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1、等离子体光谱诊断姓名：谢新华学号:PB09203247实验题目：光谱诊断ArECR等离子体实验目的：1.了解ECR放电；2. 利用等离子体发射光谱分析等离子体中成分，同时利用Ar谱线展 宽计算电子温度和密度；3. 相邻谱线强度计算电子温度。实验原理：AECR放电：当电子在磁场中回旋频率与微波频率相同时，电磁波就可以与回 旋电子发生共振相互作用，从而电子能够获得电磁波能量，产生等离 子体。其中，生成的等离子体的极限密度可以用公式：nc(m3) 68rf63 6三20000 -TWMO990OWwBveiengthnfn600810820830wavelength/nmW：0-10wo8Weox)
2、4000 TiI Subvacted Y1|0(moasosrowavetengthnmB. 相邻峰计算等离子体电子温度及密度：选用750.3869nm和751.4652nm两条相邻的Ar谱线计算电子温度以 及电子密度。谱线位置/nm相对 强度跃迁凡 率Ei/an1Ex/cm1Lowerlevelupperlevelg|-gx750.3869200004.45e+0795399.8276108722.61944g%。1冲2o3-1751.4652150004.02e+0793750.5978107054.27204s2p/2 1E% 03-1那么电子温度为:hc(E2 EQj _x2(土-；)
3、KTe = In 律 = In(熟些)h viAgil2 viA2(6.63 X 10一34 X 3 X 108) X (10872262 - 10705427)617610872262x4.45(8912 * 10705427x4.02)=4.48eV使用沙哈方程计算电子密度:C. 谱线的分解:Gauss分解：uju.iM)6uopAeMOCZGZZQZLQUOUQOLODXC69 -oos-19X100mzoo1M8700。38T8OO5J荚666码 89 099VdsirzooKZW90ZwJR66 ICV0990S-J2妇MX墉5A9cr$oejerbs-b Ipv(U.p心.亿 NJ
4、 卬 SIKQMV.WWub 叫/ (z注为炯. (ZQs.s、耳)41胡.化心.乙) MAg|8，bmJ101&OAUJUNlGgpAg9ZZOuZOUOU8ZCOZ69069_j11111龄00；OS0001OOSlooceowe-0W:坳好娘。/Z68*9Z9Hd8B9fiO9O0ZVJ61100 06U 0Mdt-3Z0Z9L9LW90Z3XdVZ9912S-dOD3 pjffpuc)s刊5C91W0111龄d6(mohHAAd3泗g(roeuAs3mogVd(U00 0696140Md&C2W902OX36以mZGM9Zt-8Jjoug p/epuejgWAZ6T6 0aenbsH g亿婀 Ex)Ng.(z/id)UbMMM 妇uoiiert300；oooi-OOSI-OOX-0092OOX实验结果：本实验中，通过光谱特征峰位置的查找，得到等离子体中的元素成分:Ti、W、Co、C、0、N、Ar Fe、He、Cu、Ne、Xe、Si、Ta 通过相邻峰位置强度的比较，得到电子温度为：4.48eVo 利用沙哈方程计算等离子体电子密度为：
