霍尔传感器原理

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1、磁电传感器磁电效应将材质均匀的金属或半导体通电并置于磁场中,所产生的各种变化称为电磁效应。在金属或半导体薄片中通以控制电流I,并在薄片的垂 直方向上施加磁感应强度为B的磁场,则在垂直于电流和磁场的方向上会产生电动势(霍尔电势)。这种现象称为霍尔效应。&若给通有电流的金属或半导体薄片加以与电流方向垂直的外磁场,不但产生霍尔效应,而且试件的电阻值会变大。畤虫磁阻效应。霍尔效应若将通有电流的导体置 于磁场B之中,磁场B(沿z轴)垂直于电流仏霍尔效应(沿x轴)的方向,如图 所示,则在导体中垂直 于B和仿的方向上出现一 个横向电位差4。方为霍尔畀I、II而Z间“J电位差霍尔效应的机理(一)将一块厚度为d

2、、宽度为b、长度为L的半导体薄片(霍尔片)放置在磁场 B中,磁场B沿Z轴正方向。当电流沿X轴正方向通过半导体时,若薄片中 的载流子(设为自由电子)以平均速度u沿X轴负方向作定向运动,所受 的洛伦兹力为fB=evB.在心的作用下自由电子受力偏转,结果向板面积聚,同时在板而 “II”上出现同数量的正电荷。这样就形成一个沿Y轴负方向上的横向电 场,使自由电子在受沿Y轴负方向上的洛伦兹力汗的同时,也受一个沿Y 轴正方向的电场力心。设E为电场强度,U.(即霍尔电压) 兀将阻碍电荷的积聚,最后达稳定状态时有fB = fE 或 Ujj = vBb霍尔效应的机理(二)设载流子浓度为n,单位时间内体积为sdb里

3、的载流子全部通过横 截面,则电流强度与载流子平均速度曲勺关系为TIH = vdbne 或 v 二一Hdbne将IH = vdbne代入叭=vBb得叭二丄ne d式中一即为霍尔系数/?h。nen考虑霍尔片厚度d的影响,引进一个重要参数,心=厶,nned则Uh二vEb式可写为UH =KhIhBKh称为霍尔元件的灵敏度。霍尔电压的特性1 在一定的工作电流人下,霍尔电压S与外磁场磁感应强 度B成正比。这就是霍尔效应检测磁场的原理。2在一定的外磁场中, 强度仿(工作电流) 原理。Kh【h霍尔电压比与通过霍尔片的电流 成正比。这就霍尔效应检测电流的IH =khb霍尔效应的副效应(二)在测量霍尔电压时,会伴

4、随产生一些副效应,影响到测量的精确度, 这些副效应是:1. 不等位效应由于制造工艺技术的限制,霍尔元件的电位极不可能接在同一等 位面上,因此,当电流Ih流过霍尔元件时,即使不加磁场,两电 极间也会产生一电位差,称不等位电位差U。显然,U。只与电流 lc有关,而与磁场无关。2. 埃廷豪森效应(Etinghausen effect)由于霍尔片内部的载流子速度服从统计分布,有快有慢,由于它 们在磁场中受的洛伦兹力不同,则轨道偏转也不相同。动能大的 载流子趋向霍尔片的一侧,而动能小的载流子趋向另一侧,随着 载流子的动能转化为热能,使两侧的温升不同,形成一个横向温 度梯度,引起温差电压Ue,Ue的正负与

5、咕、B的方向有关。3. 能斯特效应(Nernst effect)由于两个电流电极与霍尔片的接触电阻不等,当有电流通过时,在 两电流电极上有温度差存在,出现热扩散电流,在磁场的作用下, 建立一个横向电场En,因而产生附加电压Un。Un的正负仅取决 于磁场的方向。4里纪勒杜克效应(RighiLeduc effect)由于热扩散电流的载流子的迁移率不同,类似于埃廷豪森效应中载 流子速度不同一样,也将形成一个横向的温度梯度而产生相应的 温度电压Url,Url的正、负只与B的方向有关,和电流咕的方向 无关。霍尔效应的副效应的消除方法由于附加电压的存在,实测的电压,既包括霍尔电压Uh,也包括U。、Ue、

6、5和Url等这些附加电压,形成测量中的系统误差来源。但我们利用这 些附加电压与电流咕和磁感应强度B的方向有关,测量时改变咕和B的方 向基本上可以消除这些附加误差的影响。具体方法如下:当(+B, +IH)时测量,5 = Uh+Uo+Ue+Un+Url(1)当(+B,咕)时测量,U2=-UH-U0-UE+UN + URL (2)当(-B, -lH)时测量,U3=UH-U0+UE-UN-URL (3)当(-B, +咕)时测量,U4=-UH+U0-UE-UN-URL (4) 式(1) - (2) + (3) 一(4)并取平均值,则得Uh +Ue=*(U-6+U3-U 这样处理后,除埃廷豪森效应引起的附加电压外,其它几个主要的附加电 压全部被消除了。但因Ue,实愜关心的回题星示 波器和探头组合的总的带宽。这一系蔬祥能最纟决定测臺的性能。苴流能歸齢轡髒芯貓豔:不幸的是,把一个探头接入一台示波器将导致带宽性能的降低。 例如,使用一台100兆赫示波器及100兆赫探头,将导致测量系 统的性能低于兆赫100兆赫。应和UR时间常数的减小结果是减台匕电流感应性能。一些交流电流探头提供电流抵偿选项,以使直流

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