《Hitachis-3400N扫描电镜中文操作手册(简易版)》由会员分享，可在线阅读，更多相关《Hitachis-3400N扫描电镜中文操作手册(简易版)（9页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、Hitachi S-3400N I型简易使用手册一、开机1 打开配电箱总电源，开启 UPS （若配备）。2 合上背面总电源闸，确认“ STAGE ”闸和“ DISPLAY ”闸均为合闸状态。3 将前面板钥匙从“ OFF”转经“ START”后自动转回“ ON ”。Hitachi S-3400N II 型简易使用手 册#/7Hitachi S-3400N II 型简易使用手 册#/73 电脑启动后，同时按下“Ctrl” + “ Alt ” + “Delete ”，用户名为“ S-3400”，密码无，单击“ OK”键，进入系统。随后出现S-3400N登陆框。用户名为“ S-3400”，密码无，单击
2、“ 0K”键，进入程序。Hitachi S-3400N II 型简易使用手 册#/7Hitachi S-3400N II 型简易使用手 册#/7二、放置样品1 .持续按住前面板“ AIR ”按钮1秒以上至指示灯亮，或单击操作界面右上角“AIR ”键至该键变为灰色。放气过程中，出现“Specimen Setting ”对话框，同时出现放气进度指示条，直至进度条显示“ The chamber has bee n aired. Changing a sample is now possible ”时，单击对话框中的“ Specime n Sett ing” 键。1册| | HOMEZ6611 册ST
3、OPI EWCI AIRHOMEZ65tThe chamber is processing AIR.The chamber is processing AIR.The chamber is processing AIR *The chamber has been aired. Changing a sample is now possible.Specimen Setting| Waif until the air is intrnduced intn the specimen chamber.When the 各卩edmen is observed, dick lhe |Specll pas
4、ilion.15 mm(Select) v2B mm32 mm51 mm 15mm K 4 15mm x 14血 1 33HeightOetedar / UnitSTOPSiae The mail mum diameter 疏 specimen slubmu$t be entailer than sbJb)HeitfM :HiQh$spomon crflhe specimen mat was- mesrsured byheighl Gauge.DM酗曲!.)Htaighl :Highest pasmon of Die specime n Di別 wa& measured bry fieighl
5、 a-igsDvt 敗加 rMiwii .Chicly lhe mp 蹄絢偲 deuclsr.Tlw DelecKjUrwl can ba &eE wh&r the slage i曾 al HOME ZES po&ilian.Sise The mailinurn diameter f specimen slub (SpHimen my$l: be smaller 1han stub ) HeitfM :HiQhes4 norlianspecimen mat was mesrsured by heighl g auge.典CMtk U1S 护pli说DlW oelstlorWhen EVAC h
6、uiaan is checked, 1he celling is camqpleled.A To avoid injuiy to h$nd& ar lingers-, do nol touch 1he operation pad * V Whil日 Z wtcq日 i呂 movings/jl To 加idl injuwy 1o hand夕 oriirgers. do not Couch Ihe operlion p-ai ， whilg Z he nowng.6 按前面板“ EVAC ”按钮至指示灯亮，或单击操作界面左上角“EVAC ”键至该键变为灰色。nEVAC |PfHOMEZBS ; f
7、 I1AIR |EVAC| HOMEZ65fSTOPri畑MMHitachi S-3400N II 型简易使用手 册#/7Hitachi S-3400N II 型简易使用手 册#/7三、样品观察确认样品室已高真空，“ON ”亮显后，根据不同样品的观察需要，在屏幕右边操作面板中的 “Cond ”菜单栏“ ELECTRON BEAM ”选区，“Probe Current”下拉列表中选择合适的探针电流，“ Vacc”下拉列表中选择合适的加速电压；在“Image”菜单栏“ SCREEN MODE ”选区中选择使用“ Full （全屏）”、“Dual （双屏）”或“Small （常规小屏）”观察方法；在
8、“DETECTOR ”选区中选择使用“SE”或“ BSE” 探头；也可以单击操作界面左上角Vacc区域，出现“ Setup”后，在“ Optics”菜单栏下，“Vacc”下拉列表中选择合适的加速电压。单击操作界面左上角“ON”键，加高压。在“ Stage”菜单栏“ Z/TILT ”选区单击“ Analysis ” ”确定样品台的高度位置。探针电流（Probe Current）与图像质量、工作距离大小和电镜观察效果关系如下：Vacc le15.0kV O.OuAWD短WD长分辨率咼分辨率低景深浅景深深探针电流设疋050100照射电流（A）分辨率V二次电子信号图象粗糙度V样品倾斜范围大样品倾斜范围
9、小荷电Cond | Imsge | Utility | Slags |ELECTRON BEAMVacc20.0VZ kVONPro he Current0,:100WORKING DISTANCE12.5 y 人* mm4 ID70|Analysis jDvlail.VACUUM MODEC VP-SEMI SFUCurrent VacuumSelling Vac uum| 270口 1国NormLineSpol |AreaSCAU MODECONDITIOH LOAD/SAVELoad.Sara.X uuldeO0f詢upSOMCflPVCowJO|?tianQBImg.U&l扌Maint
10、eGuid&.MillOptica | ImaqB | Record | OpCoiid |ELECTRON BEAMVacc3003.DO30.010.0!0.0A.-kVjffent2-100OLaw QMid High回 Auto Gun SiasABSAFSProbe CurrentWORKING DISTAN匚EionJ 10AnalysisClose三、对中、聚焦及消像散选择合适的光阑孔后，聚焦样品。若在聚焦过程中图像出现移动，则需进行物镜可动光阑对中。1 .单击操作界面上部Align ”键，出现Alignment ”对话框。2.选中Aperture Align ”，单击Reset”键后，微调物镜光阑 X、Y旋钮至屏幕图象不发生摇摆且亮 度最大。一般情况下，可选中“Aperture Align ”后，调节控制盘的STIGMA / ALIGNMENT 的X和Y旋钮，至图像不再摇摆。JABCCTAFCAlignMonitF3 单击“ Close ”，关闭对话框。Redl扫描模式。聚焦和像散校正是相互有关的，需要交替重复进行。推荐在消像散时使用当没有像散时，在最佳聚焦点上就获得清晰的图像。当存在像散时在过焦或欠焦条件下，图像呈 某一方向拉长。在最佳聚焦点上聚焦。
