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1、饱和水蒸汽的压力与温度的关系（摘自 仲元：水和水蒸气热力性质图表p410 ）温度。C22242628303234363840水蒸气压力MPa0.002640.002980.003360.003780.004240.004750.005320.005940.006620.00738相应真空度MPa0.098690.098350.097970.097550.097090.096580.096010.095390.094710.09395温度C42444648505254565860水蒸气压力MPa0.008200.009100.010090.011160.012340.013610.015000.
2、016510.018150.01992相应真空度MPa0.093130.092230.091240.090170.088990.087720.086330.084820.083180.08141温度C62646668707274767880水蒸气压力MPa0.021840.023910.026150.028560.031160.033960.036960.040190.043650.04736相应真空度MPa0.079490.077420.075180.072770.070170.067370.064370.061140.057680.05397温度C828486889092949698100
3、水蒸气压力MPa0.051330.055570.060110.064950.070110.075610.081460.087690.094300.10133相应真空度MPa0.050000.045760.041220.036380.031220.025720.019870.013640.007030温度C102104106108110112114116118120水蒸气压力MPa0.108780.116680.125040.133900.143270.153160.163620.174650.186280.19854温度C122124126128130132134136138140水蒸气压力M
4、Pa0.211450.225040.239330.254350.270130.278310.304070.322290.341380.36138真空计算常用公式1、玻义尔定律体积V,压强P,Pv=常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即 P1/P2=V2/V1）2、盖吕萨克定律当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2=T1/T2 =常数）当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高（或P降低）1C，则它的体积比原来增加（或缩小）1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2 =
5、 T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1C，它的压强比原来增加（或减少）1/273。4、平均自由程：入= （5X10-3）/P （cm）5、抽速：S=dv/dt （升/秒）或 S=Q/PQ=流量（托升/秒）P=压强（托）V=体积（升）t =时间（秒）6、通导： C=Q/（P2-P1） （升/秒）7、真空抽气时间：对于从大气压到1托抽气时间计算式： t=8V/S （经验公式）（V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟选择。）8、维持泵选择：S维=5前/109、扩散泵抽速估算：S=3D2 （D =直径 cm）10、罗茨泵的前级抽速：S=（O.10.2）S 罗（l/s）1
6、1、漏率：Q 漏=V（P2-P1）/（t2-t1）Q漏一系统漏率（mmHgl/s）V系统容积P1 真空泵停止时系统中压强（mmHg）P2真空室经过时间t后达到的压强（mmHg）t压强从P1升到P2经过的时间（s）12、粗抽泵的抽速选择：S=Q1/P 预（l/s）S=2.3V lg（Pa/P 预）/tS机械泵有效抽速Q1真空系统漏气率（托升/秒）P预一需要达到的预真空度（托）V真空系统容积（升）t 达到P预时所需要的时间Pa大气压值（托）13、前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要 前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必
7、须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的 原则有：PnSgMPgS 或 SgMPgs/PnSg前级泵的有效抽速（l/s）Pn 主泵临界前级压强（最大排气压强）（l/s）Pg真空室最高工作压强（托）S主泵工作时在Pg时的有效抽速。（l/s）14、扩散泵抽速计算公式：S=Q/P=（K n）/（P t）（升/秒）式中：S被试泵的抽气速率（l/s）n 滴管油柱上升格数（格）K一滴管系数（托升/秒）K=VO （L/n）（丫0/Ym）+PaAVt其中V0 滴管和真空胶管的原始容积（升）L-滴管刻度部分的长度（mm）n-滴管刻度部分的格数（格）丫0油的比重（克/厘米3）Ym汞的比重（克/厘米
8、3）Pa当地大气压强（托）Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积（升/格）15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：S=nZnLKv（D2-d2）/（24X104） （l/s）式中：Z为旋片数，n为转速（转/分），L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径（cm）, Kv为容积利用系数（一般取95） 。16、0型橡胶槽深B=0.7DD为橡胶直径，槽宽C=1.6B17、方形橡胶槽深B=0.8AA为方形橡胶边长，槽宽C=1.67B选用真空泵时，需要注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1X10-5mmHg的真空度， 选用的真空泵的真空度至少要5X10-6m
9、mHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样宽压强围， 泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强围为5X10-45X10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个围之，而不能让它 在10-smmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1X10-5mmHg为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起 来，互相补充
10、才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称 阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气 压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离 子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清 洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时
11、，需要知道气体成 分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设 备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室 外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动 措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定 泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面：尽可能要求在高效区，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域运行。应避免在最大真空
12、度或最大排气压力附近运行。在此区域运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。 对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵有噪音和振动。 汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵 往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。 如果真空度要求在一710mmHg以上，可选用水环一大气泵或水环一罗茨真空机组作为抽真空装置。如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为
13、单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀 性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到 自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页.面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点 收集如下，以利于用户选型代号主要特点极限真空 度mmHg工作真空度mmHg抽速围m3/min密封形式sk国设计单级水环真空泵，结构简单、维修方便。目前国主流的 低
14、真空水环式真空泵。-700-300-6500.15120盘根、机械密封2sk国设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比 较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前 国主流水环式真空泵。-735-300-7001.530盘根、机械密封2BV采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度 高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0.46m3/min抽速的 水环真空泵。-735-300-7000.458.33机械密封2BE1采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐 替代SK、2SK系列6120m3/min抽速的水环真空泵。-735-640-300-700-300-6005400盘根、机械密封SZ50年代联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要 应用于老用户。-640-700-300-6501.527盘根SZB50年代联技术，效率低，能耗大，80年代初已被
