPS能谱数据处理能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据，以及它的优势所在。下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据：1、多元素谱图数据处理 2、剖面分析数据处理 3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理： 1、将ASC码文件用NOTEPAD打开：X轴起始点及步长Y轴数值2、复制Y轴数值。打开ORIGIN，将Y轴数据粘贴到B（Y）：3、如图：点击工具栏plot，选择line4、出现下图：点击B（Y），再点击Y，使B（Y）成为Y轴数据。然后在“set X values”中输入起始值和步长。5
2、、点击OK，得到下图：6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。A. 位移：1）如图：选择analysistranslatevertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。2）在图中双击峰顶，如图示（小窗口给出的是此点的X，Y值） 3）然后在图中单击其他位置找到合适的X值（小窗口给出的是红十字的X，Y值） 4）双击红十字的位置，峰顶就会位移到此处：位移可以反复多次的进行，垂直方向的位移和水平方向的一样。B、平滑1）如图选择：2）出现下面的小窗口3）点击settings出现下面的界面（如果想用平滑后的代替原始的，选择”replace
3、original”,如果想重新做图选”add to worksheet”，下面的数值不用改变）4）点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图： 二、剖面分析数据处理：1、用写字板打开ASC码文件，选取所需要的元素Y轴数据起始值及步长元素名称剖面分析中的CYCLE 数 2、打开ORIGIN软件，如图示：选择columnadd new columns 如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。然后在B（Y）.J（Y）中依次输入不同cycle的Y轴数值点击图中下方工具栏的waterfallwaterfall然后依次将B（Y）J（Y）输入Y轴。具体操作如下：
4、点击B（Y）YAdd, 其他Y轴数据（C（Y）等等如法炮制），然后输入X轴起始值和步长点击OK得到下图：谱图修改工具栏应用修改工具得：如果想要得到其中某一个cycle的谱图，只要调出原来的worksheet（数据表），再次点击waterfall，但只选一组Y轴数据（和多元素分析一样），然后输入X轴数据，就可以了。三、谱图解叠：和多元素分析步骤一样，经过平滑、位移,得到下图：1、 去本底：选择toolsbaseline3、出现下面的窗口，选择baseline，将number of points后的参数改小一些，比如2，点击create baseline4、出现下图：选择小窗口中的modify：5
5、、拖动每一点到合适的位置（点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置）：如图6、然后选择substract得到7、分别点击X轴、Y轴将坐标更换为原来顺序和数值同时关闭baseresult：8、如图：选择analysisFit multi-peaksgaussian9、出现下面的窗口：按需要拟合的子峰个数输入10、点击ok，得到：11、点击OK默认选择，根据谱图的形状双击选择子峰位置（红十字代表峰顶）：如图12、刚才设置为两个子峰，所以双击两个位置，这时电脑自动计算出相关数据：如果想要看拟合后的曲线，需激活（调出）谱图窗口。然后，选择analysisnon liner curve fit 如图：13、得
6、到：14、上图不合理，两子峰半峰宽相差太大，需要加入新的子峰进行调整。点击下图中more按钮15、出现下图：更改为2增加一个子峰，依次类推点击此按钮出现此图界面16、选择basic modestart fitting回到原界面，点击1 lter和10 lter 知道出现新的子峰峰位置、半峰宽和面积17、上图明显也不合理，调节小窗口中各个子峰的数值 18、然后点击下图中done按钮，再次激活谱图窗口，选择analysisnon-linear curve fit,反复修改直到得到满意的谱图多元素分析注意事项：l 不能一味的平滑，有时不平滑反而能更准确的反映样品的性质l 位移要有理有据，不能按自己的需要移动。解谱注意事项： 各个子峰的半峰宽要尽量接近 如果所解谱图不是1S，就会出现裂分峰（比如：2p2/3和2p2/5）此时，一定要根据谱图手册，按裂分峰间距解谱 对于裂分峰峰面积不能随意拟合，要按谱图手册的比例进行。注意：以上方法得出的数据，仅供参考。
