1硅片检验规程

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1、文件编号版次硅片检验规程生效日期1目的为了加强成品质量控制,规范成品检验方法及步骤,特制定此规程。2 范围本文件规定了对成品进行检验的标准等。本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。3 设备、工模具、材料Ma nz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。4内容4.1检验方式4.1.1 外观全检,即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测,从而判断每一件产品是否合格。4.1.2 电学及其他性能抽检(加严时须全检),每个硅块抽取 200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、厚度、 TTV少子寿 命等进行检验。4.2 检验步骤a)每个硅块抽取200片用M

2、anz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验;b)在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片(导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计)不满足 4.3中相关要求,则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验,之后再对所有硅片进行外观上的检验;c)在抽检的200片当中如果只有30片以下的硅片(导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计)不满足4.3中相关要求,则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等,该硅块其他硅片不再 进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等的检验,连同抽检的200片硅片中剩下的硅片进行外观上的全

3、检;例如:如某一硅块理论切片数为535片,抽检了 200片,当中有29片不满足4.3中相关要求。则将 29片判定为导电类型不符、电阻率不符等,剩下的 171( 200-29 )片连同前面的335片(535-200 )进行外观上的全 检;编制:校对:审核:标准化:批准:发送部门份数文件编号版次硅片检验规程生效日期d)依据4.3中相关要求对硅片进行分类。4.3 技术要求按照硅片质量不同将产品分为 A B两个等级。A级为合格品,B级为可让步使用的产品。其中A级分为A1、A2两类,B级分为B1、B2两类,具体分类、检测方法见表1。表1太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目要求检验方法检验方式A级片

4、B级片A1A2B1B21导电类型PP用硅片分选设备检测全检或抽检2隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔3崩边长度w 1mm深度w 0.5mm每片崩边总数w 2处长度w 1mm深度w 0.5mm每片崩边总数w 2处肉眼检测全检4TTVw 30 g mw 30 g m用硅片分选设备检测全检或抽检5厚度200 20 g m200 20 g m6尺寸156 0.5mm156 0.5mm7倒角1 0.5mm 45 101 0.5mm 45 10 8线痕深度w 8 g m且不明显深度w 15 gm且不明显15 g m 2 g s2 g s用少子寿命测试仪检测全检11表面质量硅片表面无凹坑,无氧化,无沾污

5、,无穿孔,无裂纹,无划伤硅片表面无凹坑,无氧化,无 沾污,无穿孔, 无裂纹,无划伤硅片表面有沾污但硅片颜色不发黑;沾污不得有3处,每处沾污面积w 1mm肉眼检测全检文件编号版次硅片检验规程生效日期续表112弯曲度 80 g mw 80 g m用塞尺检测抽检13氧碳含量氧含量w 83 1017atoms/cm3碳含量w 6.0 3 1017atoms/cm3氧含量w 83 1017atoms/cm3碳含量 w 6.0 3 1017atoms/cm3用碳氧含量测试仪检测抽检注:检测第8项“线痕支”和第11项“表面质量”时须用标准样片进行比对说明:1) A级硅片为优等品,B级硅片为不合格硅片;2)B

6、级硅片按公司不合格品控制程序进行处理;3) 凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款,其检验的光照条件依据GB50034-92工业企业照明设计标准中第 321条一般精细作业中的要求,即识别对象最小尺寸0.6d1.0,视觉作业分类等级为IV乙,亮度对比为大,照度大小为200LUX(即需40W的日光灯源,工作面距离灯源 50-70cm)。4 )凡涉及到“不明显”、“目测”字样的条款,检验时可以标片的方式辅助加以判定是否合乎要求。4.4标志、包装4.4.1 标志在包装盒至少印有如下产品标志:a)企业名称;b)产品型号或标记;c)制造日期;d)质量认证书;e)硅锭编号;f)氧、碳含量;g)少子寿命;h)

7、电阻率。4.4.2 内包装硅片采用EPS包装盒密封包装。包装盒上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时,封口胶要求美观平整。4.4.3 外包装文件编号版次硅片检验规程生效日期外包装箱应标有小心轻放”及防腐、防潮”字样,箱内有产品清单。外包装箱上贴有标签,标签内容包括产 品名称、型号、数量、日期以及包装编号等。外包装箱上的标签要求粘贴整齐美观、向上并朝同一方向。封口时,封 口胶成十字形,并要求美观平整。5 记录硅片生产流程卡硅片检测分选记录表出货检验报告单成品检验报告单入库记录表文件编号版次硅片检验规程生效日期6更改记录版次条款更改内容说明更改日期更改人B太阳电池多晶硅片质量等级分类办法更改2009.06.02班文俊第#页 共5页

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