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(19 )中华人民共和国国家知识产权局cl、(12 )实用新型专利fr(10)申请公布号盈CN205249593U(43 )申请公布日2016.05.18(21 )申请号 CN201521123778.8(22)申请日 2015.12.31(71 )申请人浙江大维高新技术股份有限公司地址321031浙江省金华市金东区曹宅镇西工业园区/1、2、3幢(72 )发明人施小东;施秦峰;祝建军;袁旭光(74 )专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司代理人金根叶(51) Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54 )发明名称蜂窝结构低温等离子体发生装置(57)摘要本实用新型涉及放电等离子体产生技术, 具体涉及一种蜂窝结构低温等离子体发生装置, 对离子体发生器和放电极的结构进行了改进,使 放电均匀,提高放电效率,具体技术方案为:一 种蜂窝结构低温等离子体发生装置,包括基架、 由基架支撑的等离子体反应通道、位于等离子体 反应通道两端的阴极框架、用于支撑阴极框架的 若干绝缘子;所述等离子体反应通道包括若干紧 靠相连的空心管状的阳极、位于每一阳极内的阴