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1、罗门斯电子材料上海分公司 化學沉銅工藝操作規范2011.3苏州固宝得电子有限公司 目錄章節內容頁1化學沉銅工藝流程簡介22工藝目的33控制條件44化學品補充55配制槽液程序及用量6-96化學沉銅工藝生産綫線開工規則10-127化學沉銅工藝生産綫線停工規則138化學沉銅工藝生產線之停電或機械故障處理方法149化學沉銅工藝生產線之保養事項及程序15-1610化學沉銅工藝生產線藥品用量準備1711品質檢定方法及標準18-2012問題分析程序及原因21-231) 化學沉銅工藝流程簡介膨鬆ML Sweller除膠KMnO4預中和（硫酸、雙氧水）中和MLB 216-5清潔3325微蝕NaPS預浸C/P 4
2、04活化CAT 44速化19E化學沉銅C/P 8802) 工藝目的2.1 ML Sweller - 膨鬆及調整樹脂表面使易于被KMnO4蝕刻.2.2 除膠劑 - 通過KMnO4對樹脂之蝕刻以清除鑽孔留下之膠渣及粗化孔壁.2.3 中和劑MLB 216-5 - 清除KMnO4殘留下之MnO2確保孔壁為最佳狀態.2.4.清潔劑 3325 - 調整孔壁的表面使催化劑易于吸附.2.5.微蝕 NaPS - 蝕刻孔壁內層及板面的銅層, 具有良好結合條件.2.6.預浸劑 CP 404 - 調整銅面及保護催化缸槽液.2.7. 催化劑 CAT 44 - 是一種膠體狀的錫化鈀, 它可以使沒有導電性能的表面, 具有金
3、屬導電性能及催化沉銅反應.2.8. 化學銅 CP 880 - 通過催化鈀之作用使在孔壁及銅面沉積一層細緻的銅層以便加厚鍍銅.3 ) 控制條件工序控制項目控制範圍標准及分析頻率温度 ()時間 (min)打氣過濾膨鬆劑ML SwellerML Sweller200-250ml/l225ml/l(2次/天)70-75-806-8不要要除膠劑高錳酸鉀40 80g/l60 g/l (2次/天)70-75-859-12要要錳酸鉀 20 g/l20 g/l (2次/天)當量1.0 1.3 N1.2 N (2次/天)比重 1.14 1.14除膠量0.1-0.5 mg/cm2 2次/天預中和（硫酸/雙氧水）硫酸
4、（98%）雙氧水（35%）1.5-2.5% (V/V)1.5-2.5% (V/V)2%2%25-28-302-4不要要中和劑MLB 216-5中和劑MLB 216-5硫酸（98%）Cu4-6%(V/V)1.5-2.5%(V/V)20g/l換缸(1次/天)20-22-256不要要清潔劑3325強度銅含量PH值80-120%2.0g/l8.0-9.5100% (1次/班) 20g/l換缸(1次/班) 35micro-inch(1次/班)25-28-321.5要要硫酸35-55-75g/lCu蝕銅厚度20 g/l20-50 micro-inch預浸劑404比重銅含量1.12 - 1.15-1.17
5、1.5g/l1.15 (1次/班) 1.5g/l (1次/周)28-30-321-2不要要活化劑44強度60 75-90 ppm75ppm (1次/班)40-43-465-6不要要氯化亞錫3 8 g/l6 g/l (1次/班)比重1.15 - 1.167-1.21.167 (1次/班)銅含量 20 g/l600L清潔劑3325332510%60公升兩周换槽Cu 1000ppm600L微蝕NaPS過硫酸鈉60g/l36公斤Cu 20 g/l600L硫酸 (98%)55g/L18公升預浸劑404C/P 404250g/l150公斤30万呎Cu1500ppm600L活化劑44C/P 404270g/
6、l162公斤两年Cu2000ppm600LCAT 4416ml/L9.6公升加速剂19E19E0.02N600L化學沉銅880C/P 880A10ml/L16.8公升每週倒缸1次半年换缸1次1280L+400L共1680LC/P 880E45ml/L75.6公升C/P 880C25ml/L42公升NaOH(345g/l)28ml/L47公升HCHO(250g/l)15ml/L25.2公升5) 配制槽液程序及用量(續)5.2 新槽的清潔處理方法a. 清理槽內的固體雜物，用碎布抹去槽壁的灰塵及污物b. 注滿清水，開啟所有循環過濾泵加熱至最高處理溫度, 检查是否漏水 备注: 開啟任何循環泵和過濾泵前
7、, 安装好过滤袋 和过滤芯c. 加入3-5的NaOH溶液浸泡4-8小時，並開啓循環泵d. 用自來水衝洗幹凈e. 加入自來水循環攪拌2-4小時后排水f. 加入3-5%的H2SO4（98）溶液浸泡4-8小時，並開啓循環泵g. 取掉濾芯后用自來水衝洗幹凈h. 加入自來水循環攪拌2-4小時后排水i. 用純水衝洗幹凈j. 加入純水循環攪拌2-4小時后排放準備配藥水5) 配制槽液程序及用量(續)5.3. 配制槽液程序5.3.1膨鬆劑ML Swellera. 加入半缸純水於槽中.b. 加入過濾蕊於過濾泵中.c. 加入135公升膨鬆劑ML Swellerd. 開動過濾泵.e. 補充足夠水位.f. 開啟加熱器,
8、將溫度提升至 75 C.5.3.2 除膠缸a. 加入 75%缸純水於槽中.b. 加熱至 60 - 65 C.c. 開動攪拌器.d. 加入 127公斤高錳酸鉀 (KMnO4) ,緩慢地加入槽中.e. 補充足夠水位.f. 提升溫度至 78 C.g. 抽取樣本到實驗室分析當量,高錳酸鉀及錳酸鉀.h. 調校含量於 控制范圍之內.5.3.3 預中和a. 加入 3/4 缸純水於槽中.b. 加入12公升硫酸.c. 加入12公升雙氧水.d. 攪拌至完全均勻.e. 補充足夠水位.f. 放入濾蕊於過濾泵中.g. 開動濾泵.h. 開啟加熱器,將溫度提升至 28 C.5.3.4. 中和劑MLB 216-5a. 加入 3/4 缸純水於槽中.b. 加入12公升硫酸.c. 加入30公升中和劑MLB 216-5,.d. 攪拌至完全均勻.e. 補充足夠水位.f. 放入濾蕊於過濾泵中.g. 開動濾泵.h. 開啟加熱器,將溫度提升至 22 C.5) 配制槽液程序及用量(續)5.3.5.清潔劑3325a. 加入半缸純水於缸中.b. 加入過濾蕊於濾泵中.c. 開動過濾泵.d. 加入 60公升清潔劑 3325e. 補充足水位.f.
